Sensores SemiQCM® CR para el control de precursores
Repetir la excelencia
Proteja y aumente sus beneficios con una supervisión precisa de la velocidad y el espesor
El sensor SemiQCM CR es un sensor químicamente inerte que puede instalarse en algunas de las cámaras de CVD o ALD más duras. SemiQCM CR es uno de los componentes de un sistema para la supervisión de precursores, siendo los otros componentes un IMM-200 y FabGuard (versión 19.12.00-a o superior).
La monitorización de semiprocesos puede utilizarse en aplicaciones de semiconductores para la detección de puntos finales y la eliminación de fallos mediante la monitorización de la cantidad de precursor en la línea de entrada o en el escape de la cámara. El uso de un QCM in situ proporciona una supervisión del proceso asequible y una mayor rentabilidad del proceso de semiconductores.
El fallo de suministro de precursor a una oblea puede detectarse en tan sólo una oblea.
Características
- Datos de QCM supervisados a 10 Hz
- FabGuard correlaciona los datos de QCM con el estado de la herramienta y el paso del proceso
- Medición precisa de las velocidades de deposición o grabado
- Sensibilidad y precisión para la medición del espesor de submonocapas
Ventajas
- Monitorización del proceso in situ y en tiempo real
- Prevención de sobregrabado, identificación del punto final de limpieza de la cámara
- Identificación de fallos en el equipo o en el estado del proceso
Aplicaciones típicas
- Fabricación de semiconductores
Especificaciones
| Maximum Temperature | 200°C |
| Sensor Head Size (maximum envelope) | 23.9 mm O.D. x 29.2 mm (0.94 in. O.D. x 1.15 in.) |
| Sensor Length (in vacuum) | 50–150 mm (1.97–5.91 in.) |
| Mounting Feedthrough | ISO KF/CF flange |
| Materials | |
| Body and Holder | Aluminum |
| Springs | Beryllium nickel |
| Coax Line | 6.4 mm (0.250 in.) O.D., nickel 625 |
| Other Mechanical Parts | Nickel 200, aluminum, or nickel C276 |
| Insulators | >96% Al2O3 in vacuum: Teflon® used elsewhere |
| Wire | Ni in vacuum, Ni-plated Cu elsewhere |
| Braze | Vacuum-process high-temperature NiCr alloy |
| Crystal | 14.0 mm (0.551 in.) diameter |
Consumibles
| Número de parte | Descripción |
| 750-7053-G1S | 8 mm CR Crystal Holder Assembly with Alloy Crystal Installed |
| 750-7053-G2S | 8 mm CR Crystal Holder Assembly with Alumina Crystal Installed |
| 750-7053-G3S | 8 mm CR Crystal Holder Assembly with Yttria Crystal Installed |
| 750-7055-G1S | Crystal Holder, Finger Spring, and Retainer Spring Spare Assembly |
| 750-1089-G10 | SENSOR CRYSALS, 6 MHZ, ALLOY, 8 mm, 10 crystals |
| 750-1127-G5 | SENSOR CRYSTALS, 6 MHz, ALUMINA, 8 mm, 5 crystals |
| 750-1128-G5 | SENSOR CRYSALS, 6 MHZ, YTTRIA, 8 mm, 5 crystals |
Piezas de repuesto
| Número de parte | Descripción |
| 750-7055-G1S | Crystal Holder, Finger Spring, and Retainer Spring Spare Assembly |
