Vacuómetro de cátodo frío

Gemini® MxG5xx

ATM a vacuómetro de ultra alto vacío

Gemini-MxG5xx
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Product configurator

Gemini™ MxG5xx

Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
Your configuration
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Flange
DN 16 ISO-KF
Switching functions
None
Electrical Connection
FCC, 8-pin
Digital Interface
None
Measurement range
1.2 - 8.68 V
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Personal information
Product
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Gemini™ MAG500
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El calibre Magnetron Invertido de Vacío de Gemini® es el caballo de batalla para todas las aplicaciones de medición de vacío (pendiente). Gemini combina dos sistemas de sensores en un dispositivo pequeño para medir desde la atmósfera hasta 1x10 – 9 mbar. El diseño del campo de dispersión magnética ultra bajo patentada abre toda una nueva gama de aplicaciones. Una unidad de sensor de doble cámara intercambiable única evita ciclos de limpieza y reduce el mantenimiento, haciendo de Gemini el calibre de vacío más robusto y económico de su clase.

El cátodo frío Gemini y la combinación viene con sistema electrónico digital totalmente integrado, ofreciendo la máxima flexibilidad para la integración en sistemas. La opción de combinación de cátodo frío y Pirani ofrece una transición sin problemas, fiabilidad, practicidad y flexibilidad en las aplicaciones de amplio alcance.

Ventajas

  • Larga vida útil en entornos difíciles
  • Larga duración en entornos extremos
  • Campo de dispersión magnético bajo
  • Sin mantenimiento: piezas reemplazables
  • Tamaño supercompacto
  • Paso resistente a la corrosión
  • Corriente de medición seleccionable
  • 2 relay setpoints (in conjunction with MxG55x PROFINET o EtherCAT)
  • PROFINET, EtherCAT o RS232/ RS485 digital interace

Aplicaciones típicas

  • Seguimiento y control de la presión base, desde la atmósfera hasta un vacío elevado en aplicaciones de revestimiento de pulverización y evaporación.
  • Medición general de vacío (hornos industriales, vidrios arquitectónicos, semiconductores y sistemas de refrigeración y aire acondicionado).
  • Aplicaciones analíticas y de I+D (espectrometría de masas, microscopios electrónicos, medicina, oftalmología, óptica y física de altas energías).

Especificaciones

MAG5xx
MPG5xx
Rango de medición (aire, N2)mbar
Torr
1×10-9 … 1×10-2
(7.6×10-10 … 7.6×10-3)
Precisión (N2)
1×10-8 … 1×10-2 mbar% of reading30
1×10-2 … 100 mbar% of reading-
100 … 1000 mbar% of reading-
Repetibilidad (N2)
1×10-8 … 1×10-2 mbar% of reading5
1×10-8 … 100 mbar% of reading-
Temperatura admisible
Funcionamiento (ambiente)°C+5 ... +55
Horneado en la brida (1)°C<150
Almacenamiento°C-40 ... +70
Temperatura de filamento°C-
Tensión de alimentación
En el calibre (2)V (dc)+14.5 ... +30
OndulaciónV (p-p)<1
Consumo de potenciaW<2
Fusible para conectarAT<1
   
(1) Sin componentes electrónicos.
(2) Es necesario aumentar el voltaje mínimo de la unidad de alimentación de forma proporcional a la longitud del cable del sensor.
Rango de medición (aire, N2)mbar
Torr
(7.6×10-10 … 760)
1×10-9 … 1000
Precisión (N2)
1×10-8 … 1×10-2 mbar% of reading30
1×10-2 … 100 mbar% of reading30
100 … 1000 mbar% of reading50
Repetibilidad (N2)
1×10-8 … 1×10-2 mbar% of reading-
1×10-8 … 100 mbar% of reading5
Temperatura admisible
Funcionamiento (ambiente)°C+5 ... +55
Horneado en la brida (1)°C<150
Almacenamiento°C-40 ... +70
Temperatura de filamento°C120
Tensión de alimentación
En el calibre (2)V (dc)+14.5 ... +30
OndulaciónV (p-p)<1
Consumo de potenciaW<=3
Fusible para conectarAT<1
   
(1) Sin componentes electrónicos.
(2) Es necesario aumentar el voltaje mínimo de la unidad de alimentación de forma proporcional a la longitud del cable del sensor.
Descargue aquí las especificaciones completas

Número de parte

Accessories
Piezas de repuesto
MAG5xx
Número de parteDescripción
211-098Centering ring with fine filter DN 25 KF
351-550MxG50x Ignition tool set
211-113Centering ring with baffle DN 25 KF
353-512

Baffle for BPG400

 

 

MPG5xx
Número de parteDescripción
211-098Centering ring with fine filter DN 25 KF
351-550MxG50x Ignition tool set
211-113Centering ring with baffle DN 25 KF
353-512Baffle for BPG400
MAG5xx
Número de parteDescripción
351-500MAG500 spare sensor, 25KF, SS
351-556Spare ion chamber ti
351-512MAG500 spare sensor, 40KF, SS
351-536MAG500 spare sensor, 40CF-R, SS
351-524MAG500 spare sensor, 40CF-F, SS
351-502MAG500 spare sensor, 25KF, TI
351-514MAG500 spare sensor, 40KF, TI
351-538MAG500 spare sensor, 40CF-R, TI
351-526MAG500 spare sensor, 40CF-F, TI
351-501MAG504 spare sensor, 25KF, SS
351-513MAG504 spare sensor, 40KF, SS
351-537MAG504 spare sensor, 40CF-R, SS
351-525MAG504 spare sensor, 40CF-F, SS
351-503MAG504 Ersatzsensor, 25KF, TI
351-515MAG504 spare sensor, 40KF, TI
351-539MAG504 spare sensor, 40CF-R, TI
351-527MAG504 spare sensor, 40CF-F, TI
351-995MxG40x/50x Spare parts ignition aid (10)
351-555

Spare ion chamber ss

 

 

MPG5xx
Número de parteDescripción
351-506MPG500 spare sensor, 25KF, SS
351-518MPG500 spare sensor, 40KF, SS
351-542MPG500 spare sensor, 40CF-R, SS
351-530MPG500 spare sensor, 40CF-F, SS
351-508MPG500 spare sensor, 25KF, TI
351-520MPG500 spare sensor, 40KF, TI
351-544MPG500 spare sensor, 40CF-R, TI
351-532MPG500 spare sensor, 40CF-F, TI
351-507MPG504 SS,LC,9DSub,25KF
351-519MPG504 spare sensor, 40KF, SS
351-543MPG504 spare sensor, 40CF-R, SS
351-531MPG504 spare sensor, 40CF-F, SS
351-509MPG504 spare sensor, 25KF, TI
351-521MPG504 spare sensor, 40KF, TI
351-545MPG504 spare sensor, 40CF-R, TI
351-533MPG504 spare sensor, 40CF-F, TI
351-995MxG40x/50x Spare parts ignition aid (10)
351-555Spare ion chamber ss
351-556Spare ion chamber ti

Número de parte

Gemini Ordering Information_13.03.2019
Gemini Ordering Information_13.03.2019

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¿Cómo sustituir el sensor?
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