Medidores de ionización en caliente
BPG400
Indicador De Atmósfera A Vacío Ultraelevado
Opciones Drop-in
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Product configurator
Gemini™ MxG5xx
Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
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El indicador combinado Bayard-Alpert Pirani de INFICON, BPG400, funciona como dos indicadores en una sola unidad compacta y realiza mediciones desde los 5×10-10 mbar hasta 1 atmósfera (3,8×10-10 Torr hasta la atmósfera). La combinación de tecnologías reduce la complejidad de la instalación, de la configuración y de la integración. Seleccione el BPG400 para realizar procesos repetibles y asequibles a fin de realizar mediciones de la presión base en un paquete económico.
Ventaja
- Rango de mediciones extremadamente amplio, desde los 5×10-10 mbar hasta una atmósfera (3,8×10-10 Torr hasta 1 atmósfera)
- Excelente repetibilidad en el rango de presión de procesos desde 10-8 hasta 10-2 mbar del 5%
- El interbloqueo Pirani protege el sistema Bayard-Alpert del desgaste prematuro de los filamentos y de un exceso de contaminación causado por el funcionamiento a alta presión
- Filamento de iridio revestido de óxido de itrio de larga duración
- Están disponibles una interfaz de bus de campo y una pantalla gráfica opcional
- El ajuste Pirani automático de alto vacío reduce las intervenciones del operador
- Cumplimiento de la normativa RoHS
- Medición general de vacío y control en los rangos de vacío bajo y vacío ultra elevado
Aplicaciones típicas
- Medición de presión en procesos de semiconductores y cámaras de transferencia
- Revestimiento industrial
- Medición general de vacío y control en los rangos de vacío bajo y vacío ultra elevado
Especificaciones
| Measurement range (air, O2, CO, N2) | mbar Torr | 5×10-10 … 1000 3.8×10-10 … 750 |
| Accuracy | ||
| 10-8 … 10-2 mbar | % of reading | ±15 |
| Repeatability | ||
| 10-8 … 10-2 mbar | % of reading | 5 |
| Temperature | ||
| Operation (ambient) | °C | 0 … +50 |
| Storage | °C | -20 … +70 |
| Bakeout at flange with extension | °C | 150 |
| Bakeout at flange without extension | °C | 80 |
| Bakeout electronics removed | °C | 150 |
| Supply voltage | V (dc) A (dc) | +20 … +28 0.8 |
| Materials exposed to vacuum | Yt2O3, Ir, Pt, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, stainless steel, glass |
Número de parte
Número de parte
Accesorios
Piezas de repuesto
| Número de parte | Descripción |
| 353-500 | BPG400 DN 25 ISO-KF |
| 353-501 | BPG400 LCD, DN 25 ISO-KF |
| 353-502 | BPG400 DN 40 CF-R |
| 353-503 | BPG400 LCD, DN 40 CF-R |
| 353-505 | BPG400-SP PBus, DN 25 ISO-KF |
| 353-506 | BPG400-SP PBus, DN 40 CF-R |
| 353-507 | BPG400-SD DNet, DN 25 ISO-KF |
| 353-508 | BPG400-SD DNet, DN 40 CF-R |
| Número de parte | Descripción |
| 353-511 | Power supply BPG400 24VDC |
| 353-510 | 100 mm sensor extension tube |
| 353-512 | Baffle for BPG400 |
| 211-113 | Centering ring with baffle DN 25 KF |
| Número de parte | Descripción |
| 354-490 | Spare sensor head BPG400, DN 25 ISO-KF |
| 354-491 | Spare sensor head BPG400, DN 40 CF-R |
| 354-498 | Spare electronic BPG400 without Display |
| 354-499 | Spare electronic BPG400 with Display |
Descargas
Fichas técnicas
BPG400 DE
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BPG400 Datasheet
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BPG400 JA
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BPG400 ZH
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BPG400 ES
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Manuales
TIMA03D1 BPG400xx Gebrauchsanleitung kurz
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TINA03D1 BPG400-xx Gebrauchsanleitung_lang.Web
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Manual de instrucciones
BPG400xx Operating Manual (short version)
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Manual de instrucciones
TIMA03D1 BPG400xx Gebrauchsanleitung kurz
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Manual de instrucciones
TIMA36E1_BPG400xx operating manual-supplement
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Manual de instrucciones
TINA03E1_BPG400-xx operating manual_long
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Manual de instrucciones
TIRA03E1 DeviceNet BPG400x Communication Protocol
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TIRA36E1 PROFIBUS BPG400x Communication Protocol
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352-501 BPG400 with LCD, DN 25 ISO-KF
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353-500 BPG400 without LCD, DN 25 ISO-KF
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353-502 BPG400 without LCD, DN 40 CF-R
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Archivos 3D
353-503 BPG400 with LCD, DN 40 CF-R
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353-505 BPG400-SP with PROFIBUS DP, DN 25 ISO-KF
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Archivos 3D
353-506 BPG400-SP with PROFIBUS DP, DN 40 CF-R
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Archivos 3D
353-507 BPG400-SD with DeviceNet™, DN 25 ISO-KF
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Archivos 3D
353-508 BPG400-SD with DeviceNet™, DN 40 CF-R
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354-490 BPG400 Replacement sensor DN 25 ISO-KF
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354-491 BPG400 Replacement sensor DN 40 CF-R
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