Monitores
IMM-200
IMM-200
Repetir la excelencia
Product configurator
Gemini™ MxG5xx
Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
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Proteja y aumente sus beneficios con una supervisión precisa de la velocidad y el espesor
IMM-200 es un monitor de deposición construido con tecnología ModeLock para maximizar la reproducibilidad y uniformidad con la mayor precisión de espesor, la mejor resolución de medición y el menor ruido de tasa.
Con el oscilador incorporado, IMM-200 puede integrarse fácilmente en un sistema Ethernet con un hardware y una huella mínimos. Este potente y preciso monitor de medición aportará un nuevo nivel de rendimiento a su proceso.
Características
- La tecnología INFICON ModeLock proporciona la mayor vida útil del cristal y garantiza la medición de espesores más estable y de mayor resolución disponible, incluso a velocidades muy bajas.
- Maximice el rendimiento con la mejor medición de espesor QCM posible
- Monitor de velocidad y espesor de un solo canal sin funciones añadidas innecesarias para minimizar el coste
- ±0,0035 Hz sobre muestra de 100 ms
- Comunicaciones Ethernet para una integración perfecta
- Tamaño compacto para minimizar los costes de integración ahorrando espacio en la herramienta
- Soporte experto en aplicaciones, capaz de discutir las necesidades únicas de la aplicación y dar mayor soporte que la competencia
- Cumple con la directiva RoHS
Aplicaciones típicas
- Fabricación de semiconductores
- Aplicaciones OLED
Especificaciones
| Entradas del sensor | 1 |
| Rango de frecuencia de medición | 6,0 a 4,5 MHz (fijo) |
| Resolución de tasa y espesor | 0,0042 Å (cristal nuevo); 0,0076 Å (cristal @ 4,5 MHz) sobre muestra de 100 ms para densidad de material = 1,0, Relación Z = 1,0 |
| Tipo de comunicación | Ethernet, 1 toma RJ45 |
Número de parte
Accesorios
Consumibles
| Número de parte | Descripción |
| 785-602-G1 | IMM-200 Thin Film Deposition Monitor |
| Número de parte | Descripción |
| Optional Power Supplies | The power supplies listed below are rated for an input of 100 to 249 V (ac), 2 A, 50 to 60 Hz with an output of 24V (dc), 3.34 A, 80 W maximum. |
| 961-021-G1 | Power Supply Kit 80 - 250 VAC / 4 ft (1.2m) US plug |
| 961-021-G2 | Power Supply Kit 80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) US plug w/ 15 ft (4.5m) Extension Cable |
| 961-021-G3 | Power Supply Kit 80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) US plug w/ 30 ft (9m) Extension Cable |
| 961-021-G4 | Power Supply Kit 80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 230V plug |
| 961-021-G5 | Power Supply Kit 80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 230V plug w/ 15 ft (4.5m) Extension Cable |
| 961-021-G6 | Power Supply Kit 80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 230V plug w/ 30 ft (9m) Extension Cable |
| 961-021-G7 | Power Supply Kit IL 240V |
| 961-021-G8 | Power Supply Kit IL 4.5 M Extension |
| 961-021-G9 | Power Supply Kit IL 9.0 M Extension |
| 961-021-G10 | Power Supply Kit UK 240V |
| 961-021-G11 | Power Supply Kit UK 4.5 M Extension |
| 961-021-G12 | Power Supply Kit UK 9.0 M Extension |
| Optional Mounting Bracket | |
| 785-202-G1 | Mounting bracket with four clean room compatible shock absorbing, female-to-female, stainless steel mounting feet |
| 785-201-G1 | Mounting bracket with four shock absorbing, male-to-female, black Neoprene rubber mounting feet |
| Optional Communications Cable | |
| 600-1190-P1 | ETHERNET COMUNICATION CABLE 1 METER |
| 600-1190-P2 | SPEC- ETHERNET COMMUNICATION CABLE .3M |
| 600-1190-P4 | ETHERNET COMUNICATION CABLES 4.3 METER |
| 600-1190-P8 | Ethernet 7m cable |
| 600-1190-P15 | Ethernet 15m cable |
| Nombre | Descripción |
| Quartz Monitor Crystals | Quartz Monitor Crystals |
El producto se utiliza en los siguientes mercados
