Edge® CDG025D2
Escala completa 0,1 ... 1000 Torr / mbar
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Product configurator
Gemini™ MxG5xx
El indicador del diafragma de la capacitancia Edge de INFICON es un instrumento de medición de vacío de alta precisión diseñado para entornos de fabricación extremos. El sensor de cerámica ultrapura, resistente a la corrosión y con una temperatura controlada ofrece una estabilidad superior a largo plazo, junto con una estabilidad de cero de última generación. El indicador Edge incluye la exclusiva pantalla de sensor patentada de INFICON, que protege el indicador de derivados del proceso no deseados.
Los dispositivos electrónicos avanzados ofrecen una amplia variedad de acondicionamiento de señales configurable para todas las aplicaciones y una interfaz de bus de campo EtherCATTM opcional. El innovador concepto de calentamiento permite obtener una superficie fría al tacto y ahorrar un valioso espacio entre las herramientas. El indicador Edge de INFICON es el instrumento de medición de vacío más pequeño de su clase.
Ventajas
- Integración fácil, EtherCAT, amplia variedad de escalas y bridas completas, estándar con dos puntos de ajuste
- Un pulsador o comando de señal cero a distancia fácil, compensación de cero ajustable
- Puerto de diagnóstico para servicio y mantenimiento rápido
- Sensor de cerámica resistente a la corrosión
- Excelente estabilidad de señal a largo plazo
- Temperatura compensada
- Sensor protegido contra la suciedad
- Cumplimiento y normas: CE, EN, UL, SEMI, RoHS
Aplicaciones típicas
- Etch, PVD y otros procesos de producción semiconductores
- Almacenamiento de datos y equipos de fabricación de pantallas
- Equipamiento de vacío industrial
- Medición de presión general de gran precisión
Especificaciones
| Precisión | % of reading | 0.2 |
| Resolución | percent FS | 0.003 |
| Señal de salida (analógica) | V (dc) | 0 … +10 |
| Tiempo de respuesta | ms | 30 |
| Materiales expuestos al vacío | Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L) |
| Precisión | % of reading | 0.2 |
| Resolución | percent FS | 0.003 |
| Señal de salida (analógica) | V (dc) | 0 … +10 |
| Tiempo de respuesta | ms | 30 |
| Materiales expuestos al vacío | Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L) |
| Precisión | % of reading | 0.2 |
| Resolución | percent FS | 0.003 |
| Señal de salida (analógica) | V (dc) | 0 … +10 |
| Tiempo de respuesta | ms | 30 |
| Materiales expuestos al vacío | Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L) |
| Precisión | % of reading | 0.25 |
| Resolución | percent FS | 0.003 |
| Señal de salida (analógica) | V (dc) | 0 … +10 |
| Tiempo de respuesta | ms | 130 |
| Materiales expuestos al vacío | Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L) |
| Precisión | % of reading | 0.5 |
| Resolución | percent FS | 0.003 |
| Señal de salida (analógica) | V (dc) | 0 … +10 |
| Tiempo de respuesta | ms | 130 / 30 (3) |
| Materiales expuestos al vacío | Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L) |
Número de parte
