Vacuómetro de ionización en caliente
BCG450
ATM to Ultra High Vacuum TripleGauge®
Opciones Drop-in
¡Revolucione su experiencia de medidores de vacio con nosotros!
Product configurator
Gemini™ MxG5xx
Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
Request
Your configuration has been successfully sent!
Más Flexibilidad. Mejor estabilidad.
Modo de emisión deslizante, chip de calibración extraíble, electrónica con aislamiento galvánico, pantalla OLED opcional (giratoria 90°) y mucho más.
Actualizar ahora
El medidor de diafragma de capacitancia (Triple-Gauge™) Bayard-Alpert Pirani de INFICON, BCG450, combina las ventajas de tres tecnologías diferentes en un único paquete compacto y económico para medir la presión de proceso y de base de 5×10-10 a 1500 mbar (3,75×10-10 a 1125 Torr).
El BCG450 está diseñado para ocupar el lugar de tres sensores (ion caliente, Pirani mejorado por convección y vacuostato), reduciendo así el coste y el valioso espacio de la herramienta.
También disponible con interfaz digital PROFINET.
Ventajas
- El BCG450 ahorra costes y espacio de herramientas y reduce la complejidad de la instalación y configuración de la medición de vacío
- La medición de presión independiente del tipo de gas por encima de 10 Torr proporciona un control de bloqueo de carga más fiable para cualquier mezcla de gases
- El enclavamiento Pirani protege el filamento caliente de un quemado prematuro
- El ajuste automático Pirani de alto vacío reduce las intervenciones del operario
- La medición de la presión diferencial en la atmósfera elimina la incertidumbre relacionada con los cambios de presión atmosférica
- Elemento sensor fácil de intercambiar con datos de calibración integrados que garantizan la reproducibilidad.
- Pantalla gráfica opcional e interfaces de bus de campo disponibles
- Conformidad con RoHS
Aplicaciones típicas
- Medición de la presión en cámaras de proceso, transferencia y esclusa de carga de semiconductores
- Recubrimiento industrial
- Medición y control del vacío general en sistemas de vacío bajo a ultraalto
Especificaciones
Measurement range (air, O2, CO, N2) | mbar Torr | 5×10-10 … 1500 3.75×10-10 … 1125 |
Accuracy | ||
10-8 … 50 mbar | % of reading | ±15 |
50 … 950 mbar | % of reading | ±5 |
950 … 1050 mbar | % of reading | ±2.5 |
Repeatability | ||
10-8 … 10-2 mbar | % of reading | 5 |
Temperature | ||
Operation (ambient) | °C | 0 … +50 |
Storage | °C | -20 … +70 |
Bakeout at flange | °C | 80 |
Bakeout electronics removed | °C | 150 |
Supply voltage | V (dc) A (dc) | 20 … 28 0.8 |
Materials exposed to vacuum | Yt2O3, Ir, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, AI2O3, SnAg, stainless steel, glass |
Número de parte
Número de parte
Accesorios
Piezas de repuesto
Número de parte | Descripción |
353-550 | BCG450 DN 25 ISO-KF |
353-551 | BCG450 DN 40 CF-R |
353-552 | BCG450 LCD, DN 25 ISO-KF |
353-553 | BCG450 LCD, DN 40 CF-R |
353-554 | BCG450-SP PBus, DN 25 ISO-KF |
353-556 | BCG450-SP PBus, DN 40 CF-R |
353-557 | BCG450-SD DNet, DN 25 ISO-KF |
353-558 | BCG450-SD DNet, DN 40 CF-R |
353-592 | BCG450-SE ECAT, DN 25 ISO-KF |
353-593 | BCG450-SE ECAT, DN 40 CF-R |
353-598 | BCG450-SE ECAT, DN 25 ISO-KF |
353-599 | BCG450-SE ECAT, DN 40 CF-R |
353-517 | BCG450-PN PROFINET, DN 25 ISO-KF |
353-518 | BCG450-PN PROFINET, DN 40 CF-R |
Número de parte | Descripción |
353-511 | Power supply BPG400 24VDC |
353-512 | Baffle for BPG400 |
211-113 | Centering ring with baffle DN 25 KF |
Número de parte | Descripción |
354-492 | Spare sensor head BCG450, DN 25 ISO-KF |
354-493 | Spare sensor head BCG450, DN 40 CF-R |
Descargas
Folletos
Manuales
TINA40D1 Triple Gauge BCG450 Gebrauchsanleitung_lang
pdf
•
2,0 MB
•
Alemán
•
Manual de instrucciones
BCG450 Communication Protocol EtherCAT_New Generation
pdf
•
773,5 KB
•
Inglesa
•
Manual de instrucciones
TripleGauge BCG450 Communication Protocol EtherCAT
pdf
•
350,6 KB
•
Inglesa
•
Manual de instrucciones
TripleGauge BCG450 Communication Protocol DeviceNet
pdf
•
289,8 KB
•
Inglesa
•
Manual de instrucciones
TripleGauge BCG450 Communication Protocol PROFIBUS
pdf
•
360,8 KB
•
Inglesa
•
Manual de instrucciones
TripleGauge BCG450 Communication Protocol PROFINET
pdf
•
824,0 KB
•
Inglesa
•
Manual de instrucciones
TINA40E1 Triple Gauge BCG450 Operating manual_long
pdf
•
1,8 MB
•
Inglesa
•
Manual de instrucciones
3D Step Files
353-517 BCG450 PROFINET DN 25 ISO-KF
stp
•
3,5 MB
•
Archivos 3D
353-518 BCG450 PROFINET DN 40 CF-R
stp
•
5,4 MB
•
Archivos 3D
353-550 BCG450 DN 25 ISO-KF
zip
•
451,7 KB
•
Archivos 3D
353-551 BCG450 DN 40-CF-R
zip
•
455,6 KB
•
Archivos 3D
353-552 BCG450 LCD DN 25 ISO-KF
zip
•
453,5 KB
•
Archivos 3D
353-553 BCG450 LCD DN 40 CF-R
zip
•
459,6 KB
•
Archivos 3D
353-554 BCG450 PROFIBUS DN 25 ISO-KF
zip
•
459,8 KB
•
Archivos 3D
353-556 BCG450 PROFIBUS DN 40-CF-R
zip
•
467,2 KB
•
Archivos 3D
353-557 BCG450 DNET DN 25 ISO-KF
zip
•
457,3 KB
•
Archivos 3D
353-558 BCG450 DNET DN 40-CF-R
zip
•
462,3 KB
•
Archivos 3D
353-592 BCG450-SE EtherCAT 25 ISO-KF
zip
•
197,6 KB
•
Archivos 3D
353-593 BCG450-SE EtherCAT 40 CF-R
zip
•
196,8 KB
•
Archivos 3D
Otros
BCG450-int.eds
eds
•
53,7 KB
•
Inglesa
BCG450-float.eds
eds
•
53,7 KB
•
Inglesa
BCG450_08E6.GSD
GSD
•
2,5 KB
•
Inglesa
Inficon_450_SP_STEP7
zip
•
857,1 KB
•
Inglesa
EtherCAT new generation ESI file BCG450 V2_0_0_0.xml
xml
•
218,7 KB
•
Inglesa
ESI File_BCG450 V1_3_0_0
xml
•
1,4 MB
•
Inglesa
PROFINET GSDML File for BCG450
zip
•
3,2 KB
•
Inglesa
El producto se utiliza en los siguientes mercados