Sensores y pasamuros
Sensor refractario UHV
Product configurator
Gemini™ MxG5xx
Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
Request
Your configuration has been successfully sent!
Los sensores refractarios de cristal UHV de INFICON ofrecen una fiabilidad y durabilidad probadas, y presentan la mejor estabilidad térmica de cualquier cabeza de sensor del mercado. El diseño del sensor refractario UHV, fabricado en acero inoxidable 304, molibdeno, inconel, níquel y alúmina, resiste temperaturas de cocción constantes de hasta 450° C (solo para cocción, se necesita caudal de agua para el seguimiento real de la deposición). El diseño de carga frontal permite insertar fácilmente el soporte de cristal en aplicaciones que no disponen de espacio suficiente para una inserción lateral.
Características
- Construcción soldada de alta temperatura
- Temperaturas de cocción de hasta 450°°C
- Obturador de cristal (opcional)
- Soporte de cristal de carga frontal
- Instalación fácil
- Paso CF40
- No es necesaria una soldadura al paso
- Combinación de sensor y paso soldada con la longitud especificada por el cliente
Especificaciones
Bakeable Sensor w/ Shutter
Bakeable Sensor w/out Shutter
| Temperatura máxima | 400° C continuous (for bake only; water flow recommended for actual deposition monitoring) |
| Cambio de cristal | Front loading, self-contained package for ease of exchange. Cam-type locking handle allows easy removal and good thermal contact. Pneumatically operated shutter flips up for easy crystal exchange. |
| Agua, aire y líneas coaxiales | 0.125 in. (3 mm) O.D. water and air x 0.015 in. (0.4 mm) wall thickness seamless 304 stainless steel; 0.188 in. (5 mm) O.D. coax |
| Temperatura máxima | 450°C continuous (for bake only; water flow recommended for actual deposition monitoring) |
| Cambio de cristal | Front loading, self-contained package for ease of exchange. Cam-type locking handle allows easy removal and good thermal contact. |
| Agua, aire y líneas coaxiales | 0.125 in. (3 mm) O.D. water x 0.015 in. (0.4 mm) wall thickness seamless 304 stainless steel; 0.188 in. (5 mm) O.D. coax |
Accesorios
Consumibles
Piezas de repuesto
| Número de parte | Descripción |
| 750-420-G1 | Solenoid Valve, 24V (for use with shuttered and multi-crystal sensors) |
| Nombre | Descripción |
| Quartz Monitor Crystals | Quartz Monitor Crystals |
| Número de parte | Descripción |
| 007-007 | Retainer spring (for crystal holder) |
| 007-064 | Ceramic retainer |
| 007-094 | Clamping spring |
| 007-095 | Handle |
| 007-098 | Female Connector (includes ferrules and nut) |
| 007-099 | Bakeable head contact |
| 007-100 | Insulator for BNC |
| 007-103 | Insulator for bakeable head contact |
| 007-104 | BNC Body |
| 007-147 | #4-40 X 3/8 screw |
| 007-155 | Braze assy - 12 in. (30.5 cm) |
| 007-156 | Braze assy - 20 in (50.8 cm) |
| 007-157 | Braze assy - 30 in. (76.2 cm) |
| 007-228 | #4-40 X 5/8 screw |
| 007-267-P2 | Spreader bar |
| 007-268-P1 | Shoulder washer |
| 007-269-P1 | Shoulder washer |
| 008-007 | CRYSTAL SNATCHER |
| 059-0084 | VCR gasket |
| 070-201 | #4 Split lockwasher |
| 084-069-P1 | #4-40 x 3/16 screw |
| 750-018-P3 | Split clamp |
| 750-018-P5 | Split clamp |
| 750-022-G5 | Bellows assembly - 12 in. (30.5 cm) |
| 750-022-G6 | Bellows assembly - 20 in. (50.8 cm) |
| 750-022-G7 | Bellows assembly - 30 in. (76.2 cm) |
| 750-028-G5 | Braze assy with air line - 12 in. (30.5 cm) |
| 750-028-G6 | Braze assy with air line - 20 in. (50.8 cm) |
| 750-028-G7 | Braze assy with air line - 30 in. (76.2 cm) |
| 750-115-P4 | Coupling (installs onto bellows assembly) |
| 750-118-P4 | Actuator support |
| 750-120-G3 | Shaft assembly |
| 750-216-G1 | Shutter assembly (part of shutter module) |
| 750-218-G1 | Cyrstal holder |
El producto se utiliza en los siguientes mercados
