Vacuómetro de ionización en caliente

Trigon™ BCG552

ATM a TripleGauge® de ultra alto vacío

BPG552-Trigon
Opciones Drop-in

¡Revolucione su experiencia de medidores de vacio con nosotros!

Product configurator

Gemini™ MxG5xx

Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
Your configuration
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Flange
DN 16 ISO-KF
Switching functions
None
Electrical Connection
FCC, 8-pin
Digital Interface
None
Measurement range
1.2 - 8.68 V
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Product
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Gemini™ MAG500
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El TripleGauge® BCG552 combina 3 elementos sensores de vacío en una sola brida sensora. Este buque insignia de la nueva familia TrigonTM ofrece un rango de medición extremadamente amplio, desde UHV (5 x10-10) hasta ATM (1500 mbar). Con su sensor ATM añadido, el BCG552 está predestinado a la medición de presión diferencial y al uso como vacuostato en diversas aplicaciones.

El doble filamento Bayard-Alpert soportado ofrece una precisión, repetibilidad y longevidad superiores en el rango UHV y HV, mientras que el medidor de diafragma de capacitancia miniaturizado es de una precisión superior en el rango ATM e independiente del tipo de gas.

VacXplor™ Software

VacXplor, nuestro software de usuario modular, está diseñado para mejorar su experiencia con los medidores Trigon de INFICON. VacXplor ofrece una interfaz unificada, visualización dinámica de datos y opciones avanzadas de personalización, todo ello sin necesidad de derechos de administrador para su instalación.

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Ventajas

  • 3 + 1 elementos sensores para un rango de medición extremadamente amplio, reducción de costes y ahorro de espacio.
  • 2 filamentos para el sistema Bayard-Alpert.
  • La medición de la presión independiente del tipo de gas por encima de 10 Torr proporciona un control de bloqueo de carga más fiable para cualquier mezcla de gases.
  • La medición de la presión diferencial elimina la incertidumbre relacionada con los cambios de presión atmosférica.
  • El ajuste automático del Pirani de alto vacío reduce las intervenciones del operario.
  • Electrónica con aislamiento galvánico para evitar corrientes parásitas eléctricas.
  • Modo de emisión deslizante para evitar saltos de presión y congelaciones al cambiar la corriente de emisión.
  • Relés de punto de consigna.
  • Pantalla OLED brillante y grande (giratoria 90°) con interfaz de usuario.
  • Salida analógica, interfaz serie RS232C, EtherCAT.
  • Utilizable junto con la serie de controladores VGC50x.
  • Compatible con TripleGauge® BCG450.
  • Conformidad con RoHS.

Aplicaciones tipicas

  • Medición de la presión en cámaras de proceso, transferencia y esclusa de carga de semiconductores.
  • Recubrimiento industrial.
  • Medición y control del vacío en general en sistemas de bajo a ultra alto vacío.

Especificaciones

Campo de medida (aire, O2, CO, N2)5 × 10-10 … 1500 mbar
Precisión 
950 ... 1050 mbar±2.5% de lectura
50 ... 950 mbar±5% de lectura
1 × 10-8 … 50 mbar±15 de lectura
Repetibilidad5% de lectura, 1 × 10-8 … 1050 mbar (tras 10 min. de estabilización).
Materiales expuestos al vacíoAcero inoxidable, NiFe, niquelado, Hastelloy, vidrio, iridio, óxido de itrio (Y2O3), Ni, tungsteno.

Número de parte

BCG552 Ordering Information
BCG552 Ordering Information

Número de parte

Número de parteDescripción
354-423BCG552 Cabezal sensor de repuesto, KF25
354-424BCG552 Cabezal sensor de repuesto, CF40
El producto se utiliza en los siguientes mercados
SEMI-OEM-Navi
Fabricante de herramientas para semiconductores

La industria de semiconductores abarca el diseño, fabricación, montaje y prueba de circuitos integrados para su uso en procesamiento de datos, comunicaciones, electrónica de consumo, automoción y aeroespacial. Los fabricantes de herramientas para semiconductores desarrollan y venden herramientas para la fabricación de componentes microelectrónicos.

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IDM y fundición de semiconductores

Sensores adaptados para una amplia gama de aplicaciones, que garantizan la seguridad del producto, un mayor rendimiento y la máxima productividad.

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Recubrimientos al vacío

Los mercados de revestimiento al vacío van mucho más allá de la óptica y se están expandiendo rápidamente a ámbitos, industrias y capas de película que eran casi inimaginables hace sólo diez años.

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Instrumentación analítica

El mercado de los instrumentos analíticos apoya con sus herramientas altamente sofisticadas a los usuarios en un amplio abanico de aplicaciones y mercados. INFICON colabora con los fabricantes de las tecnologías más avanzadas que ayudan a analizar e identificar las estructuras más pequeñas o las composiciones de los elementos, ya sean gases, líquidos o sólidos. 

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Fabricación industrial

La industria manufacturera se encarga de la fabricación de productos destinados al uso industrial. El vacío se utiliza más a menudo para garantizar un entorno limpio y es necesario para varios procesos, ya que sin vacío no funcionan.

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Display/ Pantallas

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Investigación y academia

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Farmacia y medicina

Aumentar la productividad y ayudar a cumplir las normas de conformidad y los requisitos de calidad en el sector farmacéutico 

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