製品情報
リークディテクション、ガス分析、真空技術などのソリューションを含む、多様な製品ポートフォリオを提供します。
結果を得るには、フィルタをリセットしてください。
マルチプレッシャーALD/CVDとエッチングの高度なプロセスエキスパート
- 過酷な化学環境下でも長寿命を実現するxPartsコーティング
- マルチプレッシャーサンプリングインレット
- 10ppb以下の検出限界
- 業界をリードするポンピング速度
単一圧力ALD/CVDとエッチングの高度なプロセスエキスパート
- 過酷な環境下でも長寿命を実現するxパーツコーティング
- 高温単圧インレット
- 10ppb以下の検出限界
- 業界をリードするポンピング速度
モジュール式リークディテクター、コンパクトで最高レベルの性能
- よりコンパクトで統合が容易
- コミュニケーションの多様性
- 高い信頼性
FPSデジタルツインは、スマートファクトリーを開発するための最も重要なビルディングブロックです。すべてのリアルタイムオペレーションイベントを収集し、サイクルタイムとスループットデータを計算し、パワフルなアプリケーションを駆動します。
- 複数のリソースから生産データをロードできるユニバーサルなプラットフォームを提供します。
- データから情報への変換を促進し、すべての接続されたソリューションの機能を促進します。
- スマート・マニュファクチャリングの中心的かつ基礎的なコア
仕事の大小を問わず
- あらゆるタンクサイズに適合するよう設計された125kg（275ポンド）容量のプラットフォーム
- 明るいバックライト付きLCDディスプレイ付き有線ハンドピース
- Bluetooth接続と無料モバイルアプリ
- 0.1オンス（3g）の分解能で、A3可燃物を含むすべての冷媒の重要なチャージに対応
A3冷媒ボトルを取り付けるための小型チャージアダプターキット（PN 501-601-G1）に対応 - OTAリモートアップグレード可能
中・超高真空シングルゲージ
- 超高真空～高真空の広範囲に対応する純粋なベイヤードアルパート測定システム
- ベイヤードアルパートシステム用2フィラメント
- ガルバニック絶縁エレクトロニクスによる迷走電流の回避
- 圧力ジャンプを回避するスライディング・エミッション・モード
ATM～超高真空デュアルゲージ
- デュアルゲージ（2つの検出素子）により、広い測定範囲、コスト削減、省スペース化を実現
- ベイヤードアルパートシステム用2フィラメント
- フィラメントの早期焼損を防ぐピラニインターロック保護機能
- 圧力ジャンプを防ぐスライディング・エミッション・モード
ATMから超高真空トリプルゲージ®まで
- 3 + 1センシングエレメントにより、非常に広い測定範囲、コスト削減、省スペース化を実現
- ベイヤードアルパートシステム用2フィラメント
- 10Torr以上のガス種に依存しない圧力測定により、信頼性の高いロードロック制御を実現します。
- 差圧測定により、大気圧の変化による不確実性を排除
ポータブルで使いやすい冷媒識別
- R1234yfとR134aの純度を識別
- SAEまたはVDAテストモード
- シリンダーまたは車両から蒸気を採取
- SAE J2912承認済み
- DN10-DN50
- ISO-KF DN16-DN40
- ISO-K DN63
極限PVDプロセスモニタリング四重極型質量分析計
- 業界トップクラスの最高使用圧力
- オプションの過圧隔離弁インターロック
- 最大100amuまでスキャン可能
確実性と最速のスループットを実現するHIGH FLOW技術
- INFICON高フロー技術
- は比類のない測定の確度を実現します - 漏れの見逃しをストップします!
- アクセスしにくいエリアの漏れも見つけます
- 未経験のオペレーターが確実に漏れを見つけられるようにします
ファクトリーダッシュボードは、業界をリードする世界中の工場で使用されている主要なオペレーションレポーティングツールです。
- 機械やWIPの問題への迅速な対応が可能
- 工場の全従業員の意識向上
- 担当者の反応時間を改善
- オペレーションと計画の整合性の向上
ATM To Medium Vacuum Gauge - High volume standard applications
- 操作が簡単な押しボタン式ATMおよびHV調整
- コンパクトで堅牢な設計
- アルミハウジング
- 取付け方向が自在
ナレッジベースの意思決定支援ソフトウェア・プラットフォームは、工場が工具を迅速かつ正確に生産に戻せるよう特別に設計されています。
- BKM作業のための段階的でダイナミックなガイダンスと必要なサポート
- 履歴およびヒューリスティックなデータトレンドに基づく根本原因の分析と特定
- 制御システムイベント、トラブルシューティング、および修復の間のモデル化されたリンク
設備およびサブファブコンポーネントとプロセス情報の統合を提供します。
- スマート制御/省エネ： ツールの状態を設備にリンクさせることでエネルギー使用量を削減
- 状態ベースの消費への移行： 消耗品/化学薬品/ガスの使用量削減(通常15～50%削減)
- スマートで予測的なメンテナンス・スケジューリング： データを使用して予知保全ルーチンを作成
スマートな故障検出と分類は、リアルタイムのデータ統合と分析を提供し、異常が発生する前にそれを予測します。
- プロセス機器とセンサーデータのシームレスな統合により、複数のソースからのデータを分析に利用可能
- エッジコンピューティングにより、データ収集と分析をソースで行い、迅速な対応と検出の強化を実現
- オンプレミスまたはクラウドベースのインストールにより、パフォーマンスとコストの最大限の柔軟性を実現
- リアルタイムおよびランバイラン分析により、スクラップを削減し、プロセス制御を改善します。
2段式ロータリーベーン5CFMポンプにより、15ミクロンまでの究極の真空を実現。
- 排気量5CFM
- 2段式ロータリーベーンポンプ、1/2 HPモーター搭載
- ガスバラストによる高速ポンピングとオイル交換回数の削減
- 二重電圧動作
シンプルな操作性、優れた耐久性、優れた精度を実現しました。
- 耐久性に優れた計量台
- ポンド、ポンド/オンス、キログラムの単位で測定可能
- 簡単な操作
高温環境下でも業界トップクラスの回収率を実現。
- 1HPのデュアルピストンコンプレッサーで業界トップクラスの回収率を実現
- マイクロチャネルコンデンサーは、最大限の回収率を維持するために優れた熱交換を提供します。
- 大型ファンによる優れた冷却効果
- シンプルな2つのバルブ操作
耐久性に優れたワイヤレスパッケージで、冷媒の移動を確実に測定します。
- スマートフォンやタブレット、またはオプションのワイヤレスハンドピースでリアルタイムの測定値を表示します
- アラームモードにより、充電やリカバリーが容易に
- ポンド、ポンド/オンス、オンス、キログラムの単位で測定できます。
- 耐久性に優れた頑丈なアルミニウム製プラットフォーム
UL1000, UL1000 Fab, UL3000 Fab/ULTRA, UL5000, UL6000 Fab/PLUS, MODUL1000用リモートコントロール。
- ワイヤレスで最大100m、有線で最大28m操作可能
- 電池寿命8時間以上
- フルカラー3.5インチタッチスクリーンディスプレイ
- 数字で表示するリーク率、チャートモードまたはバーグラフモード
振動子を自動的に切り替えて生産時間を最大効率化
- 12基の振動子を保持し、安定した自動切り替え方式によりプロセスのアップタイムを最大化
- 取り外しが簡単なカローセルで、12基の振動子を迅速に交換できる
- 振動子の切り替えは圧空で操作されるため、振動子の温度が安定 (競合品は発熱するモーターを使用)
現場で水中VOCの意思決定データ
- The only battery-operated insitu purge and trap system for field use with a GC/MS
- Integrated with the HAPSITE data system
- Modular, low-maintenance design for rugged environments
- Unique, robust purge and trap system for the most difficult applications
到達しづらい場所または危険な環境で、拡張された範囲の化学物質を検出
- SPME調査を使用して高速サンプリング
- V剤と爆発物マーカーを含む低揮発性化合物で強化されたHAPSITE ER性能
- さらに良くなったポータビリティと可動性
- サンプリングのために数々の繊維を現場に持って行き、中心地で分析可能
微量物質の定量VOC分析
- 遠隔地から収集したサンプルを迅速に解析
- 本質的に安全なサンプリングポンプのサンプルは爆発性環境で収集可能
- オプションのポータブル型サンプルポンプは呼吸ゾーンのモニタリングで摩耗することがあります
- TD調査分析は、数分以内に化学物質を特定するために、ガスクロマトグラフを迂回して、質量分析計に直接送ることができます。
現場で土壌と水、水中、汚水中、土中、固形廃棄物中の意思決定データを分析
- 現場で使用するための電池駆動ヘッドスペースサンプラー
- EPAメソッド8260に相当する結果
- 土壌、水、固体サンプルを解析するための便利なインレットシステム
- HAPSITEデータシステムと統合
HAPSITE® サービスモジュールは、すべてのHAPSITE化学物質検知システムモデルに対してサポート機能を提供します。
- Used to replace NEG on-site with guidance from an INFICON Service representative
- Used as an alternative or backup method to using a NEG to provide vacuum for HAPSITE (i.e. when the NEG is not installed or is being serviced)
- Used to perform HAPSITE troubleshooting operations with guidance from an INFICON Service Representative
- Used an alternate power source for HAPSITE
- DN 16 ISO-KF/16 CF-F
- DN 25 ISO-KF/16 CF-F
- DN 16 ISO-KF/40 CF-F
- DN 25 ISO-KF/40 CF-F
- DN 40 ISO-KF/40 CF-F
- DN 40 ISO-KF/63 CF-F
- DN 40 ISO-KF/100 CF-F
- DN 100 ISO-F
- DN 160 ISO-F
- DN 200 ISO-F
- DN 250 ISO-F
- DN 63 ISO-K/DN 63 CF
- DN 100 ISO-K/DN 100 CF
- DN 160 ISO-K/DN 160 CF
- DN10-DN50
- DN10-DN50
全圧測定
高精度な速度・厚みモニターで利益を守り成長させる
- リアルタイム、in situプロセスモニタリング
- オーバーエッチングの防止、チャンバークリーニングエンドポイントの特定
- 装置またはプロセス状態の不具合の特定
高精度なレートと膜厚のモニタリングで利益を保護し成長させる
SemiQCM™ SRセンサはプリカーサモニタリングシステムの1つで、他のコンポーネントはIMM-200とFabGuard（バージョン19.12.00-aまたはそれ以上）です。
- リアルタイム、in situプロセスモニタリング
- オーバーエッチングの防止、チャンバークリーニングエンドポイントの特定
- 装置またはプロセス状態の不具合の特定
INFICONは、多様な水晶振動子モニタ（QCM）センサフィードスルーを提供しており、Easy Rate Sensorに対応します。
- 2.54 cm (1 in.) bolt or CF40 (2.75 in. ConFlat®) styles available
- Available with bored-through tube fittings
NFICONは、多様な水晶振動子モニタ（QCM）センサフィードスルーを提供しており、多くのQCMセンサとチャンバ構成に対応します。
- 2.54 cm (1 in.) ボルトまたはCF40 (2.75 in. ConFlat®) スタイル入手可能
- Ultra-Torr Oリングコンプレッションフィッティング入手可能
- カスタムフィードスルー構成利用可能
- 要求に応じて他のフィードスルースタイルも利用可能
要求の厳しい用途で水晶振動子の優れた性能を発揮
- 6つの振動子
- ポジションフィードバック(コントローラーに依存)
- 長さ調節可能（オプションのフランジによる）
- 堅牢な設計
INFICONのCrystalSixセンサは、連続定格コントロールを要する長いプロセスに不可欠です。
- 6基の振動子を装着し、安定した自動切り替えによりプロセスアップタイムを最大化
- 振動子の切り替えは空気で操作されるため、振動子の温度が安定(他社製品は発熱するモーターを使用)
- 1/8インチチューブが熱安定性を維持し、柔軟なセンサー交換を可能にする
- オプションで振動シャッターもあり
INFICONのスパッタリングセンサはあらゆるスパッタリングプロセスで使用できるように特別に設計されています。
- 金メッキされたベリリウム銅センサー本体と冷却チューブが冷却効果を最大化
- 磁石により自由電子をモニター振動子からそらす
- 水チューブは曲げられて取り付けが簡単、センサー交換も柔軟に行える
- 振動子挿入は背面から行うので、取り替えが簡単
ALDアプリケーションにおいて精度とアップタイムを最適化し、メンテナンスは最小限
- 大半のALD処理温度との互換性あり
- メンテナンスを大幅に削減
- システムのアップタイムを最大化
- 計測精度を最大化
INFICONのUHVベーク可能振動子センサーは実証済みの信頼性と耐久性を提供しており、市場のあらゆるセンサーヘッドの中で最高の温度安定性を誇ります。
- 高温ろう付けおよび溶接構造
- ベークアウト温度は450° Cまで
- 振動子シャッター (オプション)
- 前面搭載振動子ホルダー
Easy Rateデュアルセンサにより、1つの振動子だけでは不十分なQCM用途に、シンプルで安価なソリューションを提供します。
- デュアル振動子
- 廉価
- 前面搭載の振動子ホルダー
- 振動子シャッター付属
Cool Drawerデュアルセンサは、真空チャンバ内に2つ目の振動子を置くことが望ましい、非常に重要なプロセスのためにデザインされています。
- デュアル振動子
- Cool Drawer振動子ホルダー
- 内部ケーブルなし
- 振動子シャッター
Cool Drawerシングルセンサーは振動子が横からセンサー内に取り付けられており、前面搭載の振動子を取り付けるにはスペースが足りない場合に便利です。
- 内部ケーブルなし
- Cool Drawer振動子ホルダー
- 取り付けが容易
- 溶接済みCF40フランジと一緒に注文すればベーク可能
INFICONの前面搭載型デュアル振動子センサは、実証済みの信頼性と耐久性を提供しており、市場のあらゆるセンサヘッドの中で最高の温度安定性を誇ります。
- デュアル振動子
- 振動子シャッター
- 前面搭載振動子ホルダー
- 取り付けが容易
INFICONの前面搭載型シングル振動子センサーは実証済みの信頼性と耐久性を提供しており、市場のあらゆるセンサーヘッドの中で最高の温度安定性を誇ります。
- 前面搭載振動子ホルダー
- 取り付けが容易
- 2.54 cm (1インチ)ボルトフィードスルー/CF40フィードスルーおよびとともに利用可能
- 圧力継手と一緒に注文すれば長さの調整が可能
Easy Rateシングルセンサは、コストを最小限に抑えながら、生産性を最大化できます。これらのセンサは、センサ寿命を長く、メンテナンスを少なくすることにより可用性を最大化します。
- Minimum investment with lowest upfront cost
- Lowest total cost of ownership from extended sensor life
- Maximum throughput with less maintenance
- Easy installation
STM-2は、USB接続の簡単さと、高精度測定エンジンの正確性を、小型で低価格のパーケージに組み合わせています。
- 低価格の装置
- USB接続
- 内部発振器
- 1秒あたり10回測定する高精度
SQM-160は、実績あるINFICONの水晶振動子センサ技術を使って、薄膜蒸着プロセスにおける蒸着速度と膜厚を計測します。
- 標準構成で2つの計測チャンネル、オプションで4つ追加可能
- 蒸着速度/膜厚のアナログ信号出力
- 高分解能オプション：毎秒10回読み取りで0.03Hz
- RS-232 標準、USB またはイーサーネットオプション
高精度な速度・厚みモニタリングで利益を確保し、成長させる
- INFICONのModeLock技術は最長の振動子寿命を提供し、非常に低いレートでも、最も安定した、最も高い解像度のレートと膜厚計測が可能であることを保証します。
- 可能な限り最高のQCM膜厚計測で歩留まりを最大化
高精度な速度・厚みモニタリングで利益を確保し、成長させる
- NFICONのModeLock技術は最長の振動子寿命を提供し、非常に低いレートでも、最も安定した、最も高い解像度のレートと膜厚計測が可能なようにします
- 可能な限り最高のQCM膜厚計測で歩留まりを最大化
- コストを最小限に抑えるため、不必要な機能を追加しないシングルチャンネルレートと膜厚モニター
8種類までの材料を同時に蒸着
- 8種類までの材料の蒸着を監視およびコントロール
- 蒸着速度0.1～10,000Å/秒
- EIESとQCM薄膜プロセスコントロールを統合
- リレー出力12とデジタル入力12
PCI EXPRESSカードによる低コストの蒸着コントロール
- PCI Express
- 3センサー入力、3コントロール出力
- 複数のカードをPCに取り付け
- 複数ソースの共蒸着
高精度の連続蒸着または同時蒸着コントロール
- 明るいカラーLCDディスプレイ - 英語または中国語対応
- 標準RS-232およびUSB（RS-232およびイーサネットはオプション）
- クイックセットアップ "メニュー、6つの状況依存プッシュボタン、便利なパラメータ設定ノブによる簡単なセットアップと操作
- Windows®プログラムにより、プロセスの開発、テスト、ダウンロードが可能。
シングルまたはマルチレイヤー用の高度で低価格のコントロール
- シングルレイヤー対応モデルとマルチレイヤー対応モデルが利用可能
- 特許取得のModeLock技術が、モードホッッピングに由来する膜厚誤差を防止
- INFICONのCrystal 12®、Crystal Six®、およびデュアルセンサー自動振動子スイッチをサポートし生産力を最大化
Cygnus 2薄膜蒸着コントローラーは、実証済みのINFICONの薄膜コントローラーの性能と、OLEDプロセスを最大限に活用できるように設計された、ユニークな機能を組み合わせることにより、ひときわ優れた価値を提供します。
- INFICONのModeLock技術は最も安定であり、非常に低い蒸着速度であっても最高の分解能と膜厚計測を可能にします。
- Auto Z は、材料の蒸着が進むとともにZ比率を自動的に決定し、膜厚の精度を向上させる
- 6つのソースまで同時にコントロールできるので、単独で、または1台のCygnus 2と組み合わせることにより、2台または3台のコントローラーが必要とされる箇所に対応
- カラーTFT LCDディスプレイがプロセスで何が起きているかを見やすく表示
機能豊富なIC6は可能な限り最高の計測精度を提供します
- NFICONのModeLock技術は、非常に低いレートでも、最も安定した、最も高い解像度のレートと厚みの計測を可能にします
- 自動Zは、材料が蒸着されるときに自動的にZ比率を決定することによって、厚みの正確さを向上させる
- 最大6つのソースを同時にコード化することが可能
- Apezon M
- Dow Corning
- FU 090
- FM 090
- OL 090
- DYNAFAT
ADC100システムは、DC電源に接続して、リアルタイムでプラズマのアーク放電を検出します。
- FabGuardセンサー統合および分析システムを通して、ソフトウェアをツールに統合
- チャンネルごとに250 kHzでデータ収集
- ほとんどのDC発電装置にカスタムケーブルで接続
- 定義済みの分析ツールによりアークを迅速に検出
非侵襲的なクランプオンRFディテクタによりiPVD、PECVDおよびエッチングにおいて高速なアーク検出を実現
- 既存のツールセットを容易に改装できる
- 非侵襲的なセンサー取り付け
- 高速データ収集 (250KHz)
- FabGuardでデータマネジメントを統合
需要の高い最大の安定性
- 正確性
- 信頼性
- 安定性
- 利用できるさまざまな電極材料
INFICON の振動子は正確さと信頼度を100%テストされています
- 5および6 MHz
- 金、銀（高温ロードでのプロセス用）、そしてストレス減のアルミ合金（誘電材料と半導体プロセスでのオプティカルコーティング用）
- 3つの便利なパッケージオプション: クリーンルーム適応ディスペンサー、フラットパックディスペンサーとコンパクトボックス
- あなた仕様のサイズと周波数に製造されるカスタマイズ振動子
きれいな水は生命に不可欠です。ますます多くの化学物質が環境に入り込むにつれて、水質の低下と、それに対応する健康への影響も大きくなっています。
- 自動化された試験によって労力とコストを削減
- 外部研究室での定期的な分析の頻度を少なくする
- 所有コストを引き下げる
- サンプル調製の必要がなく、メンテナンスも最小限ですむので、時間のむだを削減
化学物質検知システム - 唯一のVOCや現場のSVOCを特定するポータブル型GC/MS
- 研究室のGC/MSデータと直接比較できるような確認結果を現場で高速に取得
- 汎用性のあるインターフェースによって、HAPSITEをハードウェア的に変更しなくても、アクセサリーによる拡張が可能
- 最小トレーニングでの基本スキルレベルでも可能なシンプル操作
- プローブの適正位置を視覚的に確認し、サンプル収集を最適化
HAPSITE CDTは軍や民間人、危険物対応チームに多様性を提供し、麻薬や化学兵器剤（CWA）、第4世代剤（FGA）、爆発物、有毒工業化学物質の脅威を現場で特定および定量化して、重要な健康リスク評価をすばやく開発します。
- 感度/トレースレベル検出
- 拡張質量範囲/麻薬・FGA/Aシリーズ検出
- カートリッジ濃縮器/ポータブル収集
ULシリーズのすべてのリークディテクター用のインテリジェントヘリウムスプレーガン
- ポータブル、ワイヤーレス、ホースレスのヘリウムスプレーガン
- 柔軟で効率的なリークテスト
- 一体型カラーディスプレイ
- USB-C充電ポートと交換可能なバッテリー
高性能四重極型質量分析計
- 9桁のダイナミックレンジ
- 業界トップクラスのデータ収集速度
- 交換可能なセンサーとエレクトロニクス
- 最大300amuまでスキャン可能
ツールの状態とアイドル時間の分析による容量のボトルネックの特定
- あらゆるレベルの管理者向けに設計
- レポート用にMESデータを簡単に抽出
- 165以上の定義済みレポートと高度な設定可能性
- コード不要のビジネスインテリジェンスツール
Most advanced digital Pirani technology, compact size and the variety of features.
- Available with Tungsten (PSG550) or Nickel (PSG552) filament or with a fully ceramic coated (PSG554) sensor unit for highly corrosive applications
- Optional display, setpoints and digital interfaces
- Latest EtherCAT protocol Standard ETG.5003.2080 S (R) V1.3.0
- Easy to exchange plug & play sensor element with on-board calibration data - guarantees high reproducibility and low cost of ownership
- DN10-DN40
多目的四重極型質量分析計
- 9桁のダイナミックレンジ
- 交換可能なセンサーとエレクトロニクス
- オプションの連続ダイノード電子増倍管
- 最大200amuまでスキャン可能
INFICONピラニキャパシタンスダイアフラムゲージ（PCG55x）は、特許取得のINFICONセラミック製キャパシタンスダイアフラムセンサ技術とピラニゲージの利点をひとつに統合した製品です。
- 10 mbar以下のガス種非依存性 – あらゆる混合ガスに安全なベントを行います
- 大気圧で高い精度と再現性 – 信頼できる大気圧検知
- さまざまな方向で取り付け可能 ; ツール設計における開発の自由度が向上
- 腐食が起こりやすいアプリケーションに対し、タングステン（PCG550）、ニッケル（PCG552）フィラメントまたは完全セラミックコーティング（PCG554）センサーユニットが選択可能
リーク検出のスピードと精度を定義
- 最速のモバイル真空リークディテクター
- 最も信頼性の高いリークディテクター
- 最も頑丈な真空システム
- スリムで操作しやすい
- 直感的なコントロールと使いやすさ
ベースラインからプロセス圧力まで、多目的なプロセスモニタリングが可能です。
- 半導体プロセスモニターに最適
- マルチプレッシャーサンプリングインレット
- 1ppm以下の検出限界
- 差動ポンプ内蔵
Factory Schedulerは、高度なヒューリスティック、線形計画法、最適化、およびインテリジェント検索アルゴリズムを利用して、製造ニーズに合わせて簡単に調整できる最適化されたスケジュールをリアルタイムで生成します。
- ツール上で動作するロットの完全なスケジュールを計算し、実行します。
- エリア特有の制約と目的を理解
- キュータイマー、メンテナンスウィンドウ、クラスターツールなどの管理
- DN10-DN40
INFICON Gemini® 逆マグネトロン真空計は、すべての真空計測用途向けの主力製品です（特許申請中）。
- Long lifetime in harsh environments
- 厳しい環境下でも長寿命を実現
- 磁気漂遊フィールドは発生しない
- メンテナンスフリー - 交換可能なインサート
半導体アプリケーションのリークチェックのニーズに合わせて設計されています。
- 10-9～10-12 mbar-l/sの範囲で高速測定を行うI-CALソフトウェア・アルゴリズムで時間を短縮
- 高い測定感度を維持しながら、バックグラウンドの高速抑制のために改良されたインテリジェント機能を持つI-ZERO 2.0を使用した最も効率的なリークチェック
- 真空およびスニファーリークサーチに適用可能
目標圧力範囲でのプロセスモニタリング
- 対象となる高圧プロセス
- 単一圧力サンプリングインレット
- 1ppm以下の検出限界
- 統合された差動ポンプシステム
工場現場のオペレーターや資材取扱者にわかりやすい指示を提供します。
- FPSスケジューラーによって作成された最適なロットレベル・ソリューションを統合します。
- 担当エリアの工具がいつアイドルになるかをオペレーターに知らせる視覚的な補助機能
- 最適なツール使用率を確保するために、適切なロットを適切な時間に適切な場所に運搬するようマテリアルハンドラーに指示します。
- DN10-DN50
INFICONの逆マグネトロンピラニゲージMPG400 とMPG401は、5 x 10-9 mbarから大気圧(3.8 x 10-9 Torrから大気圧)までを計測します。
- 逆マグネトロンとピラニの組み合わせゲージ
- 5 x 10-9から大気圧という広い計測範囲
- バーンアウトするフィラメントがない
- 優れた点火特性
産業・半導体環境における経済的なヘリウム真空リークテストで定評あるスタンダード
- 速いポンプダウンとレスポンス時間によりリークテスト検査の手間を最小限に低限
- 選択可能なバックグラウンド抑制機能（iZERO) を用いて、複数回のリークテストが不要
- 高い操作性の設計により、限られたスペースでのメンテナンス箇所への簡単なアクセスを可能
- 堅牢なダブルホットフィラメントイオンソース（3年間保証）と逆拡散方式システムにより総コスト（TCO）を削減
- 回転式のディプレイ、視覚および聴覚によるリーク量表示、そしてオプションのハンドリモコン操作による簡易操作を実現
QMG 700 分析質量分析計は、検出の壁を打ち破り、プロセスを次のレベルのイノベーションに推進します。
- 質量範囲オプション 1-512 amu
- 9 decade以上のダイナミックレンジ
- 極めて高速の測定速度0.125 ms/amu
- MDPP < 10E-16 mbar
工具派遣の効率化
- 業界標準の派遣ルール
- 配送の改善とパフォーマンスのレポート
- 簡単な操作
- DN10-DN50
倒立型マグネトロン真空計MAG470は、あらゆる超高真空アプリケーションに対応します。測定範囲は5x10-11mbarから1x10-2mbarです。
- フィラメントの焼損なし
- 拡張バージョン、センサーベークアウト250℃まで
- 優れた着火性
- 洗浄が容易
INFICONのAugent®光学プラズマゲージは、真空監視のためのコンパクトでインテリジェントなソリューションです。
- 高速リーク検出によるチャンバーリークテスト
- 生産性と歩留まりの向上
- 長寿命、フィラメント焼けなし、エアインラッシュ保護
- 耐プロセス化学性
デジタルツインの過去のオペレーションデータを活用することで、サイクルタイムロスに関するこれまで得られなかった洞察を得ることができます。
- 社内イントラネットで誰でも利用できる、ナビゲーションが簡単なサイクルタイムウェブサイト。
- サイクルタイムの各コンポーネント（キュータイム、プロセスタイム、ポストプロセスタイム）が視覚的に分解されます。
- サイクルタイムの構成要素は、製品ごと、モジュールごと、または製品フロー内のステップごとに比較できます。
- 平均WIPレベルを示すチャートにより、WIPとサイクルタイムの相互作用を見ることができます。
- DN10-DN40
INFICONシングルベイヤードアルパート熱陰極電離ゲージBAG402は、5 × 10-10～2.7×10-2 mbar (3.75 × 10-10～5 × 10-2 Torr)の測定範囲をカバーしています。
- 測定範囲は5×10-10 mbar～2.7×10-2 mbar (3.75×10-10 Torr～5×10-2 Torr)
- 優れた再現性を発揮するプロセス圧力範囲、10-8 … 10-2 mbarで5%
- 過圧検出機構により、フィラメントが寿命前に焼き切れるのを防止
- 長寿命の酸化イットリウムでコーティングされた2本のイリジウムフィラメント
信頼できるスニファーリークテスト
- I-Guideオペレーターガイドモードにより、オペレーターが適切な手法で正しい位置をテストする事を確実にする。
- オペレーターのエラーを防止する改善されたシステムデザインによりリークの見逃しを低減。
- マルチアラーム機能により、アラームが見過ごされないようにする。
- 内蔵 PRO-Check リファレンスリークにより、いつでも生産ラインにて容易で素早い較正が可能。
最先端の半導体製造プロセスやその他のガス分析アプリケーションに、リアルタイムの漏れ検知、終点検知、プロセスモニタリングを提供します。
- 動作範囲：1Torr～450Torr
- 優れた検出限界 < 1 ppm
- 長期信頼性：ポンプ不要
- 標準的なKF25接続による簡単な取り付け
正確な工場データを使用して、指定されたスタートプロファイルの工具使用率の推定値を作成します。
- 材料移動モデリングの強化
- 製品別、モジュール別、または製品フロー内のステップ別のきめ細かなサイクルタイムの寄与
ATMから超高真空熱陰極計へ
他社製PBR260ピラニ/ベイヤード-アルパートの熱陰極ゲージにドロップイン対応
- 品番IGG27000はPT R27000に適合します。
- 品番IGG27001はPT R27001に適合します。
- 品番IGG27002はPT R27002に適合します。
INFICONベイヤードアルパートピラニコンビネーションゲージ、BPG400は、1台のコンパクトなユニットで2台の真空計の機能を持ち、5×10-10 mbarから大気圧(3.8×10-10 Torrから大気圧まで)までを計測します。
- 5×10-10 mbar～大気圧(3.8×10-10 Torr～大気圧)の非常に広範囲な計測
- 優れた再現性を発揮するプロセス圧力範囲、10-8 … 10-2 mbarで5%
- ピラニインターロック機構により、Bayard-Alpertシステムを、フィラメントが寿命前に焼き切れることや、高圧でのオペレーションで過剰に汚染されることから守ります。
- 長寿命の酸化イットリウムでコーティングされたイリジウムフィラメント
スニファーリーク検出に新たな標準を設定
- 向上したシステムデザインによって、不良なスニファー作動がなくなり、リーク見逃しの可能性が減少します
- IGS（妨害ガス抑制）はリークのみが検出されるようにします。
- 組込み式ECO-Checkレファレンスリークで、いつでも製造ラインでの校正が簡単で早い
- 複数警告でリークを見逃さない
重要なプロセス環境において、リアルタイムのリーク検出と終点検出を実現
- 10mTorrから1Torrの動作範囲
- 低 ppm レベルまでの優れた検出限界
- 長期的な信頼性：ポンプ不要
- 標準的なKF25接続による簡単な取り付け
現在および将来の仕事量に基づき、工場内のチームメンバーを最適に割り当てます。
- シフトチームメンバーの最適な配置を自動的に決定
- 資格やスキルセットを考慮
- 過去の人員配置と実績を把握
- 人員配置をリアルタイムで可視化
- DN10-DN50
NFICONベイヤードアルパートピラニコンビネーションゲージ、BPG402-Sは1台のコンパクトなユニットで2台の真空計の機能を持ち、5×10-10から大気圧(3.8×10-10 Torrから大気圧まで)までを計測します。
- 5×10-10 mbar～大気圧(3.8×10-10 Torr～大気圧)の非常に広範囲な計測
- 優れた再現性を発揮するプロセス圧力範囲、10-8 … 10-2 mbarで5%
- ピラニインターロック機構により、フィラメントが寿命前に焼き切れるのを防止
- 長寿命の酸化イットリウムでコーティングされた2本のイリジウムフィラメント
バッテリーセル大量生産のためのインライン・リークテスト
- 電池セル量産用インラインリーク試験
- あらゆる形態の金属イオン電池の直接電解液漏れ試験
- 卓越した測定信頼性 - リークがまったくない
- 高速生産システムへの容易な統合
- マルチキャビティ接続による目標生産量に対する最大効率
燃焼効率の最適化
- 燃焼効率、O2、CO2、CO、排ガス温度の測定値を1画面に表示
- 見やすいバックライト付きディスプレイ
- 内蔵圧力計とホースキットでシステム圧力を監視
- FLUE-Mateモバイルアプリを使用した迅速な分析レポート用QRコード
自律走行による不具合ゼロへの挑戦をサポート - 世界初のスマート統合サンプリング管理システム
- サンプリングの目的を管理するためのユーザー定義のルールセット
- 顧客のMESと統合し、在庫をタグ付け
- カバレッジを維持し、エクスカージョンを管理しながら、測定物の量を最小化
- DN10-DN50
INFICONベイヤード・アルパートピラニキャパシタンスダイアフラムゲージ(トリプルゲージ™)BCG450は、コンパクトかつ経済的な1台のパッケージに3種類のテクノロジーを組み込み、プロセスと、5×10-10～1500 mbar（3.75×10-10～1125 Torrまで）の基準気圧を計測することができます。
- BCG450はコストとスペースを節約し、真空計測システムの取り付けとセットアップのる複雑さを軽減
- 10 Torr以上のガス種に依存しない気圧計測は、どのような混合ガスに対しても、より信頼できるロードロックコントロールを実現します。
- ピラニインターロック機構により、熱フィラメントが寿命前に焼き切れるのを防止
- 自動高真空ピラニ調整により作業者による介入を軽減
ELT3000 PLUS電解液リークディテクターは、自動化された高速バッテリー生産ラインにおけるインラインテストの新しい基準を打ち立て、あらゆる形式の液体電解液充填バッテリーセルの非破壊バッテリーリークテストを保証します。
- 自動化された生産工程に容易に組み込むことができます。
- 高い測定信頼性を実現し、リークを見逃しません。
- 高感度化により、安全で長寿命のリチウムイオン電池セルが製造可能。
- ソフトパウチセルの非破壊リークテスト
ガス分析を簡便かつ高速に実現
- 分析時間の最短化
- 可用性を最大化
- ライセンスフリーのアクセス
- 容易な接続
現在および過去の工場出荷状況に基づいて、将来の週ごとに工場出荷を予測します。
- 工場出力のモデル化
- 複数の施設や複雑な製造フローをサポート
- DN10-DN50
INFICONの高圧熱陰極ピラニゲージ、HPG400は、高圧熱陰極とピラニセンサを1台のコンパクトで経済的なパッケージにまとめ、2×10-6 mbar～大気圧(1.5×10-6 Torr～大気圧)までの圧力を計測できます。
- HPG400はコストとスペースを節約し、真空計測システムの取り付けとセットアップのる複雑さを軽減
- 高圧熱陰極電離ゲージは、1×10-5 … 1 mbarまでの圧力を、向上したプロセスコントロールによって計測し、正確で信頼できる結果を達成
- 5×10-2と1 mbarの間でユーザーが選べる熱陰極電離放出のアクチベーション
Sensistor Sentrac水素リークディテクタは産業用の最新ディテクタです。
- 漏れ位置を容易に特定 - 高濃度水素トレーサーガスを使用し、高感度と卓越した性能を同時に実現
- 復旧時間が短いため、大きな漏れの検出時でも停止時間が短縮
- 低メンテナンスコスト - 可動部品なし
- ハンドプローブセンサーは使用者が簡単に交換できるため、稼働時間が最大限に伸ばせる
高圧サンプル、特に凝縮性エアロゾルなどが含まれる場合、Fusion本体にダメージを与える可能性があります。外部サンプルコンディショナー(ESC)はサンプルの温度を50℃以上に維持しながら減圧する事が可能です。
- Micro GC Fusionへの簡単な接続
- フィルター交換を容易にするサイドドア
- サンプリングを容易にするクイックコネクトフィッティング
拡張ツールパフォーマンス（ETP）状態ロジックは、従来のE10ツール中心データとWIP状態を組み合わせ、従来のレポートでは見えなかったファブ稼動ロスの包括的なビューを提供します。
- 標準的なE10 Semi状態モデルを超える詳細な状態分析
- 製造ロスを特定する能力が向上
- DN10-DN50
優れた精度とフィルターで保護されたセンサーで、現場の生産性を向上させます。
- 大気から1ミクロンまで測定可能
- 革新的なフィルターがセンサーを保護し、クリーニングの必要性を低減
- 60分後に自動シャットオフし、バッテリーを保護
- ピラニセンサーによる高精度測定
ポータブル Extrima リークディテクタは、ゾーン 0（Division 1 に対応）等の危険な場所を含む極めて過酷な環境におけるリーク検出において使用可能な本質的安全機器です。
- 事前のベント無しに爆発性環境へのエントリーが可能
- 最大 7 時間の電池容量
- 作動液と燃料に対する堅牢性と弾力性
- 高感度、高速応答、高速復帰
Micro GC Fusionはウェブベースのユーザーインターフェイスを採用しており、従来のソフトウェアと比較していくつかの新しい利点を備えています。各機器にはライセンスフリーのソフトウェアが組み込まれているため、インストールは不要です。
- オペレーティングシステムへの依存性無し
- ライセンスフリー
- すべての機器に内蔵
- インストール不要
- DN10-DN50
INFICONピラニゲージ強化型300 (PGE300)は、上位バージョンのPGE500と同じく、現市場において最も進んだデジタル対流強化ピラニ技術を採用しています。
- 対流強化型ピラニ技術により、測定範囲が広く、大気圧近くでも精度が高い
- ディスプレイ内蔵、1セットポイント、および3種類の選択可能なアナログ出力信号を特徴とする、オールインワンアクティブゲージ
- ユーザーフレンドリーな方法で較正と操作を行える、明るいデジタルLEDディスプレイ
- 3種類のオプションアナログ出力信号(ユーザー選択可能)
Sensistor XRS9012 水素リークディテクタは、通信ケーブルや給水管等のユーティリティー・サービスのリーク検出に最適な、高速かつ信頼性が高い堅牢なディテクタです。
- 直感的で使いやすい
- 防水機能とアルミ製ケースにより、過酷な環境における作業が可能
- 長い使用可能時間（13 時間）により、充電なしで終日の作業が可能
- 作業者が使いやすいよう、軽量かつ人間工学に基づいたデザインを採用
Transpector CPMをモバイルトラブルシューティング機器として使用可能
- 必要な場所にTranspector CPMを設置するための柔軟性
- 狭い場所にも設置可能な省スペース性
- Transpector CPMを動かすために必要なものをすべて収納できる完全なシステム
- DN10-DN50
INFICONのピラニゲージ強化型（PGE）DeviceNetバージョンは、市場で入手可能な最新のデジタル対流強化型ピラニ技術を搭載しています。
- 対流強化型ピラニ技術により、大気圧付近での広い測定範囲と高い精度を実現
- 内蔵ディスプレイ、2つのセットポイント、デジタルDeviceNetインターフェースを
- 備えたオールインワンのアクティブゲージ
最高品質の需要に応えたリークテスト
- コンパクトで軽量、スリム
- タッチスクリーンディスプレイ
- 多様な通信方法
- 高い信頼性
- DN10-DN50
INFICONピラニゲージ強化型500 (PGE500)は、現市場において最も進んだデジタル対流強化ピラニ技術を採用しています。
- 対流強化型ピラニ技術により、測定範囲が広く、大気圧近くでも精度が高い
- ディスプレイ内蔵、2セットポイント、4種類のアナログ出力信号、および2系統のデジタルインターフェースを特徴とする、オールインワンアクティブゲージ
- 明るいデジタルOLEDディスプレイとキーパッドがあり、セットアップ、較正、操作が容易です。
- 4種類のオプションアナログ出力信号(3種類はユーザー選択可能、1種類はデフォルト)
高信頼性、インテリジェント、高再現性のプラットフォームによるヘリウム・リークテストが生産を最適化
- アップタイムを最大化する信頼性
- インテリジェントなデザインは測定の確実さを向上させる
- 自動テスト工程も簡単に設定可能
- DN10-DN50
新しいINFICONのピラニ・ピエゾコンビネーションゲージ（PPG550）は、最も進んだMEMS（Microelctromechanical Systems）センサ技術に基づくものです。
- 2mbar以上でガス種に依存せず、あらゆる混合ガスで安全なベントが可能
- 大気圧での高い精度と再現性 信頼性の高い高速な大気圧検出
- マウント方向が多彩で、
- ツール設計に自由度を提供
INFICON T-Guard2リーク検出センサは、高価なハード真空ヘリウムリーク検出と、ウォーターバスや圧力減衰の ような低感度リークテスト方法との間のギャップを縮めます。
- 低い運用コスト
- 製品の特性を制限しない
- すべてのリークを確実に発見する
- 簡単な操作性
- DN10-DN40
新しいINFICON Pirani Piezoコンビネーションゲージ（PPG570）は、入手可能な最も進んだMEMS（Microelctromechanical Systems）センサ技術に基づいており、これは当社のPPG550 "ATM to Medium Vacuum" ゲージでも使用されています。
- 2mbar以上のガス種に対応 - あらゆる混合ガスで安全なベントが可能
- 大気圧での高精度と再現性 - 信頼性の高い高速大気圧検出
- 大気圧周囲圧測定
LDS3000 AQは、シンプルな蓄積チャンバ内でフォーミングガスまたはヘリウムを使用できる、初のリークディテクタです。
- 部品のリークテストを行うための、コスト効率のよいソリューション
- 真空チャンバーと同じほど信頼性の高い試験結果を、空気中での試験に近いコストで実現
- Industry 4.0統合のためのフィールドバスインターフェースにより、これから先も使用可能
- 温度と湿度を独立に測定するので、信頼性と再現性の高いテスト結果が得られる
- DN10-DN40
INFICONシングルベアード-アルパート熱陰極電離真空計BAG302は、1.3 × 10-9から6.7×10-2 mbar (1 × 10-9から5 × 10-2 Torr)の広い測定範囲をカバーしています。
- 測定範囲は1.3 × 10-9から6.7×10-2 mbar (1 × 10-9から5 × 10-2 Torr)
- 酸化イットリウムでコーティングされた、長寿命の2本のイリジウムフィラメントを標準装備
- ディスプレイを内蔵し、セットポイント機能とアナログ出力を備え、統合型のRS485デジタルインターフェースを標準装備した、オールインワンアクティブゲージ
- 明るいデジタルOLEDディスプレイとキーパッドを装備しており、セットアップ、操作、プログラミングが容易
Sensistor Sentrac水素リークディテクタのアクセサリであるAP29ECOを利用すれば、水素トレーサーガスによる自動リークテストが可能です。
- 条件の厳しい産業用途でも高い信頼性
- 半自動または全自動リークテスト用
- 維持が容易
- 容易なセンサー交換
- DN10-DN50
Rwin®メタンリークディテクタは革新的な、ポータブルの天然ガス検出器で、ガスパイプの調査やガスのリーク検出を容易にします。
- GCとIRセンサーにより、天然ガスと沼気ガスを区別
- 内蔵の独自IRセンサーシステムにより、誤報なし、高感度、素早い反応、短い回復時間
- IP54耐水規格
- 堅牢なハウジングを備えているため苛酷な環境でも測定可能
大きな性能と小さなサイズ
- 優れたスパン安定性 - ガス種に依存しない
- アルミナセンサー
- コンパクト、クラス最小サイズ
- 簡単な統合、さまざまな方向で取り付け可能
- DN10-DN50
産業用、温度補償付き
- 100 mTorrから 1000 Torrのフルスケールレンジ
- 電源投入後にすばやく安定
- 空気圧からのすばやい回復
- 耐腐食性に優れたセラミックセンサー
新技術革新的なContura S400リークディテクタは、食品梱包機器と食品業界のメーカー全般に、MAP（調整雰囲気包装）や他のフレキシブル梱包の漏れ穴を見つける独自のソリューションを提供します。
- 小さなリークを数秒で検出（サイズ< 10 μm）
- 小さなヘッドスペースで梱包でもグロスリークを検出可能
- 測定結果の即時表示
- 測定結果の保管と評価
- DN16-DN50
過酷なプロセス用途、温度補償付き
- 100 mTorrから 1000 Torrのフルスケールレンジ
- 電源投入後にすばやく安定
- 大気圧からのすばやい回復
- 耐腐食性に優れたセラミックセンサー
Sensistor ILS500 Fは、ツール操作機能とガス充填機能は装備していますが、リークディテクタユニットは含まれていません。
- 高品質のリーク検査に適したツーリングおよびガス充填機能
- 時間の掛かる手動トレーサガス充填が不要
- オペレーター依存性の減少。すべてのテスト段階における完全な制御
- テスト品質保証を大幅に改善
- DN20-DN25
カレントループ、温度補償
- 100 mTorrから 1000 Torrのフルスケールレンジ
- 電源立ち上げ後の素早い安定性
- 大気圧からのすばやい回復
- 耐腐食性セラミックセンサ
トレーサーガスを使用した漏れ試験では、試験対象にガスを充填する作業が必要です。
- 試験対象全体にトレーサーガスを確実に充填
- バックグラウンド汚染の防止
- 要求の厳しい産業環境に対応した設計
- 充填用・抜き取り用のデュアルポートで、サイクル時間を短縮
- DN10-DN50
優れた信号安定性、温度制御
- 所有者のコスト削減、50%早いウォームアップ、低パワー消費で省エネ
- 簡単な統合、幅広いフルスケール、フランジ、インターフェース、標準モデルは2点のセットポイント
- 簡単なワンプッシュボタン、またはリモートゼロ点機能、ゼロ点オフセット調整
- すばやいサービスとメンテナンスができる診断ポート
ガスインジェクション コンプリートキットはExtrima（防爆仕様水素リークディテクタ）のオプション品です。
- 航空機の燃料漏れの検査をより効率的に行うことができます。
- 1人の作業者のみで扱うことができます
- トレーサーガスボンベから漏れ位置までの間に必要な物が、すべて含まれています
- ディテクタを校正して測定値を常に正確に保ちます
- DN10-DN50
優れた信号安定性、温度制御
- 所有者のコスト削減、50%早いウォームアップ、低パワー消費で省エネ
- 簡単な統合、幅広いフルスケール、フランジ、インターフェース、標準モデルは2点のセットポイント
- 簡単なワンプッシュボタン、またはリモートゼロ点機能、ゼロ点オフセット調整
- すばやいサービスとメンテナンスができる診断ポート
INFICONの較正済みテストリークは、ヘリウムスニファーリークディテクタProtec P3000(XL)が、リーク検出において最高品質の必要に応えられるように、テストと較正を可能にします。
- 工業用途に最適
- 使いやすい
- 異なる漏出率のものも利用可能
- DIN EN 10204:2004-3-3.-3.1に従う検査証明書を同梱
- DN10-DN50
高温用途、温度制御
- 所有者のコスト削減、50%早いウォームアップ、低パワー消費で省エネ
- 簡単な統合、幅広いフルスケール、フランジ、インターフェース、標準モデルは2点のセットポイント
- 簡単なワンプッシュボタン、またはリモートゼロ点機能、ゼロ点オフセット調整
- すばやいサービスとメンテナンスができる診断ポート
INFICONの較正済みテストリークは、冷媒スニファー リークディテクタが、リーク検出において最高品質の必要に応えられるよう、テストと較正を可能にします。
- 使いやすい
- 工業用途に最適
- 異なる漏出率のものも利用可能
- DIN EN 10204:2004-3-3.-3.1に従う検査証明書を同梱
- DN10-DN50
- DN10-DN50
高温用途、温度制御
- 所有者のコスト削減、50%早いウォームアップ、低パワー消費で省エネ
- 簡単な統合、幅広いフルスケール、フランジ、インターフェース、標準モデルは2点のセットポイント
- 簡単なワンプッシュボタン、またはリモートゼロ点機能、ゼロ点オフセット調整
- すばやいサービスとメンテナンスができる診断ポート
真空アプリケーション用のガス貯蔵器付き較正テストリーク
- 汚染への慣れ
- 温度への依存性の低い、金属フリーのフローリダクション
- PTB証明書を有する較正済みリークとの比較による公称リーク率の決定
- DIN EN 10204:2004-3-3.1に従う検査証明書(同梱)
- DN10-DN50
EtherCAT、温度補償付き
- 簡単な統合、EtherCAT、幅広いフルスケール、フランジ、標準モデルは2点のセットポイント付き
- 簡単なワンプッシュボタン、またはリモートゼロ点機能、ゼロ点オフセット調整
- すばやいサービスとメンテナンスができる診断ポート
- 耐腐食性セラミックセンサ
ヘリウムリーク試験システムの製造業者は、そのシステムのセットアップと較正のため、それぞれが特定のリーク率に調整された、様々なサイズの較正リークを必要とします。
- さまざまな顧客の要件に適合されたさまざまなタイプ
- 操作が簡単
- 設置しやすい
- 理想的な設置用寸法
- DN10-DN50
フットプリントが小さく、温度制御が可能
- コンパクトで、貴重なツールスペースを節約
- 統合が容易、EtherCAT、多様なフルスケールとフランジ、標準で2セットポイント
- 簡単なワンプッシュボタン、またはリモートゼロ点機能、ゼロ点オフセット調整
- すばやいサービスとメンテナンスができる診断ポート
calibrated test leaks enable to test and to calibrate refrigerant sniffer leak detectors for the highest quality demands in leak detection
- 工業用途に最適
- 使いやすい
- 異なる漏出率のものも利用可能
- DIN EN 10204:2004-3-3.-3.1に従う検査証明書を同梱
- DN10-DN50
フットプリントが小さく、温度制御が可能
- コンパクトで、貴重なツールスペースを節約
- 統合が容易、EtherCAT、多様なフルスケールとフランジ、標準で2セットポイント
- 簡単なワンプッシュボタン、またはリモートゼロ点機能、ゼロ点オフセット調整
- すばやいサービスとメンテナンスができる診断ポート
テスト対象物を正確に承諾/却下するためには、設定された基準に合わせて測定する必要があります。
- 工業用途に最適
- 使いやすい
- 異なる漏出率のものも利用可能
- NIST、NMIJ、NPL、PTBなどに遡る
- DN10-DN50
高速、温度制御
- 高い生産性 – 応答時間が2分以上速い (FS > 50m Torr)
- 柔軟な統合 – EtherCAT Fieldbus
- 長寿命 – 実績のあるセラミックセンサー
- 再較正が不要 – フルスケール範囲に基づいた安定性（90ppm/年）
優れた感度と交換可能なセンサーにより、高い汎用性を実現。
- 赤外線センサーの設計を見直し、現場での交換が容易に
- 急速充電可能なリチウムイオンバッテリー
- CFC、HCFC、HFCs、HFO、ブレンド（A2Lを含む）、CO2*、可燃物*の検出が可能です。
- DN10-DN50
高速、温度制御
- 高い生産性、2ms未満の反応時間
- 柔軟な統合 – EtherCAT Fieldbus
- 長寿命 – 実績のあるセラミックセンサー
- 再較正が不要 – フルスケール範囲に基づいた安定性（90ppm/年）
クラウドハンチングPPM表示、優れた感度、交換可能なセンサーで最高の汎用性を実現。
- ppm表示付きの革新的なクラウドハンターモードでリークテスターを今までよりも探しやすくなりました
- 新しい設計の赤外線センサーは、現場で簡単に交換可能
- クイックチャージリチウムイオンバッテリー
- CFCs、HCFC、HFCs、HFOs、ブレンド（A2Lを含む）、CO2*、可燃物*を検出します。
- DN10-DN50
リファレンス、真の高精度
- 高精度な圧力測定 – セラミックテクノロジー
- 完全に安定した出力 – PTBにより実証
- 柔軟なコミュニケーション – 様々な最新型インターフェース
- すべての機能を統合 – コントローラーは不要
大きく読みやすいLCDディスプレイは、漏水箇所を正確に特定するだけでなく、PPMの読み取り値を使って漏水の大きさを定量化するのに役立ちます。
- R134a、R1234yf、すべてのHFC、HFO、ブレンドを検出
- 自動車用ACリーク検出のためのSAE規格に全て適合
- 赤外線センサーが一般的なボンネット内の化学物質による誤報を最小限に抑える
- PPMとピンポイントモードはリークをより早く見つけるのに役立ちます。
- DN10-DN50
OEM用ミニチュアセンサ
- 高精度を提供する小型センサー
- 優れた再現性と長期安定性
- 統合と較正のカスタマイズが可能な溶接フィードスルー、または工場較正済みセンサー統合のためのカスタム溶接フランジ
- 容易な統合および安全な通信を可能にするSPIインターフェース搭載センサー電子回路
充電式で誤作動の少ないヒートダイオードセンサー。
- 加熱式ダイオードセンサーで優れた感度を実現
- CFCs、HCFCs、HFCs、HFOs、ブレンド（A2Lsを含む）の検出が可能
- 充電式バッテリー
- 簡単な1ボタン操作
- DN10-DN50
OEM用ミニチュアセンサ、デュアルセンサ
- デュアル小型センサーは広い測定範囲で高精度を実現
- 范围广，精度高
- 优异的重复性和长期稳定性
簡単な操作とヒートダイオードセンサーで誤報が少ない。
- 加熱式ダイオードセンサーで優れた感度を実現
- CFCs、HCFCs、HFCs、HFOs、およびブレンド（A2Lsを含む）を検出
- D-cell電池2本で動作
- 簡単な1ボタン操作
- DN10-DN50
差動対周囲温度 - 真空システム用安全スイッチ
- リーズナブルで信頼性の高い真空スイッチ
- 長寿命
- 堅牢な設計
- 統合が簡単
誤報が少なく、感度に優れた赤外線センサーを採用。
- R-134a、R-1234yf、およびすべてのHFC、HFO、および混合物を検出します。
- 自動車用ACリーク検出のためのすべてのSAE規格に適合
- 赤外線センサーにより、一般的なボンネット内の化学物質による誤報を最小限に抑えます。
- オプションのCO2センサーと互換性あり
- DN10-DN50
電気スイッチング接点調整機能付き絶対圧スイッチ
- スイッチの高い精度 (± 0.1 mbar)
- 安定した長期オペレーション特性
- 頑丈で耐腐食性に優れたデザイン
簡単な操作と実績のある加熱式ダイオードセンサーで確実なリークチェックを実現。
- 2 g/a の感度 (EN 14624 による)
- R134a、R1234yf、およびすべてのHFC、HFO、およびブレンドを検出
- 標準的な自動車用リークディテクターよりも誤報が少ない
- 2つのD-cellバッテリーで作動
- DN10-DN50
アブソリュートスイッチ - 正確で信頼性の高い圧力検知
- 耐腐食性、全ステンレス製
- 堅牢な設計、クリーンルーム仕様
- 工場初期設定または現場での調整が可能なセットポイントにより設置が簡単
水素を発生させるガスで、安全かつ簡単にリークチェックを行うことができます。
- フォーミングガスと可燃性ガスを検出
- フォーミングガス（R134a相当）に対して7g（0.25オンス）/年の感度を持つ。
- 本質安全防爆仕様
- Dセル電池2本で動作
- DN10-DN40
差動スイッチ - 正確で信頼性の高い圧力検知
- 耐腐食性、全ステンレス製
- 堅牢な設計、クリーンルーム仕様
- 工場初期設定または現場での調整が可能なセットポイントにより設置が簡単
TEK-Checkは、環境状況に従い、5～9g/年（0.18～0.32オンス/年）の率でR134a冷媒を漏洩する コンパクト な参照リークソースです。
- R134a、R1234yf、R600aに使用可能
- リークディテクタのキャリングケースに収まるコンパクトサイズ
- 使いやすい
- 電池不要
- DN10-DN50
加工測定、コントロール、データログ用持続可能ソリューション
- パラメーター、センサーまたは一般設定には、ドットマトリックスメニューで指示される表示部があり、シンプルな操作が可能
- 長距離からの計器読み出し用の、非常に明るくクリアなディスプレイ
- セットポイント表示、またはプレッシャー vs 時間の表示がついた、棒グラフの表示部
シンプルで信頼性が高く安全なソリューションで、ほとんどの冷媒ガスに対応し、広いエリアのスタンドアロン常時監視が可能です。
- すべてのCFC、HFC、HCFC、HFOを検出します。
- 最大6個のリモートセンサーと連動
- 低メンテナンス、シングルポイント校正
- 3つのアラームセットポイントを調整可能
VGC094は、真空プロセス測定、制御、データログのための卓越したソリューションです。
- 1×10-11から1000mbarまでの真空モニタリングとコントロールモニター用の完全なソリューション
- 明るくクリアな画面
- セットポイントまたは圧力対時間のバーグラフ表示
- パラメータ、センサー、一般設定のための直感的なメニューによるシンプルなセンサー操作
- DN16-DN40
あらゆる冷媒ガスのスタンドアローン常時監視のためのシンプルで信頼性の高い安全なソリューション
- すべてのCFC、HFC、HCFC、HFO、HC、CO2 を検出します。
- リモートおよび統合センサーオプション
- 低メンテナンス、シングルポイント校正
- 3つのアラームセットポイントを調整可能
- DN10-DN40
VGC094用ピラーニ・パッシブ・ゲージ・ヘッド
- エラストマー（PSG010）または金属シール（PSG017、PSG018）設計
- 高い測定精度と再現性
- 100 °C (PSG010) / 250 °C (PSG017, PSG018) までのベークアウト温度
- 106Gyまでの耐電離放射線性（PSG017、PSG018）
様々な用途に対応する汎用性・柔軟性
- 様々な用途や産業で使える安定性
- 圧力または真空下のあらゆるガスに対応
- 付属のヘッドフォンを使ってリークを聞くことができる
- レーザーポインターでリーク箇所を簡単に特定可能
- DN10-DN50
VGC083およびVGC031用の対流強化パッシブ・ピラニ・ゲージ
- 対流強化型ピラニ・テクノロジーにより、広い測定範囲と大気近傍での高精度を実現
- 金メッキタングステンフィラメント
- 機械的衝撃や振動の影響を受けにくい堅牢な構造
- 豊富なフランジオプション
可燃性冷媒や可燃性ガスの漏れを安全に検出します。
- 5ppmのメタンに感応
- 天然ガス、フォーミングガス、プロパン、ブタン、シクロペンタン、エタン、エタノール、イソブタン、アンモニアも検出します。
- R290、R600a、R441aなどの可燃性冷媒にも対応
- フォーミングガス（窒素95％、水素5％）を検出
- DN16-DN50
便利で簡単な操作で、一酸化炭素の危険を簡単に検出できます。
- クラス最高の精度で安心
- 片手で操作できるシンプルな操作性
- 視認性に優れたストップライトLEDとアラーム音で、COの危険をすばやくお知らせします。
- DN10-DN40
ゲージヘッドMAG084は、真空計コントローラーVGC094で動作するように設計されたユニークな耐磁性倒立マグネトロン冷陰極ゲージです。
- 強力な外部磁場下でも動作を維持できるよう開発
- 逆マグネトロン原理に基づく、信頼性と実績のあるゲージヘッド設計
- 革新的な二重イオン化チャンバー原理
- 230 °Cまでベーク可能
高価な冷媒を失うことなく経済的にリークを検出。
- 環境に優しいN2H2によるリークチェック
- R1234yfおよびR134aシステム用のカプラー
- ACシステムのハイサイドとローサイドの両方をチャージ
- DN10-DN50
VGC083用ミニホットイオンベイヤードアルパートパッシブゲージヘッド
- 長年の信頼と実績を誇るゲージヘッド設計
- コンパクトなサイズ、豊富な接続フランジと継手により、ドロップイン交換が可能。
- 酸化イットリウムでコーティングされたイリジウムフィラメントのデュアルカソードアセンブリ
- 電子ボンバード（EB）脱ガス
I-Guide3D 350スキャナー： 全自動リークテストシステムのための最高精度
- 接合部のばらつきに関係なく、手作業によるスニッフィング作業を自動化
- 1.5mmからすべてのチューブサイズに対応
- ソフトウェアによるロボットのパスプランニングでサイクルタイムを最適化
- 作業者への依存度を低減
- DN16-DN40
INFICONのベアード-アルパートパッシブ真空ゲージヘッドBAG050、BAG051、BAG052およびBAG053は、INFICONの真空コントローラVGC083AおよびVGC083Bと組み合わせて使用できるように設計されています。
- 実証済みの、信頼性の高いゲージヘッドデザイン
- ほとんどの非被覆熱陰極電離ゲージヘッドに適合
- 幅広い放出電流に対応(100 μA～10 mA)
- シングル/デュアルのイットリア被覆イリジウムおよびデュアルタングステンフィラメント陰極アセンブリが利用可能
- DN16-DN50
IM540用熱陰極電離型パッシブゲージヘッド
- 個別に校正されたセンシングシステムによる高い測定精度
- 交換可能なカソード
- 400 °Cまでの高温ベークアウト可能
- DN16-DN40
- DN16-DN50
電離真空計の新しいスタンダード。
- 高真空および超高真空領域で高い測定精度が要求される用途向けに開発
- ISO/TS 6737に準拠した電極システム構成
- 小さな不確かさで予測可能な相対ガス感度により、すべてのガス種に対して真の圧力が得られます。
プロセス測定およびデータ記録用の高度なコントローラ。
- 使いやすいドットマトリックス・メニュー・インターフェースで、パラメータ、センサー、一般設定を調整可能
- 明るく見やすいディスプレイで、機器データを遠隔地から読み取ることができます。
- 設定値の可視化や圧力の経時変化を表示するバーグラフ
- DN16-DN50
費用対効果の高い圧力監視ソリューション。
- ユーザーが選択可能な測定単位（Pa、mbarまたはTorr）
- コンパクトなベンチトップモデルで、パネルや19インチラックに簡単に取り付け可能。
- ゲージからの0～10V出力信号は、PLCまたはチャート・レコーダーで使用可能
- 自由に調整可能なセットポイント
- DN16-DN50
パッシブゲージヘッドBAG05xおよびPGE050用。
- DN10-DN50
イオン・リファレンス・ゲージ・コントローラーIRC081とそのユーザー・インターフェースは、標準化されたイオン・リファレンス・ゲージIRG080の操作および表示インターフェースです。
- 正確な真空圧力測定のための操作・表示ソリューション
- 全てのIRG080ゲージ・パラメーターのユーザー・コントロールが可能
- 5つのポテンショメーターによる簡単なマニュアル操作
- USB-BポートからPCへのユーザーインターフェース接続
- DN10-DN50
PGE050用シングルチャンネルコントローラ
- 1.3×10-4から1333mbarまでの幅広い測定範囲を表示・制御
- セットアップと操作が簡単なキーパッド付き明るいデジタルOLEDディスプレイ
- 4つのユーザー選択可能アナログ出力信号、2つのセットポイントリレー
- RS232/RS485デジタルインターフェース
- DN10-DN40
多目的熱陰極電離パッシブゲージコントローラ
- IE414（Bayard-Alpert）およびIE514（Extractor）熱陰極イオン化ゲージの操作に対応
- PSG5xx（ピラニ）、PCG55x（ピラニ-キャパシタンスダイアフラム）、CDG（キャパシタンスダイアフラム）アクティブゲージラインから2つのアクティブゲージを接続して操作可能
- パラメータ、センサー、一般設定のメニュー表示による簡単操作
- DN16-DN40
INFICON CDG製品ラインと接続し、4桁ディスプレイを実現
- 4 Digit display for easy read out
- Large 10mm active LED display -
readable from distance and wide range gauge of angle - In-line plug design
- 15pin D-Sub, no extra power connection
- ISO-KF DN40-DN50/ISO-K DN63
- ISO-KF DN25-DN50/ISO-K DN63-DN100
- ISO-KF DN16-DN40/ISO-CF-F DN16-DN100
- ISO-KF DN16-DN40/VCR ¼ in.-¾ in.
- ISO-KF DN16-DN40/VCR ¼ in.-¾ in.
- ISO-KF DN16-DN40
- Swagelok® 6 mm-16 mm / ⅛ in.-½ in.
- DN10-DN40
- DN10-DN40
- DN10-DN40
- DN16-DN40/NPT ⅛"-1"
- DN16-DN40/NPT ⅛"-2"
- DN16-DN40
- DN16-DN40
- DN16-DN40
- DN16-DN40
- DN16-DN40
- DN16-DN40
- DN16-DN40
- DN10-DN20
- DN10-DN50
- DN63-DN630
- DN63-DN630
- DN63-DN630
- DN63-DN630
- DN63-DN630
- DN63-DN1000
- DN63-DN250
- DN63-DN100
- DN63-DN630
- DN63-DN250
- DN63-DN320
- DN63-DN250
- DN63-DN630
- DN63-DN100
- DN160-DN250
- DN63-DN320
- DN63-DN250
- DN63-DN630
- DN63-DN320
- DN63-DN320
- DN160-DN250/DN63-DN200
- DN63-DN250
- DN63-DN160
- DN63-DN250
- DN63
- DN63-DN320
- DN63-DN160
- ISO-K DN160-DN250/ISO-F DN63-DN160
- ISO-K/ISO-CF DN63-DN160
- DN63-DN160
- DN63-DN160
- DN63-DN630
- DN63-DN630
- DN100-DN160
- DN63-DN160
- DN63-DN630
- DN63-DN1000
- DN63-DN1000
- DN16-DN350
- DN16-DN160
- DN16-DN160
- DN16-DN100
C 100
- C100
- DN16-DN350
- DN16-DN250
- DN16-DN200
- DN250
- DN16-DN250
- DN16-DN250
- DN16-DN250
- DN16-DN250
- DN16-DN250
- DN16-DN250
- DN16-DN250
- DN16-DN250
- DN16-DN100
- DN40
- DN16-DN160
- DN16-DN160
- DN16-DN160
- DN16-DN160
- DN16-DN160
- DN40-DN63
- DN16-DN160
- DN16-DN160
- DN16-DN160
- DN16-DN160
- DN40-DN160
- DN100
- DN40-DN100
- DN16-DN160
- DN16-DN40
- DN16-DN250
- DN16-DN40 ISO-CF-F
- FCH DN16-DN40
- FPU DN16-DN40
- DN16 ISO-KF
- DN40 ISO-KF
- DN16 ISO-CF-F
- DN40 ISO-CF-F
- DN40 ISO-KF
- DN16 ISO-KF
- DN16 - 40 ISO-CF-F
- DN40 ISO-KF
- DN40 ISO-CF-F
- DN16-DN50
- DN63-DN160
- DN16-DN160
- DN63-DN160
- 605-6001
- CAF 4
会社概要
INFICONは半導体、真空、および産業市場向けの高度な技術と製品を提供する一流企業です。当社の製品ポートフォリオには、お客様独自のニーズを満たすためにデザインされた、幅広い革新的なソリューションが含まれています。
当社が得意とする主要分野のひとつがリークディテクションで、冷凍空調システム、産業ガス、真空システムなど、さまざまなアプリケーションのリークを検出・測定できる製品を多数提供しています。
また、ハロゲン、六フッ化硫黄、冷媒などさまざまなガスを検知・測定できるガス分析装置も提供しています。
さらに、研究開発、製造、分析機器などの用途に使用される高度な真空技術製品も提供しています。
さらに、製品だけでなく、お客様をサポートするための包括的なサービスも提供しています。これには、メンテナンス、修理、校正サービスのほか、トレーニングや教育も含まれます。当社の教育コンテンツは、お客様が当社製品を使用する際のベストプラクティスやテクニックを理解するためのものであり、当社の経験豊富なエンジニアチームが常に専門的なサポートとガイダンスを提供しています。