Manómetros de capacitancia

Spot™ CDS530D

Escala completa 10 ... 1000 Torr / mbar

Spot™-CDS530D
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Product configurator

Gemini™ MxG5xx

Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
Your configuration
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Flange
DN 16 ISO-KF
Switching functions
None
Electrical Connection
FCC, 8-pin
Digital Interface
None
Measurement range
1.2 - 8.68 V
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Personal information
Product
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Gemini™ MAG500
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El sensor de diafragma de capacitancia cerámica Spot CDS530D está diseñado para integrarse en el espacio limitado de sus instrumentos y sistemas de vacío específicos.  La electrónica del sensor proporciona una interfaz digital SPI para facilitar la integración. 

El doble sensor en miniatura ofrece una gran precisión en un amplio rango de medición y las celdas cerámicas de alúmina y el pasamuros de acero inoxidable soldable están recubiertos de alúmina.

El sensor presenta un tiempo de ciclo de datos rápido para una respuesta instantánea a los cambios de presión, una repetibilidad excepcional y una estabilidad a largo plazo.

Ventajas

  • El doble sensor en miniatura ofrece una gran precisión en un amplio rango de medición 
  • Amplio rango, alta precisión 
  • Excelente repetibilidad y estabilidad a largo plazo 
  • Electrónica del sensor con interfaz SPI para facilitar la integración 
  • Brida soldada a medida para la integración de un sensor calibrado 
  • Tiempo de respuesta rápido 
  • Alta capacidad de sobrepresión

Especificaciones

100 Torr
100 Torr
Accuracy0.5 % of reading
Resolution0.01 % FS
Materials exposed to vacuumceramics (AI2O3), stainless steel (AISI 316L)
  
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