IRG080

El nuevo estándar del vacuómetro de ionización.

IRG080
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Gemini™ MxG5xx

Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
Your configuration
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Flange
DN 16 ISO-KF
Switching functions
None
Electrical Connection
FCC, 8-pin
Digital Interface
None
Measurement range
1.2 - 8.68 V
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Product
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Gemini™ MAG500
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El medidor de referencia de ionización IRG080 es un sensor de vacío pionero desarrollado para la medición precisa de la presión total en sistemas de vacío. Basado en un innovador concepto de vacuómetro de ionización (el cátodo caliente emite electrones que viajan en una trayectoria recta hacia una copa de Faraday), el IRG080 es adecuado como patrón de referencia en el rango de 10-8 mbar a 10-4 mbar.

El IRG080 ofrece una precisión inigualable de hasta el 1%, una sensibilidad al gas predecible con una dispersión muy pequeña y una repetibilidad y reproducibilidad a corto plazo muy buenas. El medidor es la solución ideal para metrología y calibración. El IRG080 se conecta y controla mediante la unidad de visualización y manejo IRC081.

Ventajas

  • Desarrollado para aplicaciones que requieren una alta precisión de medición en el rango de alto y ultra alto vacío
  • Configuración del sistema de electrodos según ISO TS 6737
  • Presión real para todas las especies gaseosas gracias a una sensibilidad relativa predecible del gas con una incertidumbre pequeña
  • Emisión de electrones estable y ausencia de influencia de efectos ESD o de rayos X
  • Reproducible y fácil de transportar
  • Horneable hasta 165 °C (con cable resistente a la temperatura) o hasta 400 °C sin unidad de conexión
  • Pieza intermedia de mu-metal disponible para fines de protección magnética.

Unidades operativas

  • Controlador del medidor de referencia de iones IRC081

Norma de referencia

  • Precisión inferior al 1% para N2
  • Sensibilidad al gas predecible, con una dispersión muy pequeña (<1,5%)
  • Medición de la presión total real
  • Muy buena repetibilidad a corto plazo (<1%) y reproducibilidad (<1%)

Principio de medición

Los electrones salen del cátodo (lado izquierdo), son acelerados por el ánodo hasta 200 eV y enfocados por el colector de iones. La longitud del recorrido de los electrones está bien caracterizada, por lo que la sensibilidad del medidor es predecible. Los iones generados por los electrones dentro de la rejilla del ánodo se aceleran hasta el colector y se miden como corriente. Los iones generados fuera de la rejilla del ánodo son atrapados por el deflector.

IRG080 Measurement Principle Illustration
IRG080 Measurement Principle Illustration

Un paquete completo

  • Interfaz de funcionamiento y visualización a través del controlador del medidor de referencia iónica IRC081
  • El usuario tiene el control sobre los parámetros del calibrador IRG080
  • Los parámetros y valores de medición se visualizan en el software de interfaz de usuario IRC081 (LabVIEWTM)
  • Funcionalidad de registro de datos y parámetros
IRG080_one complete package
IRG080_one complete package

Especificaciones

Sistema de medidaionización por cátodo caliente
Configuración del sistema de electrodossegún ISO TS 6737
Rango de medida (N2) con controlador IRC081<1×10-8 … 1×10-4 mbar
Sensibilidad (N2, típica)29 mbar-1
Precisión (N2, típica)<±1% de lectura
Repetibilidad (N2)<1% de lectura
AvanceAl2O3 cerámica
Temperatura de horneado≤400 °C
Materiales expuestos al vacíoAcero inoxidable, NiFeCo, Al2O3, Ta, W
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Número de parte

Numero de parte
Accesorios
 IRG080
399-874IRG080 DN 63 CF-R, conector BNC y multipin
399-875IRG080 DN 63 CF-F, BNC y conector multipin, pieza intermedia mu-metal
 Juego de cables para cabezal calibrador resistente al calor hasta IRC081, con protección de contacto
a IRG080 165 °C
399-8835 m (16.4 ft)
399-88410 m (32 ft)
399-88515 m (49.5 ft)
  
399-890Cátodo de recambio
399-891Pieza intermedia Mu-metal, DN 63 CF-F
399-892Rejilla de protección para pieza intermedia
El producto se utiliza en los siguientes mercados
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