Trigon™ BAG552
Vacío de medio a ultra alto Monogrueso
¡Revolucione su experiencia de medidores de vacio con nosotros!
Product configurator
Gemini™ MxG5xx
Para aplicaciones que requieren una tecnología de medidor de iones calientes independiente, la familia Trigon™ contiene el medidor de iones calientes Bayard-Alpert BAG552 de tecnología única.
El BAG552 está diseñado para la medición en vacío de gases en el rango de presión de 5 × 10-10 ... 2 × 10-2 mbar. El filamento doble soportado ofrece una precisión, repetibilidad y longevidad superiores. El BAG552 también puede funcionar junto con el controlador de vacuómetros INFICON de las series VGC501, VGC502, VGC503.
VacXplor™ Software
VacXplor, nuestro software de usuario modular, está diseñado para mejorar su experiencia con los medidores Trigon de INFICON. VacXplor ofrece una interfaz unificada, visualización dinámica de datos y opciones avanzadas de personalización, todo ello sin necesidad de derechos de administrador para su instalación.
Ventajas
- Sistema de medición Bayard-Alpert puro para un amplio rango de medición UHV y HV
- 2 filamentos para el sistema Bayard-Alpert
- Electrónica aislada galvánicamente para evitar corrientes parásitas eléctricas
- Modo de emisión deslizante para evitar saltos de presión y congelaciones al cambiar el flujo de emisión
- Mayor capacidad de horneado gracias a los chips de datos de calibración extraíbles
- Relés de punto de consigna
- Pantalla OLED brillante y grande (giratoria 90°) con interfaz de usuario
- Salida analógica, interfaz serie RS232C, EtherCAT
- Utilizable junto con la serie de controladores VGC50x
- Conformidad con RoHS
Aplicaciones tipicas
- Medición de la presión en procesos de semiconductores
- Recubrimiento industrial
- Medición y control general del vacío en sistemas de alto a ultra alto vacío
Especificaciones
| Campo de medida (aire, O2, CO, N2) | 5 × 10-10 … 2 × 10-2 mbar |
| Precisión | |
| 1 × 10-8 … 2 × 10-2 mbar | ±15 de lectura |
| Repetibilidad | 5% de lectura, 10-8 … 2 × 10-2 mbar (tras 10 min. de estabilización) |
| Materiales expuestos al vacío | acero inoxidable, NiFe, niquelado, Hastelloy, vidrio, iridio, óxido de itrio (Y2O3), Ni, tungsteno |
Número de parte
Número de parte
| Número de parte | Descripción |
| 352-420 | BAG552 Cabezal sensor de repuesto, 25KF |
| 352-421 | BAG552 Cabezal sensor de repuesto, 40CF |
