Sensores y pasamuros

Sensor refractario UHV

UHV-Bakeable-Sensor

Los sensores refractarios de cristal UHV de INFICON ofrecen una fiabilidad y durabilidad probadas, y presentan la mejor estabilidad térmica de cualquier cabeza de sensor del mercado. El diseño del sensor refractario UHV, fabricado en acero inoxidable 304, molibdeno, inconel, níquel y alúmina, resiste temperaturas de cocción constantes de hasta 450° C (solo para cocción, se necesita caudal de agua para el seguimiento real de la deposición). El diseño de carga frontal permite insertar fácilmente el soporte de cristal en aplicaciones que no disponen de espacio suficiente para una inserción lateral.

Características

  • Construcción soldada de alta temperatura
  • Temperaturas de cocción de hasta 450°°C
  • Obturador de cristal (opcional)
  • Soporte de cristal de carga frontal
  • Instalación fácil
  • Paso CF40
  • No es necesaria una soldadura al paso
  • Combinación de sensor y paso soldada con la longitud especificada por el cliente

Especificaciones

Bakeable Sensor w/ Shutter
Bakeable Sensor w/out Shutter
Temperatura máxima400° C continuous (for bake only; water flow recommended for actual deposition monitoring)
Cambio de cristalFront loading, self-contained package for ease of exchange. Cam-type locking handle allows easy removal and good thermal contact. Pneumatically operated shutter flips up for easy crystal exchange.
Agua, aire y líneas coaxiales0.125 in. (3 mm) O.D. water and air x 0.015 in. (0.4 mm) wall thickness seamless 304 stainless steel; 0.188 in. (5 mm) O.D. coax
Temperatura máxima450°C continuous (for bake only; water flow recommended for actual deposition monitoring)
Cambio de cristalFront loading, self-contained package for ease of exchange. Cam-type locking handle allows easy removal and good thermal contact.
Agua, aire y líneas coaxiales0.125 in. (3 mm) O.D. water x 0.015 in. (0.4 mm) wall thickness seamless 304 stainless steel; 0.188 in. (5 mm) O.D. coax
Descargue aquí las especificaciones completas
Accesorios
Consumibles
Piezas de repuesto
Número de parteDescripción
750-420-G1Solenoid Valve, 24V (for use with shuttered and multi-crystal sensors)
NombreDescripción
Quartz Monitor CrystalsQuartz Monitor Crystals
Número de parteDescripción
007-007Retainer spring (for crystal holder)
007-064Ceramic retainer
007-094Clamping spring
007-095Handle
007-098Female Connector (includes ferrules and nut)
007-099Bakeable head contact
007-100Insulator for BNC
007-103Insulator for bakeable head contact
007-104BNC Body
007-147#4-40 X 3/8 screw
007-155Braze assy - 12 in. (30.5 cm)
007-156Braze assy - 20 in (50.8 cm)
007-157Braze assy - 30 in. (76.2 cm)
007-228#4-40 X 5/8 screw
007-267-P2Spreader bar
007-268-P1Shoulder washer
007-269-P1Shoulder washer
008-007CRYSTAL SNATCHER
059-0084VCR gasket
070-201#4 Split lockwasher
084-069-P1#4-40 x 3/16 screw
750-018-P3Split clamp
750-018-P5Split clamp
750-022-G5Bellows assembly - 12 in. (30.5 cm)
750-022-G6Bellows assembly - 20 in. (50.8 cm)
750-022-G7Bellows assembly - 30 in. (76.2 cm)
750-028-G5Braze assy with air line - 12 in. (30.5 cm)
750-028-G6Braze assy with air line - 20 in. (50.8 cm)
750-028-G7Braze assy with air line - 30 in. (76.2 cm)
750-115-P4Coupling (installs onto bellows assembly)
750-118-P4Actuator support
750-120-G3Shaft assembly
750-216-G1Shutter assembly (part of shutter module)
750-218-G1Cyrstal holder
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