IE414, IE514
Cabezales calibradores pasivos de ionización de cátodo caliente para IM540
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Product configurator
Gemini™ MxG5xx
El IE414 y el IE514 son sensores de vacío de gama alta basados en el efecto de ionización de cátodo caliente. El IE414 es un vacuómetro Bayard-Alpert, mientras que el IE514 se basa en el principio del extractor. Estos vacuómetros pasivos se combinan y controlan mediante el controlador de vacuómetros IM540.
Gracias a la modulación de la corriente de emisión catódica, el rango de medición del IE414 abarca más de 9 décadas, desde 10-2 mbar hasta 10-11 mbar. El principio extractor permite al IE514 alcanzar un límite de medida inferior de 2×10-12 mbar gracias a su reducción intrínseca de los efectos de los rayos X y de la desorción iónica. Los cabezales calibradores IE414 e IE514 están diseñados para sistemas de vacío de baja desgasificación y pueden hornearse hasta temperaturas extremadamente altas (400 °C). El juego de cables del cabezal calibrador resistente a la temperatura también está diseñado para temperaturas de horneado elevadas, superiores a 200 °C (250 °C en la brida del sensor).
Ventajas
- Alta precisión de las mediciones gracias al sistema de detección calibrado individualmente
- Cátodo intercambiable
- Horneado a temperaturas extremas de hasta 400 °C
IE414
- Principio de detección Bayard-Alpert
- Rango de medición hasta 2×10-11 mbar
- Modulación de la corriente de emisión del cátodo (en combinación con el controlador del vacuómetro IM540)
IE514
- Principio de detección del extractor
- Límite de medición más bajo, hasta 2×10-12 mbar
- Reducción significativa de los efectos de los rayos X y la desorción iónica
Aplicaciones típicas
- Aplicaciones científicas y de I+D que requieren una medición precisa del vacío en el rango de vacío ultraalto y un horneado a alta temperatura
Unidades operativas
- Controlador del vacuómetro IM540
Especificaciones
| Principio de medición | Bayard-Alpert, ionización por cátodo caliente |
| Campo de medición | 2×10-11 ... 1×10-2 mbar (con corriente de emisión modular) |
| Límite de rayos X | <10-11 mbar |
| Alimentación | Cerámica Al2O3 |
| Temperatura de cocción | ≤400 °C |
| Material expuesto al vacío | NiFe, AI2O3, acero inoxidable, Y2O3, Mo, tungsteno |
| Características | Filamento de iridio, recubierto de Y2O3 Ánodo de molibdeno |
| Measurement principle | Extractor, ionización por cátodo caliente |
| Measurement range | 2×10-12 ... 1×10-4 mbar |
| X-ray limit | <10-12 mbar |
| Feedthrough | Cerámica Al2O3 |
| Bake-out temperature | ≤400 °C |
| Material exposed to vacuum | NiFe, AI2O3, acero inoxidable, Y2O3, Mo, tungsteno |
| Features | Filamento de iridio, recubierto de Y2O3 Ánodo de molibdeno |
Número de parte
| IE414 | |
| 399-661 | IE414 DN 40 CF-F |
| 399-676 | Cátodo de recambio IE414 |
| IE514 | |
| 399-663 | IE514 DN 40 CF-F |
| 399-677 | Cátodo de recambio IE514 |
| Cables de cabeza calibradora a IM540 to IE414/514, 80 °C | |
| 399-680 | 3 m |
| 399-681 | 5 m |
| 399-682 | 10 m |
| 399-685 | 50 m |
| Cables de cabeza calibradora a IM540 to IE414/514, 200 °C | |
| 399-686 | 3 m |
| 399-687 | 5 m |
| 399-688 | 10 m |
| 399-690 | 50 m |
