SKY® CDG025D-X3
Escala completa 0,1 ... 1000 Torr / mbar
¡Revolucione su experiencia de medidores de vacio con nosotros!
Product configurator
Gemini™ MxG5xx
En aplicaciones en las que la precisión y la fiabilidad son fundamentales, INFICON SKY presenta el manómetro de diafragma de capacitancia CDG025D-X3, un producto de gama alta para la medición y el control de la presión. Este manómetro combina décadas de experiencia con la tecnología más avanzada para establecer un estándar insuperable en la industria.
Introducción a SKY® CDG025D-X3
Compensación de temperatura de alta precisión: El CDG025D-X3 utiliza una avanzada tecnología de compensación de temperatura. Esto garantiza que el instrumento proporcione mediciones fiables y precisas incluso en condiciones extremas.
El sensor cerámico resistente a la corrosión proporciona una excelente estabilidad a cero con una larga vida útil de varios millones de ciclos de presión, incluidas las ráfagas atmosféricas.
Electrónica digital avanzada: La electrónica de este manómetro no sólo es de última generación, sino que también ofrece una impresionante lista de funciones. La puesta a cero con una sola pulsación y el ajuste del punto de consigna aumentan la facilidad de uso.
La última tecnología SKY
Sensor cerámico de larga duración: El sensor de cerámica ultra resistente a la corrosión proporciona al manómetro una excelente estabilidad de la señal a largo plazo y una vida útil de millones de ciclos de presión, incluso durante caídas de presión atmosférica.
Además, un blindaje del sensor pendiente de patente protege al manómetro de la contaminación del proceso. Esto es especialmente importante en aplicaciones típicas como los equipos de producción de semiconductores, sobre todo en procesos como Etch, CVD, PVD y ALD. El CDG025D-X3 también es ideal para equipos de fabricación de pantallas y almacenamiento de datos, equipos de procesos industriales en vacío y medición de presión en general donde se requiera una gran precisión.
Cualidades especiales y ventajas
En el entorno industrial actual, en el que las interferencias electromagnéticas pueden ser un grave problema, la CDG025D-X3 se ha diseñado teniendo en cuenta la compatibilidad electromagnética. Esto, combinado con su impresionante estabilidad a largo plazo y su compensación de temperatura, garantiza años de rendimiento fiable.
Además, el CDG025D-X3 proporciona una rápida estabilidad tras el encendido y una recuperación igualmente rápida tras la exposición a la presión atmosférica, lo que lo convierte en un instrumento indispensable para las aplicaciones industriales más exigentes. No es sólo un medidor, sino un símbolo de calidad e innovación en la tecnología de medición del vacío.
Beneficios
- Rangos de escala completa de 100 mTorr ... 1000 Torr
- Rápida estabilidad tras el encendido
- Rápida recuperación de la presión atmosférica
- Sensor cerámico resistente a la corrosión
- Excelente estabilidad de la señal a largo plazo
- Compensación de temperatura
- Sensor doblemente protegido contra la contaminación
- Función de puesta a cero con un pulsador
- Alimentación de amplio rango
- 2 puntos de consigna
- Interfaz RS232
- Compatible con salas limpias
Aplicaciones típicas
- Equipos de fabricación de semiconductores para Etch, CVD, PVD, ALD
- Equipos de fabricación de pantallas y almacenamiento de datos
- Equipos de vacío industrial
- Medición de presión de alta precisión en general
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Especificaciones
| Precisión | % of reading | 0.2 |
| Resolución | percent FS | 0.003 |
| Señal de salida (analógica) | V (dc) | 0 … +10 |
| Tiempo de respuesta | ms | 30 |
| Materiales expuestos al vacío | Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L) |
| Precisión | % of reading | 0.2 |
| Resolución | percent FS | 0.003 |
| Señal de salida (analógica) | V (dc) | 0 … +10 |
| Tiempo de respuesta | ms | 30 |
| Materiales expuestos al vacío | Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L) |
| Precisión | % of reading | 0.2 |
| Resolución | percent FS | 0.003 |
| Señal de salida (analógica) | V (dc) | 0 … +10 |
| Tiempo de respuesta | ms | 30 |
| Materiales expuestos al vacío | Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L) |
| Precisión | % of reading | 0.25 |
| Resolución | percent FS | 0.003 |
| Señal de salida (analógica) | V (dc) | 0 … +10 |
| Tiempo de respuesta | ms | 130 |
| Materiales expuestos al vacío | Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L) |
| Precisión | % of reading | 0.5 |
| Resolución | percent FS | 0.003 |
| Señal de salida (analógica) | V (dc) | 0 … +10 |
| Tiempo de respuesta | ms | 130 / 30 (3) |
| Materiales expuestos al vacío | Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L) |
Número de parte
