Sensores y pasamuros
Sensor Giratorio RSH-600
Rendimiento excelente del cristal en aplicaciones exigentes
Product configurator
Gemini™ MxG5xx
Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
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Las cabezas de sensores giratorias RSH-600 se diseñan para procesos exigentes que utilizan películas muy gruesas y de diferentes materiales. El dispositivo RSH-600, que tiene seis cristales en una carcasa con protección térmica y r por agua, garantiza un rendimiento excelente del cristal a temperaturas de hasta 300°C. Los cristales se ubican en un soporte de cristal de acero inoxidable y teflón® fácil de extraer.
Características
- Seis cristales
- Retroalimentación de posición (dependiente del controlador)
- Longitud ajustable (con brida opcional)
- Diseño resistente
Especificaciones
Número de cristales | 6 |
Abertura de instalación | 50.8 mm (2.0 in.) diameter |
Temperatura de funcionamiento (con refrigeración por agua) | 300° C max with stainless steel head cover 400° C max with copper head cover |
Accesorios
Consumibles
Piezas de repuesto
Número de parte | Descripción |
153202 | Adjustable flange |
153204 | Crystal Retainer Assembly, Flat |
153204-2 | Crystal Retainer Assembly, Angled |
153731 | RSH-600 Sensor Head Cover, Copper, Flat |
153731-2 | RSH-600 Sensor Head Cover, Copper, Angled |
153708 | RSH-600 Sensor Head Cover, Stainless Steel, Flat |
153713 | RSH-600 Sensor Head Cover, Stainless Steel, Angled |
Nombre | Descripción |
Quartz Monitor Crystals | Quartz Monitor Crystals |
Número de parte | Descripción |
153706 | Spring Retainer assembly Flat |
153707 | 24 VDC Solenoid valve assembly |
153709 | Retaining Screw for Flat crystal retainer |
153710 | Crystal Holder Flat (includes 153709) |
153714 | Spring Retainer Assembly, Angled,RSH-600 |
153715 | Retainer Screw for angled crystal retainer |
153716 | Crystal Holder, Angled, RSH-600 |
153722 | Signal/Ground Contact Module, RSH-600 |
153724 | Spring retainer contact kit - Flat (set of six) |
153726 | Crystal Contact for Crystal Retainer Assembly |
889128 | 7 pin male connector |
889128-2 | 7-pin Female Connector |
144-101 | M3x6 SOC Head Screw for Flat Crystal Retainer |
Descargas
Archivos 3D
Otros
RSH-600 Cooling Efficiency (English)
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10,8 KB
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Inglesa
Sensor Alignment (English)
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32,4 KB
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Inglesa
Use of Maxtek Sensor Heads in a Sputtering Environment (English)
pdf
•
27,7 KB
•
Inglesa
What is a QCM Sensor?
pdf
•
531,6 KB
•
Inglesa
El producto se utiliza en los siguientes mercados