SKY® CDG025D-X3, 4-20mA
Escala completa 0,1 ... 1000 Torr / mbar
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Product configurator
Gemini™ MxG5xx
La línea de indicadores del diafragma de la capacitancia SKY CDG025D de INFICON con manómetros de temperatura compensada y de alta precisión, se ha diseñado para obtener un rendimiento estable en entornos duros de herramientas de producción.
Sus componentes electrónicos digitales avanzados mejoran el rendimiento del indicador y ofrecen funciones fáciles de utilizar, como el botón de puesta a cero y la regulación del punto de ajuste. El sensor de cerámica ultrapura y resistente a la corrosión proporciona una excelente estabilidad de cero y tiene una expectativa de duración de varios millones de ciclos de presión, incluidas ráfagas atmosféricas. La exclusiva pantalla de sensor (pendiente de patente) protege el indicador de la contaminación de procesos. Un diseño mecánico y resistente, junto con los dispositivos electrónicos digitales, mejoran la compatibilidad de EMC, la estabilidad a largo plazo y la compensación de temperatura. El dispositivo CDG025D establece nuevos estándares para lograr una estabilidad rápida después de encenderlo y una rápida recuperación de la exposición a la presión atmosférica.
Ventajas
- Rangos de tamaño real desde 100 mTorr … 1000 Torr
- Estabilidad rápida tras el encendido
- Recuperación rápida de la presión atmosférica
- Sensor de cerámica resistente a la corrosión
- Excelente estabilidad de señal a largo plazo
- Temperatura compensada
- Sensor doble protegido contra la suciedad
- Un pulsador de función cero
- Fuente de alimentación de rango amplio
- 2 puntos de ajuste
- Interfaz RS232
- Remote zero included
- Cumple con habitación limpia
- Status LED
Aplicaciones típicas
- Equipamiento de fabricación semiconductor para Etch, CVD, PVD, ALD
- Almacenamiento de datos y equipos de fabricación de pantallas
- Equipamiento de vacío industrial
- Medición de presión general de gran precisión
Especificaciones
| Precisión | % of reading | 0.2 |
| Resolución | percent FS | 0.003 |
| Señal de salida (analógica) | ||
| Signal range | mA | 3.8 ... 20.2 |
| Measuring range (zero ...FS) | mA | 4.0 ... 20.0 |
| Relationship current-pressure | Relationship current-pressure | linear |
| Tiempo de respuesta | ms | ≤100 |
| Materiales expuestos al vacío | Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L) |
| Precisión | % of reading | 0.2 |
| Resolución | percent FS | 0.003 |
| Señal de salida (analógica) | ||
| Signal range | mA | 3.8 ... 20.2 |
| Measuring range (zero ...FS) | mA | 4.0 ... 20.0 |
| Relationship current-pressure | Relationship current-pressure | linear |
| Tiempo de respuesta | ms | ≤100 |
| Materiales expuestos al vacío | Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L) |
| Precisión | % of reading | 0.2 |
| Resolución | percent FS | 0.003 |
| Señal de salida (analógica) | ||
| Signal range | mA | 3.8 ... 20.2 |
| Measuring range (zero ...FS) | mA | 4.0 ... 20.0 |
| Relationship current-pressure | Relationship current-pressure | linear |
| Tiempo de respuesta | ms | ≤100 |
| Materiales expuestos al vacío | Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L) |
| Precisión | % of reading | 0.25 |
| Resolución | percent FS | 0.003 |
| Señal de salida (analógica) | ||
| Signal range | mA | 3.8 ... 20.2 |
| Measuring range (zero ...FS) | mA | 4.0 ... 20.0 |
| Relationship current-pressure | Relationship current-pressure | linear |
| Tiempo de respuesta | ms | ≤100 |
| Materiales expuestos al vacío | Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L) |
| Precisión | % of reading | 0.5 |
| Resolución | percent FS | 0.003 |
| Señal de salida (analógica) | ||
| Signal range | mA | 3.8 ... 20.2 |
| Measuring range (zero ...FS) | mA | 4.0 ... 20.0 |
| Relationship current-pressure | Relationship current-pressure | linear |
| Tiempo de respuesta | ms | ≤100 |
| Materiales expuestos al vacío | Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L) |
Número de parte
