UL1000 Fab
ULTRATEST™ sensor technology.
Product configurator
Gemini™ MxG5xx
La serie de detectores de fugas de helio INFICON UL1000 es el estándar reconocido cuando se trata de pruebas económicas de fugas de helio en vacío en entornos industriales (UL1000 con bombas de vacío de pre-compresión selladas con aceite) o en entornos de semiconductores (UL1000 Fab con bombas de vacío de pre-compresión seca).
La serie UL1000 ofrece el mejor compromiso entre alto rendimiento, una robustez incomparable y asequibilidad. Proporciona límites de detección de última generación de 10^-12 mbar*l/s combinados con tiempos de bombeo y respuesta razonablemente cortos. El diseño compacto garantiza una alta maniobrabilidad, lo que facilita el acceso a áreas de mantenimiento con espacio restringido. La supresión de fondo seleccionable (iZERO) permite pruebas de fugas continuas dentro de al menos dos décadas por debajo de los niveles de fondo existentes.
Estas características, en conjunto, reducen la duración del proceso de prueba de fugas, asegurando que todas las fugas se detecten de manera eficiente y económica.
Con la adición del accesorio de cámara de prueba TC1000, la serie de detectores de fugas de helio UL1000 ofrece pruebas fáciles, rápidas y precisas de partes herméticamente selladas, como paquetes de CI, cristales de cuarzo y diodos láser (de acuerdo con MIL-STD 883, Método 1014).
Pruebas de estanqueidad optimizadas con SMART-Spray, I-BOOST y SPRAY-Check
SMART-Spray mejora la comprobación de fugas al eliminar la necesidad de grandes bombonas de helio y engorrosas mangueras. Agiliza el proceso, reduciendo los ajustes manuales del flujo de helio y minimizando los errores. Esta herramienta hace que la detección de fugas sea más rápida, sencilla y fiable, a la vez que mantiene bajos niveles de consumo de helio y de fondo.
Ideal para pruebas de fugas eficaces y precisas, I-BOOST ofrece hasta un 50% de ahorro de tiempo en la detección de fugas. Con tiempos de respuesta más cortos, proporciona mediciones rápidas y precisas en varios volúmenes de cámara, mejorando la eficiencia y la precisión. Además, SPRAY-Check, una prueba de fugas por pulverización, garantiza la funcionalidad y preparación de su detector de fugas. Ideal para el rango de 10-⁹ a 10-⁸ mbar∙l/s, proporciona comprobaciones fiables durante los procesos de prueba.
Ventajas
- minimiza el esfuerzo dedicado a las pruebas de estanqueidad gracias a un tiempo rápido de bombeo y de reacción
- evita la necesidad de realizar múltiples pruebas de estanqueidad al usar la supresión de fondo seleccionable (iZERO)
- permite acceder fácilmente a zonas de mantenimiento con espacio limitado gracias a un diseño adaptable
- bajo coste total de propiedad (TCO) gracias a una robusta fuente iónica de dos filamentos calientes (3 años de garantía) y al sistema de vacío a contracorriente
- fácil de usar con pantalla giratoria, indicación de fuga óptica y acústica y mando a distancia opcional
- bajo mantenimiento gracias a una detección de fugas integrada con método de autocalibración
Aplicaciones Tipicas
- Fabricación de equipos de vacío industrial con alta demanda de limpieza
- Componentes de vacío o subconjuntos antes de ser instalados en herramientas existentes
- Trabajo de mantenimiento en herramientas de vacío, con o sin soporte de su propia bomba
- Inspecciones e instalaciones de sistemas de gas de proceso
- Fabricación de semiconductores, pantallas planas o células solares
- Componentes automotrices
- Componentes y subconjuntos de refrigeración y aire acondicionado
- Dispositivos electrónicos herméticamente sellados
- Intercambiadores de calor
Especificaciones
Tasa de fuga mín. detectable para helio (método de vacío) | mbar•L/s | < 5·10-12 |
Tasa de fuga mín. detectable para helio (modo sniffer) | mbar•L/s | < 5·10-8 |
Máx. Presión de entrada Modo GROSS | mbar | 15 |
Máx. Presión de entrada Modo FINE | mbar | 2 |
Máx. Presión de entrada Modo ULTRA | mbar | 0.4 |
Tipo de bomba de vacío Fore | Sellado con aceite | |
Velocidad de bombeo durante la evacuación | m³/h | 16 at 50 Hz |
Velocidad de bombeo de helio Modo ULTRA | L/s | 2.5 |
Masas detectables | 2,3,4 amu | |
Espectrómetro de masas Campo sectorial | 180° | |
Filamentos fuente de iones Revestimiento de iridio/ itria | 2 | |
Fuga de prueba calibrada incorporada | mbar•L/s | E-7 |
Conexión de prueba | DN 25 KF | |
Gatillos ajustables | 2 | |
Interfaz | RS232 | |
Salida del registrador gráfico | V | 2x10 |
Entradas/Salidas | Compatible con PLC | |
Temperatura ambiente admisible (durante el funcionamiento ) | °C | +10.....+40 |
Peso | kg lb | 110 242 |
Dimensions ( L x W xH ) | mm in | 1068 x 525 x 850 42 x 21 x 33 |
Tensiones de alimentación | V (AC) V (AC) V (AC) | 230 (±10%) 50Hz 115 (±10%) 60Hz 100 (±10%) 50/60Hz |
Consumo de energía | VA | 1100 |
Tasa de fuga mín. detectable para helio (modo vacío) | mbar•L/s | < 5·10-12 |
Tasa de fuga mín. detectable para helio (modo sniffer) | mbar•L/s | < 5·10-8 |
Máx. Presión de entrada Modo GROSS | mbar | 15 |
Máx. Presión de entrada Modo FINE | mbar | 2 |
Máx. Presión de entrada Modo ULTRA | mbar | 0.4 |
Tipo de bomba de vacío Fore | Compresión en seco | |
Velocidad de bombeo durante la evacuación | m³/h | 25 at 50 Hz |
Velocidad de bombeo de helio Modo ULTRA | L/s | 2.5 |
Masas detectables | 2,3,4 amu | |
Espectrómetro de masas Campo sectorial | 180° | |
Filamentos fuente de iones Revestimiento de iridio/ itria | 2 | |
Fuga integrada calibrada | mbar•L/s | ∼ 10-7 |
Conexión de prueba | DN 25 KF/(DN 40 KF) | |
Gatillos ajustables | 2 | |
Interfaz | RS 232 | |
Salida del registrador gráfico | V | 2 x10 |
Entradas/Salidas | Compatible con PLC | |
Temperatura ambiente admisible (durante el funcionamiento) | °C | +10 to +40 |
Peso | kg lb | 110 242 |
Dimensiones (l x a x a) | mm in. | 1050 x 472 x 987 41 x 19 x 39 |
Tensión de alimentación (UE) | V (AC) | 230 (± 10 %) 50 Hz |
Tensión de alimentación (US) | V (AC) | 100/115 V (± 10 %) 50/60 Hz |
Consumo de energía (típ.) | VA | 1100 |
Consumo de energía (máx.) | VA | 1100 |
Información para pedidos
550-000A | UL1000, 230 V AC, DN 25 KF |
550-001A | UL1000, 115 V AC, DN 25 KF |
550-002A | UL1000, 100 V AC, DN 25 KF |
550-100A | UL1000 Fab, 230 V AC, DN 25 KF |
550-101A | UL1000 Fab, 100/115 V AC, DN 25 KF |
550-102 | UL1000 Fab, 230 V AC, DN 40 KF |
14022 | Cable alargador para mando a distancia RC1000, 8 m de longitud |
551-000 | Caja de herramientas, desmontable para UL1000 |
551-001 | Soporte de botella de helio para UL1000/5000 |
551-002 | Alfombrilla ESD para UL1000/5000 |
551-005 | TC1000 Cámara de pruebas, DN 25 KF, muñequera ESD |
551-010 | Remote Control RC1000C, con cable, con cable en espiral de 4 m |
551-015 | Remote Control RC1000WL, inalámbrico, incl. transmisor inalámbrico |
551-020 | Transmisor inalámbrico para RC1000WL |
551-050 | Kit de pistola de helio SMART-Spray |
551-031 | SPRAY-Check TL8 (sin calibrar) |