Controladores

IQM-233

Control de deposición de bajo coste en una tarjeta PCI express

IQM-233

Product configurator

Gemini™ MxG5xx

Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
Your configuration
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Flange
DN 16 ISO-KF
Switching functions
None
Electrical Connection
FCC, 8-pin
Digital Interface
None
Measurement range
1.2 - 8.68 V
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Personal information
Product
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Gemini™ MAG500
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La tarjeta IQM-233 PCI Express convierte su PC en un controlador de deposición de película delgada. Este producto diseñado y fabricado por INFICON es la opción ideal para fabricantes de equipos originales de sistemas o para cualquiera que desee incorporar un controlador de deposición de película delgada a un PC o un sistema controlado por PLC. La instalación es simple: solo necesita una ranura PCI Express libre. IQM-233 está disponible para torres de PC de formato pequeño o estándar.

Características inigualables

La IQM-233 incluye en cada tarjeta tres entradas para sensores QCM y tres salidas. Se pueden instalar hasta dos tarjetas IQM-233 en un mismo PC (se necesita el software opcional IQS-233), lo que le ofrece un máximo de seis entradas para sensores y seis dispositivos de salida. Solo INFICON ofrece este nivel de flexibilidad en un controlador QCM controlado por PC totalmente integrado.

IQM-233 es compatible con el oscilador INFICON IPN 782-900-010, por lo que si instala una tarjeta SQM-242 no tendrá que cambiar de oscilador. También es compatible con todos los cabezales de sensores sencillos y duales INFICON.

Elija la solución de software perfecta para usted

IQM-233 incluye un software básico Windows® para configurar y controlar procesos secuenciales simples o de codeposición con una tarjeta IQM-233. El software IQS-233 Windows® avanzado opcional permite configurar procesos más complejos, como codeposiciones multicapa e integración de PLC con funciones de relé/entrada seleccionables por evento. El software IQS-233 permite utilizar hasta dos tarjetas IQM-233.

Como alternativa, para los clientes que deseen desarrollar su propio software, IQM-233 incluye un programa de muestra de LabVIEW™ con funciones básicas y demostraciones de las técnicas de programación.

Características

  • PCI Express
  • Tres entradas de sensor, tres salidas de control
  • Instalar varias tarjetas en un PC
  • Codeposición de múltiples fuentes
  • Fácil integración de PLC para añadir capacidades de E/S
  • Fácil de usar
  • Precio de valor

Especificaciones

Interfaz de PCPCIe x1 - PCE Express Slot
(Std or SFF)
Entradas del sensor3
Rango de frecuencia de mediciónAdjustable:
4.0 MHz minimum
6.1 MHz maximum
Medición/resolución de velocidad y grosor (1)±0.12 Å
Salidas de fuente3
  
(1)Instrumental/densidad = 100/1, frecuencia fundamental = 6 MHz, intervalo de medición de 0,25

Número de parte

Número de parteDescripción
782-IQM-233-G1IQM-233 QCM controller card for standard PCI Express slot
782-IQM-233-G2IQM-233 QCM controller card for Small Form Factor (SFF) PCI Express slot
782-IQS-233IQS-233 Codeposition software
Accesorios
Accesorios y piezas de repuesto
Consumibles
NombreDescripción
Front Load Single SensorFront Load Single Sensor
Front Load Dual SensorFront Load Dual Sensor
Cool Drawer Single SensorCool Drawer Single Sensor
Cool Drawer Dual SensorCool Drawer Dual Sensor
Easy Rate Single SensorEasy Rate Single Sensor
Easy Rate Dual SensorEasy Rate Dual Sensor
UHV Bakeable SensorUHV Bakeable Sensor
Sputtering SensorSputtering Sensor
Número de parteDescripción
783-500-109-103 m (10 ft.) Oscillator Kit - includes OSC-100 oscillator, 15.2 cm (6 in.) BNC cable, and 3 m (10 ft.) BNC cable
783-500-109-257.6 m (25 ft.) Oscillator Kit - includes OSC-100 oscillator, 15.2 cm (6 in.) BNC cable, and 7.6 m (25 ft.) BNC cable
783-500-109-5015.2 m (50 ft.) Oscillator Kit - includes OSC-100 oscillator, 15.2 cm (6 in.) BNC cable, and 15.2 m (50 ft.) BNC cable
783-500-109-7522.8 m (75 ft.) Oscillator Kit - includes OSC-100 oscillator, 15.2 cm (6 in.) BNC cable, and 22.8 m (75 ft.) BNC cable
Oscillator Only(No cables included)
783-500-013-G1OSC-100 oscillator only (no cables)
Cables 
600-1441-P1SMA to BNC adapter for IQM-233 sensor inputs
782-902-01115.2 cm (6 in.) BNC cable, male/female
782-902-012-103 m (10 ft.) BNC cable, male/male
782-902-012-257.6 m (25 ft.) BNC cable, male/male
782-902-012-5015.2 m (50 ft.) BNC cable, male/male
782-902-012-7522.8 m (75 ft.) BNC cable, male/male
NombreDescripción
Quartz Monitor CrystalsQuartz Monitor Crystals
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