SQM-160
Product configurator
Gemini™ MxG5xx
QM-160 utiliza la tecnología probada del sensor de cristal de cuarzo de INFICON para medir la velocidad y el grosor en procesos deposición de película delgada. Dos entradas al sensor son estándar y otras cuatro adicionales son opcionales. Dos salidas del registrador;proporcionan una velocidad analógica y señales de grosor.
Las entradas de sensor se pueden asignar a diferentes materiales, calcular la media para un control preciso de la deposición en sistemas grandes o configurar para un sensor dual. El modo de muestreo de velocidad permite que un sensor de obturación pueda aumentar su duración en procesos a altas velocidades. El usuario puede seleccionar la visualización de velocidades de 0,1Å/s o 0,01Å/s. Además, también se puede seleccionar la visualización de la masa o la frecuencia. Las cuatro salidas de relés permiten que el monitor SQM-160 controle los obturadores del sensor y la fuente, los puntos de ajuste de grosor y tiempo de señal y fallos del cristal de señal. Las entradas digitales permiten que las señales externas puedan iniciar, parar y poner a cero las lecturas.
Características
- Dos canales de medición estándar y cuatro adicionales opcionales
- Salidas analógicas para registrar el grosor y la velocidad
- Opción de alta precisión: 0,03Hz a 10 lecturas/segundo
- RS-232 estándar, USB o Ethernet opcional
