Calibradores Pirani
PSG50x & PSG51x
Indicador De Atmósfera A Medio Vacío
Opciones Drop-in
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Product configurator
Gemini™ MxG5xx
Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
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Los indicadores estándar de Pirani PSG500, PSG502-S, PSG510-S y PSG512-S de INFICON utilizan la tecnología Pirani digital más avanzada disponible en el mercado.
La resistente celda del sensor fabricada con acero inoxidable y su diseño compacto permiten utilizarlos en sistemas de semiconductores y en aplicaciones estándar como por ejemplo en líneas de vacío preliminar.
Ventajas
- Sencillo botón pulsador para los ajustes ATM y HV
- Diseño resistente que permite ahorrar espacio
- Carcasa de aluminio
- Montaje en cualquier orientación
- Celda de medición de acero inoxidable con paso sellado de metal
- Salida de señal logarítmica para una integración sencilla
- Presiones excesivas de hasta 10 bares con conexiones roscadas
- Versión refractaria de 250 °C
- Opción de filamento de níquel para aplicaciones corrosivas
- Paso de cerámica para aplicaciones extremadamente corrosivas (PSG510 y PSG512)
- Puntos de ajuste opcionales
- Cumplimiento de la normativa RoHS
Aplicaciones típicas
- Control de los indicadores de alta ionización del vacío
- Seguimiento de la presión de vacío preliminar
- Circuitos de seguridad en los sistemas de vacío
- Medición general de vacío y control en los rangos de vacío fino y grueso
Especificaciones
PSG500 tungsten
PSG500-S tungsten, setpoints
PSG502-S nickel, setpoints
PSG510-S tungsten, setpoints, ceramic feedthroughs
PSG512-S nickel, setpoints, ceramic feedthroughs
Measurement range | V | +1.9 … +10.0 |
Accuracy(N2) | ||
1 x 10-3 … 100 mbar | % of reading | ±15% |
5 x 10-4 … 1 x 10-3 mbar | % of reading | ±50% |
100 … 1000 mbar | % of reading | ±50% |
Repeatability (air) | ||
1 x 10-3 … 100 mbar | % of reading | 2% |
Admissible temperature | ||
Operation | °C | +5 … +60 |
Vacuum connection (1) | °C | 80 / 250 (2) |
Storage | °C | -20 … +65 |
Supply voltage | ||
At gauge | V (dc) | +14 …+30 |
Ripple | V (p-p) | ≤1 |
Power consumption | W | ≤1 |
Setpoint | ||
Number of setpoints | Number of setpoints | none |
Setting range | mbar | ‒ |
Hysteresis | % of reading | ‒ |
Relay contact | ‒ | |
Relay contact: Switching time | ms | ‒ |
Materials exposed to vacuum | glass, Ni, NiFe, DIN 1.4301 / 1.4305 / 1.4435 |
Measurement range | V | +1.9 … +10.0 |
Accuracy(N2) | ||
1 x 10-3 … 100 mbar | % of reading | |
5 x 10-4 … 1 x 10-3 mbar | % of reading | |
100 … 1000 mbar | % of reading | |
Repeatability (air) | ||
1 x 10-3 … 100 mbar | % of reading | 2% |
Admissible temperature | ||
Operation | °C | +5 … +60 |
Vacuum connection (1) | °C | 80 / 250 (2) |
Storage | °C | -20 … +65 |
Supply voltage | ||
At gauge | V (dc) | +14 …+30 |
Ripple | V (p-p) | ≤1 |
Power consumption | W | ≤1 |
Setpoint | ||
Number of setpoints | Number of setpoints | 2 |
Setting range | mbar | 2 x 10-3 … 500 |
Hysteresis | % of reading | 10% above lower threshold |
Relay contact | 30 | |
Relay contact: Switching time | ms | <20 |
Materials exposed to vacuum | glass, Ni, NiFe, DIN 1.4301 / 1.4305 / 1.4435 |
Measurement range | V | +1.9 … +10.0 |
Accuracy(N2) | ||
1 x 10-3 … 100 mbar | % of reading | |
5 x 10-4 … 1 x 10-3 mbar | % of reading | |
100 … 1000 mbar | % of reading | |
Repeatability (air) | ||
1 x 10-3 … 100 mbar | % of reading | 2% |
Admissible temperature | ||
Operation | °C | +5 … +60 |
Vacuum connection (1) | °C | 80 / 250 (2) |
Storage | °C | -20 … +65 |
Supply voltage | ||
At gauge | V (dc) | +14 …+30 |
Ripple | V (p-p) | ≤1 |
Power consumption | W | ≤1 |
Setpoint | ||
Number of setpoints | Number of setpoints | 2 |
Setting range | mbar | 2 x 10-3 … 500 |
Hysteresis | % of reading | 10% above lower threshold |
Relay contact | 30 | |
Relay contact: Switching time | ms | <20 |
Materials exposed to vacuum | glass, Ni, NiFe, DIN 1.4301 / 1.4305 / 1.4435 |
Measurement range | V | +1.9 … +10.0 |
Accuracy(N2) | ||
1 x 10-3 … 100 mbar | % of reading | |
5 x 10-4 … 1 x 10-3 mbar | % of reading | |
100 … 1000 mbar | % of reading | |
Repeatability (air) | ||
1 x 10-3 … 100 mbar | % of reading | 2% |
Admissible temperature | ||
Operation | °C | +5 … +60 |
Vacuum connection (1) | °C | 80 / 250 (2) |
Storage | °C | -20 … +65 |
Supply voltage | ||
At gauge | V (dc) | +14 …+30 |
Ripple | V (p-p) | ≤1 |
Power consumption | W | ≤1 |
Setpoint | ||
Number of setpoints | Number of setpoints | 2 |
Setting range | mbar | 2 x 10-3 … 500 |
Hysteresis | % of reading | 10% above lower threshold |
Relay contact | 30 | |
Relay contact: Switching time | ms | <20 |
Materials exposed to vacuum | AI2O3, Ni, DIN 1.3981 / 1.4305 / 1.4435 |
Measurement range | V | +1.9 … +10.0 |
Accuracy(N2) | ||
1 x 10-3 … 100 mbar | % of reading | |
5 x 10-4 … 1 x 10-3 mbar | % of reading | |
100 … 1000 mbar | % of reading | |
Repeatability (air) | ||
1 x 10-3 … 100 mbar | % of reading | 2% |
Admissible temperature | ||
Operation | °C | +5 … +60 |
Vacuum connection (1) | °C | 80 / 250 (2) |
Storage | °C | -20 … +65 |
Supply voltage | ||
At gauge | V (dc) | +14 …+30 |
Ripple | V (p-p) | ≤1 |
Power consumption | W | ≤1 |
Setpoint | ||
Number of setpoints | Number of setpoints | 2 |
Setting range | mbar | 2 x 10-3 … 500 |
Hysteresis | % of reading | 10% above lower threshold |
Relay contact | 30 | |
Relay contact: Switching time | ms | <20 |
Materials exposed to vacuum | AI2O3, Ni, DIN 1.3981 / 1.4305 / 1.4435 |
Número de parte
Número de parte
Accesorios
Piezas de repuesto
PSG500 tungsten | |
350-060 | PSG500 DN 16 ISO-KF. |
350-061 | PSG500 1/8" NPT |
350-062 | PSG500 DN 16 CF-R |
350-063 | PSG500 1/2" Tube |
350-064 | PSG500 8-VCR (1/2") |
350-065 | PSG500 4-VCR (1/4") |
350-066 | PSG500 7/16-20 UNF |
350-067 | PSG500 DN 16 ISO-KF, ext. body |
350-068 | PSG500 DN 16 CF-R, ext. body |
PSG500-S tungsten, setpoints | |
350-080 | PSG500-S DN 16 ISO-KF |
350-081 | PSG500-S 1/8" NPT |
350-082 | PSG500-S DN 16 CF-R |
350-083 | PSG500-S 1/2" Tube |
350-084 | PSG500-S 8-VCR (1/2") |
350-085 | PSG500-S 4-VCR (1/4") |
350-086 | PSG500-S 7/16-20 UNF |
350-087 | PSG500-S DN 16 ISO-KF, ext. body |
350-088 | PSG500-S DN 16 CF-R, ext. body |
PSG502-S nickel, setpoints | |
350-140 | PSG502-S DN 16 ISO-KF |
350-141 | PSG502-S 1/8" NPT |
350-142 | PSG502-S DN 16 CF-R |
350-143 | PSG502-S 1/2" Tube |
350-144 | PSG502-S 8-VCR (1/2") |
350-145 | PSG502-S 4-VCR (1/4") |
350-146 | PSG502-S 7/16-20 UNF |
350-147 | PSG502-S DN 16 ISO-KF, ext. body |
350-148 | PSG502-S DN 16 CF-R, ext. body |
PSG510-S tungsten, setpoints, ceramic feedthroughs | |
350-200 | PSG510-S DN 16 ISO-KF |
PSG512-S nickel, setpoints, ceramic feedthroughs | |
350-300 | PSG512-S DN 16 ISO-KF |
PSG500 tungsten | |
211-001 | Clamping ring DN 10-16 ISO-KF |
350-050 | Power Supply, PxG5xx,G-Cable FCC,1.8m |
PSG500-S tungsten, setpoints | |
211-001 | Clamping ring DN 10-16 ISO-KF |
350-050 | Power Supply, PxG5xx,G-Cable FCC,1.8m |
PSG502-S nickel, setpoints | |
211-001 | Clamping ring DN 10-16 ISO-KF |
350-050 | Power Supply, PxG5xx,G-Cable FCC,1.8m |
PSG510-S tungsten, setpoints, ceramic feedthroughs | |
211-001 | Clamping ring DN 10-16 ISO-KF |
350-050 | Power Supply, PxG5xx,G-Cable FCC,1.8m |
PSG512-S nickel, setpoints, ceramic feedthroughs | |
211-001 | Clamping ring DN 10-16 ISO-KF |
350-050 | Power Supply, PxG5xx,G-Cable FCC,1.8m |
PSG500 tungsten | |
350-920 | PSG500 Spare Sensor DN 16 KF |
350-921 | PSG500 Spare Sensor 1/8" NPT |
350-922 | PSG500 Spare Sensor DN 16 CF-R |
350-923 | PSG500 Spare Sensor 1/2" Tube |
350-924 | PSG500 Spare Sensor 8-VCR (1/2") |
350-925 | PSG500 Spare Sensor 7/16-20 UNF |
350-926 | PSG500 Spare Sensor 4-VCR (1/4") |
350-927 | PSG500 Spare Sensor DN 16 KF,ext.body |
350-928 | PSG500 Spare Sensor DN 16 CF-R,ext.body |
PSG500-S tungsten, setpoints | |
350-920 | PSG500 Spare Sensor DN 16 KF |
350-921 | PSG500 Spare Sensor 1/8" NPT |
350-922 | PSG500 Spare Sensor DN 16 CF-R |
350-923 | PSG500 Spare Sensor 1/2" Tube |
350-924 | PSG500 Spare Sensor 8-VCR (1/2") |
350-925 | PSG500 Spare Sensor 7/16-20 UNF |
350-926 | PSG500 Spare Sensor 4-VCR (1/4") |
350-927 | PSG500 Spare Sensor DN 16 KF,ext.body |
350-928 | PSG500 Spare Sensor DN 16 CF-R,ext.body |
PSG502-S nickel, setpoints | |
350-900 | PSG502 Spare Sensor DN 16 KF |
350-901 | PSG502 Spare Sensor 1/8" NPT |
350-902 | PSG502 Spare Sensor DN 16 CF-R |
350-903 | PSG502 Spare Sensor 1/2" Tube |
350-904 | PSG502 Spare Sensor 8-VCR (1/2") |
350-905 | PSG502 Spare Sensor 7/16-20 UNF |
350-906 | PSG502 Spare Sensor 4-VCR (1/4") |
350-907 | PSG502 Spare Sensor DN 16 KF,ext.body |
350-908 | PSG502 Spare Sensor DN 16 CF-R,ext.body |
PSG510-S tungsten, setpoints, ceramic feedthroughs | |
350-930 | PSG510 Spare Sensor DN 16 KF |
PSG512-S nickel, setpoints, ceramic feedthroughs | |
350-940 | PSG512 Spare Sensor DN 16 KF |
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350-066 PSG500 7/16-20 UNF
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350-067 PSG500 DN 16 ISO-KF long tube
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350-068 PSG500 DN 16 CF-R long tube
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350-082 PSG500-S DN 16 CF-R
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350-083 PSG500-S 1/2" tube
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350-084 PSG500-S 8 VCR®
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350-085 PSG500-S 4 VCR®
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350-086 PSG500-S 7/16-20 UNF
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