Tecnología de detección por RF
ADC100
Detector de Arco de CC ADC100
El sistema ADC100 se conecta a un generador de CC para detectar arcos en el plasma en tiempo real. Esto ofrece la capacidad de interrumpir un proceso de obleas e informar a los ingeniero sobre un daño potencial en el producto o en el hardware.
Características
- Integración del software en la herramienta a través del sistema de análisis e integración de sensores FabGuard
- Recopilación de datos a 250 kHz por canal
- Cables personalizados se pueden conectar a la mayoría de los generadores de CC
- Detecta los arcos rápidamente con herramientas de análisis predefinidas
- Capacidad de detección de punto de equivalencia
- Asistencia de la aplicación en todo el mundo
Descargas
El producto se utiliza en los siguientes mercados
