Monitoreo

973-IMM-100
Monitores
IMM-100

Proteja y aumente sus beneficios con una supervisión precisa de la velocidad y el espesor

IMM-100
  • La tecnología INFICON ModeLock proporciona la mayor vida útil del cristal y garantiza la medición de espesores más estable y de mayor resolución disponible, incluso a velocidades muy bajas
  • Maximice el rendimiento con la mejor medición de espesor QCM posible
977-IMM-200
Monitores
IMM-200

Proteja y aumente sus beneficios con una supervisión precisa de la velocidad y el espesor

IMM-200
  • La tecnología INFICON ModeLock proporciona la mayor vida útil del cristal y garantiza la medición de espesores más estable y de mayor resolución disponible, incluso a velocidades muy bajas.
  • Maximice el rendimiento con la mejor medición de espesor QCM posible
969-SQM-160
Monitoreo
SQM-160

QM-160 utiliza la tecnología probada del sensor de cristal de cuarzo de INFICON para medir la velocidad y el grosor en procesos deposición de película delgada.

SQM-160
  • Dos canales de medición estándar y cuatro adicionales opcionales
  • Salidas analógicas para registrar el grosor y la velocidad
  • Opción de alta precisión: 0,03Hz a 10 lecturas/segundo
  • RS-232 estándar, USB o Ethernet opcional
981-STM-2
Monitoreo
STM-2 Monitor De Medición De Velocidad/Grosor De Película Delgada

STM-2 combina la simplicidad de la conexión USB con la precisión de una máquina de medición de precisión, todo ello en un pack asequible y compacto.

STM-2 Monitor De Medición De Velocidad/Grosor De Película Delgada
  • Instrumento de bajo coste
  • Conexión USB
  • Oscilador interno
  • Gran precisión con 10 lecturas por segundo
955-TDMAT-Sensor
Monitores
Sensores SemiQCM® SR para la monitorización de precursores

El sensor SemiQCM® SR es un componente de un sistema para la supervisión de precursores siendo los otros componentes un IMM-200 y FabGuard (versión 19.12.00-a o superior).

Sensores SemiQCM® SR para la monitorización de precursores
  • Control del proceso in situ y en tiempo real
  • Prevenir el sobregrabado, identificar el punto final de limpieza de la cámara
  • Identificar fallos en el equipo o en el estado del proceso
963-SemiQCM-CR-Sensor
Monitores
Sensores SemiQCM® CR para el control de precursores

Proteja y aumente sus beneficios con una supervisión precisa de la velocidad y el espesor

Sensores SemiQCM® CR para el control de precursores
  • Monitorización del proceso in situ y en tiempo real 
  • Prevención de sobregrabado, identificación del punto final de limpieza de la cámara 
  • Identificación de fallos en el equipo o en el estado del proceso
Filtro