INFICON SKY® CDG100D

Los manómetros SKY CDG100D de INFICON son la mejor opción para medir y controlar la presión totalmente y de manera precisa. Los indicadores CDG100D tienen una temperatura controlada de 100 °C para conseguir un rendimiento superior en procesos exigentes de semiconductores y de plasma. Están disponibles para rangos de escala completa, desde 100 mTorr hasta 1.000 Torr, con todos los tipos de bridas e interfaces de bus de campo habituales, y ofrecen una señal de presión lineal independiente del tipo de gas de entre 0 y 10 V.

Los manómetros de capacitancia de INFICON utilizan un diafragma de cerámica de alúmina ultrapura resistente a la corrosión. Las ventajas del sensor de cerámica son una mejor estabilidad de la señal, una recuperación más rápida de la atmósfera, un tiempo de calentamiento corto y una extraordinaria duración. Los indicadores del diafragma de la capacitancia de INFICON son sensores de presión rentables y de alta calidad para aplicaciones de vacío, de plasma y de semiconductores exigentes.

También disponible con interfaz digital EtherCAT.

Ventajas

Menos coste de propiedad, tiempo de calentamiento un 50% más rápido y un consumo energético reducido y eficiente
Fácil integración, amplia variedad de escalas completas, bridas e interfaces, y estándar con dos puntos de ajuste
Botón sencillo o señal remota de puesta a cero y valor cero ajustable
Puerto de diagnóstico para un servicio y mantenimiento rápidos
Dos años de garantía y mayor duración con un concepto de calentamiento avanzado y protección del indicador
A largo plazo, no es necesario realizar recalibraciones debido a la excelente estabilidad y repetibilidad de la señal, incluso en duras aplicaciones de plasma
Cumplimiento y estándares: CE, EN, UL, SEMI y RoHS

Aplicaciones típicas

Decapado, CVD, PVD y otros procesos de producción de semiconductores
Procesos químicos y corrosivos a alta temperatura
Procesos generales de vacío y de película delgada que requieren protección del indicador

Especificaciones

1000 ... 500 Torr / mbar

200 ... 1 Torr / mbar

0.5 ... 0.1 Torr / mbar

Precisión	% of reading	0.2

Resolución	percent FS	0.003

Señal de salida (analógica)	V (dc)	0 … +10

Tiempo de respuesta	ms	30

Materiales expuestos al vacío		Aluminum oxide ceramic (AI₂O₃), stainless steel (AISI 316L)

Precisión	% of reading	0.2

Resolución	percent FS	0.003

Señal de salida (analógica)	V (dc)	0 … +10

Tiempo de respuesta	ms	30

Materiales expuestos al vacío		Aluminum oxide ceramic (AI₂O₃), stainless steel (AISI 316L)

Precisión	% of reading	0.4

Resolución	percent FS	0.003

Señal de salida (analógica)	V (dc)	0 … +10

Tiempo de respuesta	ms	130 / 30 ⁽³⁾

Materiales expuestos al vacío		Aluminum oxide ceramic (AI₂O₃), stainless steel (AISI 316L)

Descargue aquí las especificaciones completas

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Ventajas

Aplicaciones típicas

Especificaciones

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