xParts
Servicio de revestimiento ALD
Los revestimientos xParts son películas finas ALD (deposición de capas atómicas) altamente uniformes y sin partículas que se aplican sobre piezas tridimensionales específicas del cliente para su uso en aplicaciones extremadamente duras, como los procesos de producción de semiconductores.
Los recubrimientos xParts aumentan la vida útil de los componentes críticos y aseguran el tiempo de actividad de las herramientas de producción.
Necesidad del cliente | Característica xParts | Ventaja |
|---|---|---|
Tiempo de funcionamiento de la herramienta | Alta resistencia a la corrosión | Mayor vida útil de las piezas |
Barrera de difusión | Reduce el acondicionamiento | |
Buen rendimiento | Baja contaminación por metales | Menos defectos/contaminaciones |
Buenas obleas | Sin partículas | Menos defectos/recuperación tras la PM |
Coste de propiedad | Programa de renovación | Reducción de los costes de propiedad |
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