Metrology Sampling Optimizer

En una fábrica típica sin un muestreo metrológico exhaustivo, es imposible saber si la fábrica está muestreando las mediciones por exceso o por defecto. Un muestreo excesivo desperdicia tiempo productivo y un muestreo insuficiente aumenta el riesgo de chatarra.

El optimizador de muestreo metrológico (MSO) utiliza datos en tiempo real y las condiciones de la fábrica para determinar qué medir con el fin de minimizar los riesgos de rechazo y optimizar la capacidad de medición. MSO ha demostrado una reducción del 30% de los lotes en riesgo.

Utilizando reglas definidas por el usuario que aprovechan las limitaciones prácticas y la información en tiempo real, MSO decide cuándo y qué medir del producto. Los planes de muestreo se actualizan en tiempo real para gestionar el muestreo de toda la instalación, garantizando resultados continuamente relevantes en medio de las condiciones dinámicas de la instalación.

Los sistemas de muestreo heredados son limitados; aplican reglas de forma aislada y no se adaptan a los acontecimientos importantes de las herramientas ni a las condiciones cambiantes de la fábrica. Esto da lugar a un sobremuestreo de algunos productos y a un submuestreo de otros, lo que aumenta el tiempo de ciclo y el riesgo del producto.

MSO minimiza el muestreo evaluando todas las reglas relacionadas cada vez que una regla activa el muestreo. Todas las reglas relacionadas que se eliminarían con el muestreo del mismo material se restablecen aunque aún no hayan vencido.

Ejemplo: 
Si se aplican dos reglas de muestreo, una para Foto y otra para Grabado, a la misma medición de producto y la regla de Grabado vence, el Optimizador de muestreo de metrología también considerará satisfecha la regla de Foto para el escáner concreto en el que se ejecutó el mismo lote, suponiendo que cumpla todos los criterios de regla adecuados, y viceversa. El plan de muestreo se satisface y las métricas se actualizan en tiempo real a medida que se registra cada nueva medición.

El optimizador de muestreo de metrología proporciona integración para ayudar a optimizar la programación del trabajo en curso y proporcionar una gestión superior de las excursiones. La integración con el sistema de programación permite a MSO conducir el material de alta prioridad o bloqueo a través del muestreo de medición lo más rápidamente posible.

La integración con sistemas de detección de fallos, como FabGuard, o sistemas de gestión de excursiones permite un muestreo rápido del material en riesgo para minimizar el impacto de las excursiones.

• Programación y despacho. Maximizar el uso y la cobertura de la metrología coordinándose con la dirección de WiP.
• Sistemas de ejecución de fabricación. Identifique qué piezas tienen recetas de metrología y tienen pasos de medición.
• Detección de fallos. Valide las desviaciones detectadas por el FDC y tome muestras de los lotes en riesgo.
• Control avanzado de procesos. Alinee el plan de muestreo con las necesidades de APC para maximizar los beneficios de rendimiento del APC
• Mantenimiento correctivo y preventivo. Ajuste los planes de muestreo en función de las tareas de mantenimiento correctivo y preventivo.

El cuadro de mandos del optimizador de muestreo metrológico muestra el estado de la cobertura metrológica en tiempo real.

Los cuadros de mandos, fáciles de interpretar, ayudan a los ingenieros a determinar la cobertura metrológica y de exploración de defectos, el tiempo medio hasta la detección de la excursión y el número de lotes o sustratos en riesgo. El tablero de mandos MSO ayuda a los ingenieros a centrar los esfuerzos de muestreo de la fábrica proporcionandovisibilidad de la cobertura, el estado actual del muestreo y la supervisión en tiempo real. El tablero MSO permite actuar de inmediato para gestionar el muestreo y la gestión de las excursiones.

Póngase en contacto con nosotros para ayudarle a maximizar las operaciones de su fábrica.