UL3000 Fab Series
UL3000 Fab /UL3000 Fab ULTRA
Detectores móviles de fugas de helio con tecnología de sensor ULTRATEST ™.
Product configurator
Gemini™ MxG5xx
Detectores móviles de fugas de helio: Diseñados específicamente para las necesidades de pruebas de fugas en aplicaciones de semiconductores.
Se caracterizan por su flexibilidad, movilidad, rápida puesta en marcha, alta sensibilidad, resultados rápidos y precisos de las pruebas y fiabilidad.
- Tiempos de bombeo (evacuación) más rápidos gracias a la mayor velocidad de bombeo del aire.
- Menor coste total de propiedad (TCO) gracias a la bomba de desbaste de raíces de bajo mantenimiento.
- Comience antes la comprobación de fugas ya que el software HYDRO-S elimina el vapor de agua
de fondo, lo que permite alcanzar rápidamente rangos de medición sensibles. - La UL3000 Fab ULTRA ofrece también una capacidad de sniffer mejorada mediante el uso de la bien probada línea de sniffer SL3000 que tiene hasta 10 m de longitud. El SL3000 dispone de un puerto de conexión independiente, por lo que no es necesario conectarlo a la entrada de vacío.
Resultados rápidos
El sistema de vacío mejorado con bombas de vacío de bajo mantenimiento permite la detección de fugas a partir de la presión atmosférica. El robusto sistema del espectrómetro de masas garantiza un largo tiempo de funcionamiento y bajos costes de mantenimiento.
Pantalla giratoria e interfaz de usuario controlable a distancia
La nueva pantalla táctil muestra los resultados de las pruebas y la información de estado incluso a larga distancia. Fácil manejo mediante una estructura de menús guiada por el usuario, incluso para operadores sin experiencia. Es posible el control inalámbrico de la UL3000 Fab (ULTRA) a través de un smartphone o una tableta, sin necesidad de software ni aplicaciones especiales. La grabación y el almacenamiento de los resultados de las pruebas mediante pulsador pueden transferirse a otros medios de almacenamiento para su posterior análisis.
Diseño estilizado para una maniobrabilidad avanzada
El bajo centro de gravedad, las grandes ruedas, la empuñadura de diseño ergonómico y la delgada carcasa permiten una buena movilidad de la UL3000 Fab (ULTRA) incluso en espacios reducidos.
Pruebas de estanqueidad optimizadas con SMART-Spray, I-BOOST y SPRAY-Check
SMART-Spray mejora la comprobación de fugas al eliminar la necesidad de grandes bombonas de helio y engorrosas mangueras. Agiliza el proceso, reduciendo los ajustes manuales del flujo de helio y minimizando los errores. Esta herramienta hace que la detección de fugas sea más rápida, sencilla y fiable, a la vez que mantiene bajos niveles de consumo de helio y de fondo.
Ideal para pruebas de fugas eficaces y precisas, I-BOOST ofrece hasta un 50% de ahorro de tiempo en la detección de fugas. Con tiempos de respuesta más cortos, proporciona mediciones rápidas y precisas en varios volúmenes de cámara, mejorando la eficiencia y la precisión. Además, SPRAY-Check, una prueba de fugas por pulverización, garantiza la funcionalidad y preparación de su detector de fugas. Ideal para el rango de 10-⁹ a 10-⁸ mbar∙l/s, proporciona comprobaciones fiables durante los procesos de prueba.
Ventajas
- Ahorre tiempo con el algoritmo de software I-CAL para mediciones rápidas en el rango de 10-9 a 10-12 mbar-l/s
- Comprobación de fugas más eficaz mediante I-ZERO 2.0 con función inteligente mejorada para rápida supresión del fondo manteniendo una alta sensibilidad de medición
- Aplicable para la búsqueda de fugas por vacío y sniffer
- Minimiza los esfuerzos de comprobación de fugas gracias a su rápida evacuación y tiempo de respuesta
- Ahorro de tiempo por su fácil maniobrabilidad gracias a su diseño delgado
- Bajo coste total de propiedad (TCO) gracias a la robusta fuente de iones (3 años de garantía) y al sistema de vacío a contracorriente
- HMI fácil de usar y guiada por el operador con pantalla giratoria de alta resolución a todo color
- UL3000 Fab ULTRA: Comience antes la comprobación de fugas, ya que el software HYDRO-S elimina el fondo de vapor de agua, lo que permite alcanzar rápidamente rangos de medición sensibles
- UL3000 Fab ULTRA: Tiempos de bombeo (evacuación) más rápidos gracias a la mayor velocidad de bombeo de aire de la bomba de raíces
- UL3000 Fab ULTRA: Menor coste total de propiedad (TCO) gracias a la bomba de desbaste de raíces de bajo mantenimiento.
- UL3000 Fab ULTRA: El detector de fugas ofrece también una capacidad de olfateo mejorada mediante el uso de la línea de olfateo SL3000, de probada eficacia y con una longitud de hasta 10 m. El SL3000 dispone de un puerto de conexión independiente, por lo que no es necesario conectarlo a la entrada de vacío.
Aplicaciones típicas
- Fábricas de semiconductores
- Fabricación de pantallas planas
- Fabricación de células solares
- Recubrimiento de vidrio y Web (rollo a rollo)
- Recubrimiento al vacío y aplicaciones generales
Especificaciones
| Velocidad máx. de bombeo de la bomba de vacío en bruto | m³/h | >30 |
| Velocidad de bombeo de helio (modo de alta sensibilidad ULTRA) | L/s | 4 |
| Dimensiones (LxAxA) | mm in. | 1050x472x987 42x21x34 |
| Características adicionales | Bomba seca Roots con la mayor velocidad de bombeo de aire, HYDRO-S, puerto de línea de sniffer separado para SL3000, soporte de manguera de vacío | |
| Max. pumping speed of roughing pump | m³/h | >36 |
| Helium pumping speed (high sensitive mode ULTRA) | L/s | 4 |
| Dimensions (LxWxH) | mm in. | 1050x472x987 42x21x34 |
| Additional Features | Roots dry pump with highest air pumping speed, HYDRO·S, separate sniffer line port for SL3000, vacuum hose holder | |
Información para pedidos
| 550-260 | UL3000 Fab ULTRA |
| 550-200 | UL3000 Fab |
| 551-050 | SMART-Spray ***NEW |
| 551-600 | I·BOOST software license***NEW |
| 551-031 | SPRAY-Check TL8***NEW |
| 551-010 | Remote Control RC1000C, con cable, con cable en espiral de 4 m |
| 551-202 | Soporte de manguera de vacío para UL3000 Fab (incl. para versión ULTRA) |
| 525-001 | SL3000-3, línea sniffer de 3 m de longitud |
| 525-002 | SL3000-5, línea sniffer de 5 m de longitud |
| 525-003 | SL3000-10, línea sniffer de 10 m de longitud |
| 551-203 | Abrazadera para SL3000 |
| 551-210 | SL200, línea sniffer + extensión el. para UL3000 |
| 551-201 | Soporte para botellas de helio |
| 560-310 | Módulo I/O 1000 |
| 560-315 | Módulo BM1000 PROFIBUS |
| 560-316 | Módulo BM1000 PROFINET IO |
| 560-317 | Módulo BM1000 DeviceNet |
| 560-318 | Módulo BM1000 Ethernet/IP |
| 560-334 | Cable de datos para IO1000, BM1000, 0,5 m |
| 560-332 | Cable de datos de 2 m |
| 560-335 | Cable de datos de 5 m |
| 560-340 | Cable de datos de 10 m |
| 551-005 | Cámara de pruebas TC1000, DN25KF, pulsera ESD |
| 551-205 | cable alargador para TC1000/SL200, UL3000 |
| 200007656 | Kit de filtro de aire UL3 Ventilación de la carcasa |
