Paso de sensor QCM
Product configurator
Gemini™ MxG5xx
INFICON ofrece una gran variedad de pasos de sensores de monitores de cristal de cuarzo (QCM) para almacenar diferentes sensores QCM y configuraciones de cámara. Los pasos de estilo perno CF40 (2,75 pulgadas ConFlat®) y 2,54 cm (1 pulgada) están disponibles en diferentes combinaciones de conexiones eléctricas, refrigeración por agua y tubos de aire. Alimentadores INFICON también pueden estar equipadas con conectores de compresión con junta tórica Ultra-Torr para una fácil instalación y ajuste de la longitud del sensor Otros estilos de pasos pueden estar disponibles bajo demanda (KF40, etc.), por lo que debe ponerse en contacto con INFICON según sean sus necesidades.
A menos que se indique lo contrario, una conexión eléctrica de paso típica consiste en un conector coaxial BNC en el lateral de atmósfera y un conector Microdot® en el lateral de vacío. Este estilo de conexión eléctrica está destinado para su uso con sensores de cables en vacío, como sensores individuales de carga frontal, sensores duales de carga frontal, sensores de pulverización , CrystalSix t Crystal 12 de INFICON.
Nota: Los tubos de agua y de aire de paso tienen un diámetro externo de 4,8 mm (3/16 in.).
Tipo de sensor
En la tabla que aparece a continuación se hace referencia brevemente a los requisitos de pasos y a los números de referencia en función del tipo de sensor.
| Requirements | Part Number | |||||
| Sensor Type | Number of Coax | Number of Tubes | CF40 | CF40 with Ultra-Torr | 2.54 cm (1 in.) Bolt | 2.54 cm (1 in.) Bolt with Ultra-Torr |
| Single | 1 | 2 | 002-043 | 206-878-G2 | 002-042 | 750-624-G1 |
| Single with Shutter | 1 | 3 | 750-685-G1 | 750-685-G2 | 750-030-G1 | Contact Factory |
| Dual | 2 | 3 | 002-080 | 206-890-G2 | 750-707-G1 | Contact Factory |
| CrystallSix or Crystall 12 | 1 | 3 | 750-685-G1 | 750-685-G1 | 750-030-G1 | Contact Factory |
CrystallSix or with shutter | 1 | 4 | 750-683-G1 | N/A | Contact Factory | N/A |
Características
- Los pasos de estilo perno CF40 (2,75 pulgadas ConFlat ) y 2,54 cm (1 pulgada) están disponibles en diferentes combinaciones de conexiones eléctricas, refrigeración por agua y tubos de aire.
- Conectores por comprensión con junta tórica Ultra-Torr disponibles
- Configuración personalizada del paso eléctrico
- Otros tipos de pasos disponibles bajo encargo
Accesorios
| Número de parte | Descripción |
| 2.54 cm (1 in.) Bolt Feedthroughs | (Includes VITON® O-ring) |
| 002-042 | 1 in. Bolt Feedthrough, 1 Coax, 2 Tubes |
| 750-030-G1 | 1 in. Bolt Feedthrough, 1 Coax, 3 Tubes |
| 750-707-G1 | 1 in. Bolt Feedthrough, 2 Coax, 3 Tubes |
| 750-624-G1 | 1 in. Bolt Feedthrough, 1 Coax, 2 Tubes |
| 783-501-013 | 1 in. Bolt Feedthrough, 1 Coax, 2 Tubes, Ultra-Torr O-ring compression fittings |
| CF40 (2.75 in. ConFlat) Feedthroughs | (Includes copper gasket) |
| 002-043 | CF40 Feedthrough, 1 Coax, 2 Tubes |
| 750-685-G1 | CF40 Feedthrough, 1 Coax,3 Tubes |
| 002-080 | CF40 Feedthrough, 2 Coax, 3 Tubes |
| 750-683-G1 | CF40 Feedthrough, 1 Coax, 4 Tubes |
| 206-878-G2 | CF40 Feedthrough, 1 Coax, 2 Tubes, Ultra-Torr O-ring compression fittings |
| 750-685-G2 | CF40 Feedthrough, 1 Coax, 3 Tubes, Ultra-Torr O-ring compression fittings |
| 206-890-G2 | CF40 Feedthrough, 2 Coax, 3 Tubes, Ultra-Torr O-ring compression fittings |
| KF40 Feedthroughs | (Does not include centering ring or clamp) |
| 130246 | KF40 Feedthrough, 1 Coax, 2 Tubes |
| 130239 | KF40 Feedthrough, 1 Coax, 3 Tubes |
| Nombre | Descripción |
| Clamping Ring with Wing Nut | Clamping Ring with Wing Nut |
| Número de parte | Descripción |
| 002-064 | Quad Ring Gasket, VITON®, CF40 |
| 012-328 | Gasket, Copper, CF40 |
| 070-0237 | O-ring, VITON®, 2.54 cm (1 in.) bolt |
| 211-003 | Clamping ring DN 32-40 ISO-KF |
| 211-070 | Centering ring DN 40 ISO-KF,SS/FPM |
