Sensor ALD
Precisión óptima, máximo tiempo de actividad y mínimo mantenimiento para aplicaciones ALD
Product configurator
Gemini™ MxG5xx
Los sensores ALD de INFICON proporcionan a los sistemas de deposición de capa atómica (ALD) la repetitividad, la precisión y la durabilidad de las mediciones con microbalanzas de cristal de cuarzo (QCM). El sensor ALD puede soportar temperaturas de hasta 450ºC, y está concebido para funcionar en las condiciones extremas de una aplicación ALD. El electrodo expuesto del cristal está totalmente conectado a tierra, para eliminar de forma efectiva los posibles problemas de interferencias eléctricas.
Diseñado específicamente para ALD
Una característica única del sensor ALD de INFICON es el tubo de gas que se usa para purgar la parte posterior del cristal y la cavidad del sensor con un gas inerte, habitualmente nitrógeno. Esto evita que los gases reactivos de la cámara entren en la cabeza del sensor y mantiene la parte posterior del cristal y los contactos eléctricos sin materiales de deposición. Esta técnica permite mediciones in situ en sistemas para los que una QCM estándar no resulta adecuada.
Pasos y conexiones de pasos
Los sensores ALD de INFICON están disponibles en longitudes soldadas personalizadas o con conectores por compresión para longitudes ajustables sin necesidad de soldaduras. Todas las configuraciones usan un paso de brida de 2 ¾ pulgadas (CF40) ConFlat®.
Cristales de alta temperatura para mediciones más precisas
El sensor ALD de INFICON puede conseguir la mayor precisión de medición y un ruido de frecuencia más baja en aplicaciones de alta temperatura si se usa con los nuevos cristales de cuarzo de alta temperatura de INFICON. Estos cristales de alta temperatura están optimizados para aplicaciones de 120, 240 y 285°C, de modo que siempre dispondrá del cristal adecuado para su proceso. Igualmente, para otras temperaturas existen cristales optimizados disponibles. Si quiere consultarnos acerca de sus necesidades, póngase en contacto con INFICON.
Características
- Temperatura de funcionamiento hasta 450°C
- Línea de purga de gas que mantiene la parte posterior del cristal sin materiales de deposición
- Brida Conflat (CF40) soldada opcional
- Conectores por compresión con junta tórica opcionales
- Se dispone de cristales para altas temperaturas
Ventajas
- Es compatible con la mayoría de temperaturas de proceso de ALD
- Reduce el mantenimiento considerablemente
- Maximiza el tiempo de actividad del sistema
- Maximiza la precisión de las mediciones
- Lecturas estables con bajo ruido a altas temperaturas del proceso
Aplicaciones típicas
- Deposición de capa atómica (ALD)
| Número de parte | Descripción |
| 750-1058-G10 | 120° C optimized crystals, 6 MHz, 14 mm (0.55 in.), gold, pack of 10 |
| 750-1059-G10 | 240° C optimized crystals, 6 MHz, 14 mm (0.55 in.), gold, pack of 10 |
| 750-1060-G10 | 285° C optimized crystals, 6 MHz, 14 mm (0.55 in.), gold, pack of 10 |
| Nombre | Descripción |
| Quartz Monitor Crystals | Quartz Monitor Crystals |
| Número de parte | Descripción |
| 007-007 | Retainer spring (for crystal holder) |
| 007-064 | Ceramic retainer |
| 007-094 | Clamping spring |
| 007-095 | Handle |
| 007-098 | Female Connector (includes ferrules and nut) |
| 007-099 | Bakeable head contact |
| 007-100 | Insulator for BNC |
| 007-103 | Insulator for bakeable head contact |
| 007-104 | BNC Body |
| 007-147 | #4-40 X 3/8 screw |
| 007-228 | #4-40 X 5/8 screw |
| 007-267-P2 | Spreader bar |
| 007-268-P1 | Shoulder washer |
| 007-269-P1 | Shoulder washer |
| 070-201 | #4 Split lockwasher |
| 084-069-P1 | #4-40 x 3/16 screw |
| 750-018-P3 | Split clamp |
| 750-018-P5 | Split clamp |
| 750-218-G1 | Cyrstal holder |
