BAG302
Vacuómetro De Vacío Medio A Ultravacío
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Product configurator
Gemini™ MxG5xx
El vacuómetro único de iones de cátodo caliente con tecnología Bayard-Alpert INFICON BAG302 abarca un amplio rango de mediciones, de 1,3 × 10-9 a 6.7×10-2 mbar (1 × 10-9 a 5 × 10-2 Torr). El indicador de iones calientes compacto todo en uno BAG302 incorpora un sensor de doble filamento fácil de intercambiar, una pantalla OLED integrada, relé de punto de ajuste y una salida analógica logarítmica, así como una interfaz digital integrada RS485 para una mayor flexibilidad de integración. Estas funciones, junto con su diseño resistente, hacen que el dispositivo BAG302 sea en sí un instrumento de medición de presión de procesos asequibles y repetitivos que proporciona una opción asequible e interesante de adquirir.
Ventajas
- Amplio rango de medición de 1,3 × 10-9 a 6,7×10-2 mbar(1 × 10-9 a 5 × 10-2 Torr)
- Dos filamentos de iridio con revestimiento de óxido de itrio de larga duración estándar
- Vacuómetro activo todo en uno con pantalla integrada, punto de ajuste, salida analógica e interfaz digital RS485 integrada estándar
- Pantalla OLED digital brillante con teclado para facilitar la configuración, el funcionamiento y la programación
- Relé de ajuste programable por el usuario
- Unidades de visualización programables por el usuario en mbar, Torr o Pa
- Rango automático de la corriente de emisión seleccionable por el usuario
- Resistencia mecánica y robustez
- Diversas opciones de bridas
- Elemento sensor fácil de cambiar
- Conformidad y normas: CE, RoHS
- Sustitución directa del módulo Granville-Phillips® 354 Micro-Ion®: funciones de control idénticas, incluyendo los comandos de software (RS485) (Granville-Phillips® y Micro-Ion® son marcas comerciales registradas de MKS Instruments, Andover, MA, EE. UU.)
Aplicaciones típicas
- Medición de presión en procesos de semiconductores y cámaras de transferencia
- Revestimiento industrial
- Medición general de vacío y control en los rangos de vacío bajo y vacío ultra elevado
Especificaciones
| Measurement range (air, O2, CO, N2) | mbar Torr Pa | 1.3 x 10-9 ... 6.7 x 10-2 1 x 10-9 ... 5 x 10-2 1.3 x 10-7 ... 6.7 |
| Accuracy (N2) | ||
| 1.3×10-8 … 6.7 ×10-2 mbar | % of reading | ±15 |
| 1×10-8 … 5×10-2 Torr | % of reading | ±15 |
| Repeatability | % of reading | ±5 |
| Temperature | °C | +10 … +50 |
| Operation (ambient) | °C | 0 ... +40 |
| Storage | °C | -40 ... +70 |
| Bakeout at flange (sensor only, electrics removed) | °C | 200 |
| Supply voltage | V (dc) | +20 ... +28 |
| Setpoint relay | 1 (single-pole double-throw relay (SPDT)) 1 A at 30 V (dc) resistive, or V (ac) non-inductive | |
| Materials exposed to vacuum | Y2O3, Ir, W, Ta, stainless steel, glass, Ni |
Número de parte
