Vacuómetro de cátodo frío

MPG40X

ATM a vacuómetro de ultra alto vacío

Opciones Drop-in

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Los indicadores de magnetrón invertido de Pirani MPG400 y MPG401 de INFICON miden desde 5 x 10^-9 hasta 1 atmósfera (3.8 x 10^-9 Torr hasta la atmósfera). La combinación de tecnologías en una única unidad compacta con una señal de salida analógica y logarítmica reduce en gran medida la complejidad de la instalación, configuración e integración.

Ventajas

Indicador combinado: magnetrón invertido y Pirani
Amplio rango de mediciones desde los 5 x 10^-9 mbar hasta 1 atmósfera
Sin filamento que se queme
Excelentes propiedades de ignición
Fácil de limpiar
Paso sellado con metal o con FPM
Indicador LED de conexión de alto voltaje
Señal de salida analógica y logarítmica

Aplicaciones típicas

Control de presión de alto vacío
Presión base para los sistemas de evaporación y pulverización
Medición general de vacío y control en los rangos de vacío medio y alto

Especificaciones

MPG400 FPM sealed

MPG401 metal-sealed

Rango de medición (aire, N₂)	mbar Torr	5 x 10^-9 … 1000 3.8 x 10^-9 … 760

Precisión (N₂)
1 x 10^-8 … 100 mbar	% of reading	≈±30%

Repetibilidad
1 x 10^-8 … 100 mbar	% of reading	≈±5%

Temperatura admisible
Funcionamiento (ambiente)	°C	+5 … +55
Almacenamiento	°C	–40 … +65
Horneado (1)	°C	150

Tensión de alimentación
En el calibre	V (dc)	+15 … +30
En la unidad de suministro con una longitud de cable máx. (2)	V (dc)	+16 … +30
Ondulación	V (p-p)	≤1

Consumo de potencia	W	≤2

Materiales expuestos al vacío		stainless steel, Al₂O₃, FPM75, Mo, Ni, Au, W

(1) Materiales expuestos al vacío (2) Es necesario aumentar el voltaje mínimo de la unidad de alimentación de forma proporcional a la longitud del cable del sensor.

Rango de medición (aire, N₂)	mbar Torr	5 x 10^-9 … 1000 3.8 x 10^-9 … 760

Precisión (N₂)
1 x 10^-8 … 100 mbar	% of reading	≈±30%

Repetibilidad
1 x 10^-8 … 100 mbar	% of reading	≈±5%

Temperatura admisible
Funcionamiento (ambiente)	°C	+5 … +55
Almacenamiento	°C	–40 … +65
Horneado (1)	°C	150

Tensión de alimentación
En el calibre	V (dc)	+15 … +30
En la unidad de suministro con una longitud de cable máx. (2)	V (dc)	+16 … +30
Ondulación	V (p-p)	≤1

Consumo de potencia	W	≤2

Materiales expuestos al vacío		stainless steel, Al₂O₃, Ag, Cu, Sn, Mo, Ni, Au, W

(1) Materiales expuestos al vacío (2) Es necesario aumentar el voltaje mínimo de la unidad de alimentación de forma proporcional a la longitud del cable del sensor.

Descargue aquí las especificaciones completas

Número de parte

Accesorios

Piezas de repuesto

MPG400 FPM sealed
Número de parte	Descripción
351-010	MPG400 FPM sealed, DN 25 ISO-KF
351-011	MPG400 FPM sealed, DN 40 ISO-KF
351-012	MPG400 FPM sealed, DN 40 CF-F

MPG401 metal-sealed
Número de parte	Descripción
351-020	MPG401 metal sealed, DN 25 ISO-KF
351-021	MPG401 metal sealed, DN 40 ISO-KF
351-022	MPG401 metal sealed, DN 40 CF-F
351-023	Magnetic shield

MPG400 FPM sealed
Número de parte	Descripción
351-023	Magnetic shield

MPG401 metal-sealed
Número de parte	Descripción
351-023	Magnetic shield

MPG400 FPM sealed
Número de parte	Descripción
BN846469-T	Spare measurement system MPG400 DN25 KF

MPG401 metal-sealed
Número de parte	Descripción
BN846472-T	Replacement meas. unit MPG401 DN25 KF

MPG400 FPM sealed
Part Number	Description
BN846470-T	Spare measurement system MPG400 DN40 KF

MPG401 metal-sealed
Part Number	Description
BN846473-T	Replacement meas. unit MPG401 DN40 KF

MPG400 FPM sealed
Part Number	Description
BN846471-T	Spare measurement system MPG400 DN40CF-F

MPG401 metal-sealed
Part Number	Description
BN846474-T	Spare meas. system, MPG401 DN40CF-F

MPG400 FPM sealed
Part Number	Description
351-994	MPG40x Ignition tool set

MPG401 metal-sealed
Part Number	Description
351-994	MPG40x Ignition tool set

MPG400 FPM sealed
Part Number	Description
351-995	MxG40x/50x Spare parts ignition aid (10)

MPG401 metal-sealed
Part Number	Description
351-995	MxG40x/50x Spare parts ignition aid (10)

MPG400 FPM sealed
Part Number	Description
351-998	MPG400 Repair set.

MPG401 metal-sealed
Part Number	Description
351-996	MPG401 Repair set

MPG400 FPM sealed
Part Number	Description
351-999	MPG400 Maintenance set

MPG401 metal-sealed
Part Number	Description
351-997	MPG401 Maintenance set

Descargas

Fichas técnicas

MPG40x DE

pdf • 251,3 KB • Alemán • Fichas técnicas

MPG40x Inverted Magnetron Gauge

pdf • 116,4 KB • Inglesa • Fichas técnicas

MPG40x JA

pdf • 377,4 KB • Japonés • Fichas técnicas

MPG40x KO

pdf • 299,5 KB • Coreano • Fichas técnicas

MPG40x ZH

pdf • 371,0 KB • Chino • Fichas técnicas

MPG40x ES

pdf • 250,8 KB • Español • Fichas técnicas

Manuales

TINA48D1 Gebrauchsanleitung_lang

pdf • 760,1 KB • Alemán • Manual de instrucciones

TINA48E1 Operating Manual_long

pdf • 756,7 KB • Inglesa • Manual de instrucciones

TIMA48D1 MPG40x Gebrauchsanleitung_kurz

pdf • 438,8 KB • Alemán • Manual de instrucciones

TIMA48E1 MPG40x Operating Manual_short

pdf • 432,0 KB • Inglesa • Manual de instrucciones

3D Step Files

351-010 MPG400 FPM sealed, DN 25 ISO-KF

zip • 133,7 KB • Archivos 3D

351-011 MPG400 FPM sealed, DN 40 CF-F

zip • 142,8 KB • Archivos 3D

351-011 MPG400 FPM sealed, DN 40 ISO-KF

zip • 137,5 KB • Archivos 3D

351-020 MPG401 metal sealed, DN 25 ISO-KF

zip • 149,0 KB • Archivos 3D

351-021 MPG401 metal sealed, DN 40 ISO-KF

zip • 153,3 KB • Archivos 3D

351-022 MPG401 metal sealed, DN 40 CF-F

zip • 157,9 KB • Archivos 3D

El producto se utiliza en los siguientes mercados

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