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Sensores SemiQCM™ SR para la monitorización de precursores
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Product configurator
Gemini™ MxG5xx
Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
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Proteja y aumente sus beneficios con un control preciso de la velocidad y el espesor
El sensor SemiQCM™ SR es un componente de un sistema para la supervisión de precursores siendo los otros componentes un IMM-200 y FabGuard (versión 19.12.00-a o superior).
La supervisión de semiprocesos puede utilizarse en aplicaciones de semiconductores para la detección de puntos finales y la eliminación de fallos mediante la supervisión de la cantidad de precursor en la línea de entrada o en el escape de la cámara. El uso de un QCM in situ proporciona una supervisión del proceso asequible y una mayor rentabilidad del proceso de semiconductores.
El fallo de suministro de precursor a una oblea puede detectarse en tan sólo una oblea.
Características
- Datos QCM monitorizados a 10Hz
- FabGuard correlaciona los datos de QCM con el estado de la herramienta y el paso del proceso
- Medición precisa de las velocidades de deposición o grabado
- Sensibilidad y precisión para la medición del espesor de submonocapas
Ventajas
- Control del proceso in situ y en tiempo real
- Prevenir el sobregrabado, identificar el punto final de limpieza de la cámara
- Identificar fallos en el equipo o en el estado del proceso
Aplicaciones típicas
- Fabricación de semiconductores
Especificaciones
| Maximum Temperature | 200°C |
| Sensor head Size (Maximum envelope) | 23.87 mm O.D. x 29.19 mm (0.94 in. O.D. x 1.15 in.) |
| Materials | |
| Body and Holder | 304 stainless steel |
| Springs | Au plated BeCu |
| Coaxial Line | 5 mm (1.88 in.) O.D. stainless steel |
| Other Mechanical Parts | 18-8 or 304 stainless steel, Hastelloy® c276 |
| Insulators | >99% Al2O3 in vacuum: Teflon® used elsewhere |
| Wire | 1. Ni (in vacuum) 2. Ni plated Cu (elsewhere) |
| Braze | Vacuum process high temperature NiCr alloy |
| Crystal | 13.97 mm (0.550 in.) diameter |
Número de parte
Consumibles
Piezas de repuesto
| Número de parte | Descripción |
| 750-7000-G5 | SEMI QCM SENSOR ASSY 50MM |
| 750-7000-G6 | Semi QCM Sensor Assy 60mm |
| 750-7000-G7 | Semi QCM Sensor Assy 70mm |
| 750-7000-G8 | Semi QCM Sensor Assy 80mm |
| 750-7000-G9 | Semi QCM Sensor Assy 90mm |
| 750-7000-G10 | Semi QCM Sensor Assy 100mm |
| 750-7000-G11 | Semi QCM Sensor Assy 110mm |
| 750-7000-G12 | Semi QCM Sensor Assy 120mm |
| 750-7000-G13 | Semi QCM Sensor Assy 130mm |
| 750-7000-G14 | Semi QCM Sensor Assy 140mm |
| 750-7000-G15 | Semi QCM Sensor Assy 150mm |
| Número de parte | Descripción |
| 750-7013-G1S | Crystal Holder Assembly Spare |
| 750-1090-G10 | Sensor Crystals, 6MHz, SC Alloy |
| Número de parte | Descripción |
| 007-023 | Ceramic Retainer |
| 750-171-P1 | Finger spring contact |
| 750-7005-G1S | Crystal Holder and Retainer Spring Spare Assembly |
El producto se utiliza en los siguientes mercados
