PPG570
Vacuómetro de atm a medio + interruptor de atm
¡Revolucione su experiencia de medidores de vacio con nosotros!
Product configurator
Gemini™ MxG5xx
El nuevo medidor combinado Piezo de INFICON Pirani (PPG570) se basa en la tecnología de sensores MEMS (sistemas microelectromecánicos) más avanzada disponible, que también se utiliza en nuestro medidor PPG550 "ATM a medio vacío".
Lo que diferencia al PPG570 del PPG550 es el sensor ATM adicional instalado que permite el uso del PPG570 en aplicaciones clásicas de bloqueo de carga. Por ejemplo, en industrias de semiconductores o en cualquier otra aplicación de vacío en la que sea importante una medición precisa de la presión relativa a la presión ambiente atmosférica.
La tecnología combinada Pirani/Piezo miniaturizada en el proceso MEMS permite la construcción de un sensor muy pequeño y, por tanto, que ocupa poco espacio, lo que hace posible mantener muy reducida la altura total del dispositivo de medición.
Además de la ventaja de la baja altura, un Pirani basado en la tecnología MEMS también ofrece la ventaja de medir con mayor profundidad y precisión en el rango HV que un Pirani clásico. En combinación con un sensor piezoeléctrico MEMS, montado en la misma brida, el medidor Pirani se convierte en un verdadero vacuómetro de amplio rango, ampliando el rango de medición mucho más allá de los 1000 mbar habituales, también hacia la atmósfera. Al mismo tiempo, el sensor piezoeléctrico MEMS proporciona una medición de presión independiente del tipo de gas en el rango de 2 ... 1333 mbar. Otra ventaja de las tecnologías mencionadas es la mayor resistencia a las fuerzas de aceleración y a las vibraciones.
Por último, pero no por ello menos importante, el nuevo PPG570 de INFICON puede utilizarse para sustituir directamente al llamado MKS Instruments MKS901P "MicroPirani™ and Piezo Loadlock Vacuum Pressure Transducer". El PPG570 ofrece los mismos conectores/asignación de pines, salida analógica y compatibilidad con el protocolo de comunicación digital RS232/485.
Ventajas
- Independiente del tipo de gas por encima de 2 mbar - permite un venteo seguro con cualquier mezcla de gases
- Alta precisión y reproducibilidad en atmósfera - para una detección fiable y rápida de la presión atmosférica
- Medición de la presión ambiente atmosférica
- Hasta 3 relés de estado sólido
- Versatilidad de orientación de montaje - proporciona libertad de ingeniería en el diseño de herramientas
- Señal de salida analógica seleccionable para una fácil integración del sistema
- Interfaces digitales RS232/ RS485
- Capaz de sustituir directamente al MKS901P "MicroPirani™ - y Piezo Loadlock Transductor de Presión de Vacío".
- Conformidad y normas: CE, EN, UL, CSA, RoHS
Aplicaciones típicas
- Aplicaciones de bloqueo de carga de semiconductores
- Utilización en equipos analíticos/sepctómetros de masas Deposición física en fase vapor
- Deposición física en fase vapor
Especificaciones
| Measurement range (N2) | mbar | 1x10-6 … 1333 |
| Accuracy | ||
| 1100 ... 1333 mbar | % of reading | 0.5 |
| 800 ... 1099 mbar | % of reading | 0.25 |
| 100 ... 800 mbar | % of reading | 0.5 |
| 2 ... 99.9 mbar | % of reading | 1 |
| 1 x 10-4 ... 1.99 mbar | % of reading | 5 |
| 1 x 10-5 ... 9.99 x 10-5 mbar | % of reading | 25 |
| Temperature compensation | °C | +10 … +50 |
| Temperature measurement absolute accuracy | °C | +1.5 (0 … +80) |
| Supply voltage at the gauge | V (dc) | +12 … +30 ripple max. 1 Vpp |
Número de parte
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