Interruptor de vacío
VSA100A
Punto de consigna 3 mbar por debajo de la temperatura ambiente
Opciones Drop-in
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Product configurator
Gemini™ MxG5xx
Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
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El interruptor de vacío VSA100A de INFICON se utiliza como interruptor de seguridad en sistemas de vacío. Por ejemplo, para interrumpir el suministro de gas de forma automática durante la ventilación de los sistemas de vacío con un gas de purga a una presión de 6 mbar por debajo de la presión atmosférica.
Con una presión diferencial de 6 mbar con respecto a una presión de cambio de retorno de 3 mbar por debajo de la presión atmosférica, un diafragma elástico acciona un contacto de cambio que a su vez se puede utilizar para cambiar directamente cualquier equipo auxiliar.
Ventajas
- Interruptor de vacío fiable y económico
- Larga duración
- Diseño resistente
- Fácil de integrar
- Protección IP 44
Aplicaciones típicas
- Control de las cámaras de bloqueo de carga
- Desconexión segura de los sistemas de vacío
Especificaciones
Presión de conmutación | mbar | 6 ±2 (below atmosphere) |
Conmutación de vuelta | mbar | 3 ±2 (below atmosphere) |
Presión de funcionamiento (absoluta) | bar | <2 |
Tipo de protección | IP 44 | |
Materiales expuestos al vacío | stainless steel 1.4305, EPDM, PTFE (Teflon) | |
Nota técnica: Debido al material del diafragma utilizado (EPDM), el interruptor de vacío VSA100A no es apto para aplicaciones en las que el gas procesado contenga grandes cantidades de helio. La tasa de fuga del diafragma para el helio es de -6 mbar l/s. |
Número de parte
Part Number | Description |
399-001 | VSA100A Vacuum Switch DN16KF, 3m Cable |
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