1. XTC/3
Controladores

XTC/3

Controlador de velocidad asequible y avanzado para una o varias capas

XTC3M

Product configurator

Gemini™ MxG5xx

Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
Your configuration
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Flange
DN 16 ISO-KF
Switching functions
None
Electrical Connection
FCC, 8-pin
Digital Interface
None
Measurement range
1.2 - 8.68 V
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Product
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Gemini™ MAG500
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Consiga todo lo que desea en un controlador de deposición de película delgada para procesos de una o varias capas. El controlador XTC/3 junto con ModeLock patentado evita de forma probada los saltos de modo para obtener una calidad consistente. Con el controlador de deposición de película delgada XTC/3 conseguirá controlar de forma precisa la velocidad y el grosor de las deposiciones, la capacidad para prácticamente cualquier número de capas, una instalación fácil y una fiabilidad extremadamente alta para garantizar la productividad.

INFICON, líder mundial en control de deposición de película delgada, ahora ofrece un instrumento con un coste de propiedad increíblemente bajo por un valor sin precedentes.

Tanto si sus necesidades de control se reflejen la producción como en el uso de investigación y desarrollo, XTC/3 de INFICON es la elección perfecta.

Soporte de INFICON en todo el mundo

No importa dónde se encuentre, obtendrá respuestas rápidas, un servicio personalizado y un tiempo de actividad máximo. INFICON posee oficinas por todo el mundo y es el único fabricante de controladores de deposición de película delgada que le ofrece servicio local y asistencia técnica por todo el mundo.

Características

  • Disponible en modelos de una o múltiples capas
  • La tecnología patentada de ModeLock evita errores en el grosor de películas producidos por saltos de modo
  • Compatible con Crystal 12®, Crystal Six® de INFICON y la sustitución de cristales automático de sensores duales para obtener la máxima productividad
  • El modelo de múltiples capas XTC/3M resiste hasta 99 procesos, 999 capas, 32 películas, 2 sensores y dos fuentes
  • El modelo de una capa XTC/3S soporta hasta 9 películas, 2 sensores y dos fuentes
  • Pantallas gráficas TFT LCD fácil de leer
  • Se pueden asignar nombres descriptivos y exclusivos a las películas y procesos para recuperarlos con facilidad
  • Conexión Ethernet disponible
  • Sistema autónomo (no se necesita ordenador) o con software Windows® para funcionamiento con ordenador
  • Sustitución de tipo plug-and-play en los controladores XTC/2 de INFICON (se limita al conjunto de comandos y características de XTC/2)

Aplicaciones típicas

  • Revestimiento óptico de gama alta

Especificaciones

XTC3/S
XTC3/M
Rango de frecuencia de medición6.0 to 5.0 MHz (fixed)
Medición/resolución de velocidad y grosor (1)±0.034 Å
Número de entradas de sensor2
Número de salidas de fuente2
  
(1) Herramientas / densidad = 100/1, frecuencia fundamental = 6 MHz
Rango de frecuencia de medición6.0 to 5.0 MHz (fixed)
Medición/resolución de velocidad y grosor (1)±0.034 Å
Número de entradas de sensor2
Número de salidas de fuente2
  
(1) Herramientas / densidad = 100/1, frecuencia fundamental = 6 MHz

Número de parte

XTC3 Part Number
pdf • 1,8 MB
Accesorios
Accesorios y piezas de repuesto
Consumibles
NombreDescripción
Front Load Single SensorFront Load Single Sensor
Front Load Dual SensorFront Load Dual Sensor
Cool Drawer Single SensorCool Drawer Single Sensor
Cool Drawer Dual SensorCool Drawer Dual Sensor
Easy Rate Single SensorEasy Rate Single Sensor
Easy Rate Dual SensorEasy Rate Dual Sensor
ALD SensorUHV Bakeable Sensor
UHV Bakeable SensorSputtering Sensor
Sputtering SensorCrystalSix® Sensor
CrystalSix® SensorCrystal 12® Sensor
Crystal 12® SensorRSH-600 Rotary Sensor
Número de parteDescripción
755-262-G1Handheld Power Controller (for manual power control)
780-702-G1One unit rack mount kit - Provides all required materials to mount one XTC/3 unit in a standard 19 in. rack
780-702-G2Two unit rack mount kit - Provides all required materials to mount two XTC/3 units side by side in a standard 19 in. rack
780-032-G1Editor Software, XTC/3
779-220-G1CrystalTwo® Switch, 15.2 cm (6 in.) BNC Cables
779-220-G2CrystalTwo® Switch, 50.8 cm (20 in.) BNC Cables
Oscillator kits(Includes oscillator and cables)
780-611-G15XIU PKG with 15 ft. (4.6 m) cable - Fore use with XTC/3
780-611-G30XIU PKG with 30 ft. (9.1 m) cable - For use with XTC/3
780-611-G50XIU PKG with 50 ft. (15.2 m) cable - For use with XTC/3
780-611-G100XIU PKG with 100 ft. (30.5 m) cable - For use with XTC/3
780-612-G154m XIU PKG with 15 ft. (4.6 m) XIU cable - Includes 4 m in-vacuum cable and 6 in. BNC (XIU to feedthrough) cable - For use with XTC/3
780-612-G304m XIU PKG with 30 ft. (9.1 m) XIU cable - Includes 4 m in-vacuum cable and 6 in. BNC (XIU to feedthrough) cable - For use with XTC/3
780-612-G504m XIU PKG with 50 ft. (15.2 m) XIU cable - Includes 4 m in-vacuum cable and 6 in. BNC (XIU to feedthrough) cable - For use with XTC/3
780-612-G1004m XIU PKG with 100 ft. (30.5 m) XIU cable - Includes 4 m in-vacuum cable and 6 in. BNC (XIU to feedthrough) cable - For use with XTC/3
780-613-G154m XIU PKG with 15 ft. (4.6 m) XIU cable - Includes 3.5 m in-vacuum cable and 20 in. BNC (XIU to feedthrough) cable - For use with XTC/3
780-613-G304m XIU PKG with 30 ft. (9.1 m) XIU cable - Includes 3.5 m in-vacuum cable and 20 in. BNC (XIU to feedthrough) cable - For use with XTC/3
780-613-G504m XIU PKG with 50 ft. (15.2 m) XIU cable - Includes 3.5 m in-vacuum cable and 20 in. BNC (XIU to feedthrough) cable - For use with XTC/3
780-613-G1004m XIU PKG with 100 ft. (30.5 m) XIU cable - Includes 3.5 m in-vacuum cable and 20 in. BNC (XIU to feedthrough) cable - For use with XTC/3
Oscillator Only(No cables included)
780-600-G1XTC/3 XIU (oscillator) - For XIU to sensor head cable lengths of 6 in. to 72 in. (15 cm to 183 cm)
780-600-G2XTC/3 XIU (oscillator) - For XIU to sensor head cable lengths of 118 in. to 157 in. (3 m to 4 m)
Cables 
755-257-G615.2 cm (6 in.) BNC cable, XIU to vacuum feedthrough
600-1261-P154.6 m (15 ft.) cable, Cgynus 2, IC6 or XTC/3 controller to XIU
600-1261-P309.1 m (30 ft.) cable, Cygnus 2, IC6 or XTC/3 controller to XIU
600-1261-P5015.2 m (50 ft.) cable, Cygnus 2, IC6 or XTC/3 controller to XIU
600-1261-P10030.5 (100 ft.) cable, Cygnus 2, IC6 or XTC/3 controller to XIU
NombreDescripción
Quartz Monitor CrystalsQuartz Monitor Crystals
El producto se utiliza en los siguientes mercados
Vacuum_Coating-Navi
Recubrimientos al vacío

Los mercados de revestimiento al vacío van mucho más allá de la óptica y se están expandiendo rápidamente a ámbitos, industrias y capas de película que eran casi inimaginables hace sólo diez años.

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