Vacuómetro de ionización en caliente
HPG400
ATM a vacuómetro
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Product configurator
Gemini™ MxG5xx
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Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
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El medidor Pirani de alta presión por ionización en caliente de INFICON, HPG400, combina sensores de alta presión por ionización en caliente y Pirani en un único paquete compacto y económico para medir la presión desde 2×10-6 mbar hasta la atmósfera (1,5×10-6 Torr hasta la atmósfera).
El HPG400 proporciona una medición de la presión altamente repetible y reproducible para un control preciso de la presión del proceso de sputter.
Ventajas
- El HPG400 ahorra costes y espacio de herramientas y reduce la complejidad de la instalación y configuración del sistema de vacío
- El medidor de iones calientes de alta presión proporciona mediciones de presión precisas y fiables de 1×10-5 ... 1 mbar para mejorar el control del proceso
- Activación de la emisión de iones calientes seleccionable por el usuario entre 5×10-2 y 1 mbar
- El enclavamiento Pirani protege el filamento caliente de un quemado prematuro
- Pantalla gráfica opcional e interfaces de bus de campo disponibles
- El ajuste automático Pirani de alto vacío reduce las intervenciones del operario
- Conformidad con RoHS
Aplicaciones típicas
- Aplicaciones de la pulverización catódica en la fabricación de semiconductores, la electrónica y la industria de los medios de comunicación
- Recubrimiento industrial
- Medición y control general del vacío en el rango de bajo a alto vacío
Especificaciones
| Measurement range (air, N2) | mbar Torr | 2×10-6 … 1000 1.5×10-6 … 750 |
| Accuracy | ||
| 10-5 … 1 mbar | % of reading | ±15 (1) |
| Repeatability | ||
| 10-5 … 10-1 mbar | % of reading | 2 |
| 10-1 … 100 mbar | % of reading | 30 |
| Temperature | ||
| Operation (ambient) | °C | 0 … +50 |
| Storage | °C | -20 … +70 |
| Bakeout at flange | °C | 80 |
| Bakeout electronics removed | °C | 150 |
| Supply voltage | V (dc) A (dc) | 20 … 28 0.8 |
| Materials exposed to vacuum | Yt2O3, Ir, Pt, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, stainless steel, glass | |
| (1) Accuracy from 10-5 mbar to the selected hot ion emission on value | ||
Número de parte
Número de parte
Accesorios
Piezas de repuesto
| Número de parte | Descripción |
| 353-520 | HPG400 DN 25 ISO-KF |
| 353-521 | HPG400 LCD, DN 25 ISO-KF |
| 353-522 | HPG400 DN 40 CF-F |
| 353-523 | HPG400 LCD, DN 40 CF-F |
| 353-525 | HPG400-SP PBus, DN 25 ISO-KF |
| 353-526 | HPG400-SP PBus, DN 40 CF-F |
| 353-527 | HPG400-SD DNet DN 25 ISO-KF |
| 353-528 | HPG400-SD DNet DN 40 CF-F |
| Número de parte | Descripción |
| 211-113 | Centering ring with baffle DN 25 KF |
| 353-511 | Power supply BPG400 24VDC |
| 357-499 | Baffle HPG (10 pieces) |
| Número de parte | Descripción |
| 354-487 | Spare sensor head HPG400, DN 25 ISO-KF |
| 354-488 | Spare sensor head HPG400, DN 40 CF-F |
Descargas
Fichas técnicas
HPG400 DE
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TIMA31E1_Operating manual_short
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Manual de instrucciones
TIMA32E1_Operating manual for SD_SP_short
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Manual de instrucciones
TIRA03E1_Communication Protocol for DeviceNet
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TIRA36E1_Communication Protocol for ProfiBus
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Manual de instrucciones
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353-520 HPG400 without LCD
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353-521 HPG400 without LCD
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353-522 HPG400 without LCD
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353-523 HPG400 with LCD
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Archivos 3D
353-525 HPG400-SP with PROFIBUS DP
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353-526 HPG with PROFIBUS DP
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353-527 HPG400-SD with DeviceNet
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353-528 HPG400-SD with DeviceNet
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354-487 HPG Replacment Sensor 25 ISO-KF
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354-488 HPG Replacment Sensor 25 ISO-KF
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