ガス分析

半導体、バッテリー、ディスプレイ、エネルギー、製薬・医療、研究・学術、一般真空コーティング産業、並びにこれらに限定されないさまざまな産業用途で精密かつ信頼性の高いガス分析を行うために設計された、弊社の高度なガス分析器のラインナップをご覧ください。弊社のソリューションをご確認の上、お客様のニーズにぴったり合ったガス分析器を見つけてください。

技術
質量分析 光学分光法 燃焼分析 ガスクロマトグラフ
プロセス
PVD CVD ALD エッチ リソグラフィー
圧力
< E-5 Torr > E-4 Torr〜1E-2 Torr 1E-2Torr〜1Torr > 1 Torr
検出限界
1-10 ppm < 1 ppm < 10 ppb >10 ppm
市場
HVAC/R 産業用製造業 真空成膜 セキュリティ エネルギー 半導体IDM＆ファウンドリ 半導体装置メーカー ディスプレイ 製薬・メディカル モビリティ＆オートモーティブ 研究・アカデミア 分析機器 バッテリー
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質量分析計
Transpector® CPX

高度なプロセスモニタリングのためのコンパクトなプロセスエキスパート

Transpector® CPX
  • HexBlockマルチプレッシャーサンプリング注入口
  • 検出限界200ppb以下
  • 業界をリードするポンピング速度
  • システム容積の30%減少
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質量分析計
Transpector® XPR 3+

極限PVDプロセスモニタリング四重極型質量分析計

Transpector® XPR 3+
  • 業界トップクラスの最高使用圧力
  • オプションの過圧隔離弁インターロック
  • 最大100amuまでスキャン可能
 899-Transpector-MPH
質量分析計
Transpector® MPH

高性能四重極型質量分析計

Transpector® MPH
  • 9桁のダイナミックレンジ
  • 業界トップクラスのデータ収集速度
  • 交換可能なセンサーとエレクトロニクス
  • 最大300amuまでスキャン可能
 900-Transpector-MPS
質量分析計
Transpector® MPS

多目的四重極型質量分析計

Transpector® MPS
  • 9桁のダイナミックレンジ
  • 交換可能なセンサーとエレクトロニクス
  • オプションの連続ダイノード電子増倍管
  • 最大200amuまでスキャン可能
 1146-Transpector-SPS
質量分析計
Transpector® SPS

目標圧力範囲でのプロセスモニタリング

Transpector® SPS
  • 対象となる高圧プロセス
  • 単一圧力サンプリングインレット
  • 1ppm以下の検出限界
  • 統合された差動ポンプシステム
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光学式ガス分析と全圧測定用のデュアルゲージ
Augent® OPG550

INFICONのAugent®光学プラズマゲージは、真空監視のためのコンパクトでインテリジェントなソリューションです。

Augent® OPG550
  • 高速リーク検出によるチャンバーリークテスト 
  • 生産性と歩留まりの向上 
  • 長寿命、フィラメント焼けなし、エアインラッシュ保護 
  • 耐プロセス化学性 
 8165-Quantus-HP100
光学式ガス分析計
Quantus® HP100

最先端の半導体製造プロセスやその他のガス分析アプリケーションに、リアルタイムの漏れ検知、終点検知、プロセスモニタリングを提供します。

Quantus® HP100
  • 動作範囲：1Torr～450Torr
  • 優れた検出限界 < 1 ppm
  • 長期信頼性：ポンプ不要
  • 標準的なKF25接続による簡単な取り付け
 929-Quantus-LP100
光学式ガス分析計
Quantus® LP100

重要なプロセス環境において、リアルタイムのリーク検出と終点検出を実現

Quantus® LP100
  • 10mTorrから1Torrの動作範囲
  • 低 ppm レベルまでの優れた検出限界
  • 長期的な信頼性：ポンプ不要
  • 標準的なKF25接続による簡単な取り付け
 896-Micro-GC-Fusion
ガスクロマトグラフ
Micro GC Fusion® ガス分析装置

ガス分析を簡便かつ高速に実現

Micro GC Fusion® ガス分析装置
  • 分析時間の最短化
  • 可用性を最大化
  • ライセンスフリーのアクセス
  • 容易な接続
 893-Micro-GC-Fusion-External-Sample-Conditioner
ガスクロマトグラフ
Micro GC Fusion® 外部サンプルコンディショナー

高圧サンプル、特に凝縮性エアロゾルなどが含まれる場合、Fusion本体にダメージを与える可能性があります。外部サンプルコンディショナー(ESC)はサンプルの温度を50℃以上に維持しながら減圧する事が可能です。

Micro GC Fusion® 外部サンプルコンディショナー
  • Micro GC Fusionへの簡単な接続
  • フィルター交換を容易にするサイドドア 
  • サンプリングを容易にするクイックコネクトフィッティング
 Micro-GC-Fusion-User-Interface
ガスクロマトグラフ
Micro GC Fusion® ユーザーインターフェース

Micro GC Fusionはウェブベースのユーザーインターフェイスを採用しており、従来のソフトウェアと比較していくつかの新しい利点を備えています。各機器にはライセンスフリーのソフトウェアが組み込まれているため、インストールは不要です。 

Micro GC Fusion® ユーザーインターフェース
  • オペレーティングシステムへの依存性無し
  • ライセンスフリー 
  • すべての機器に内蔵 
  • インストール不要
フィルター (1)

高度なガス分析器と産業用ガス分析ソリューション

INFICONは、重要な産業用アプリケーションに正確なガス分析を提供する先進的なガス分析器を提供しています。当社のツールは正確なガス検出とモニタリングに不可欠で、半導体製造プロセスの最適化や環境制御など、さまざまな分野で産業の安全、コンプライアンス、業務効率維持に役立ちます。

その好例がTranspector® APXマルチプレッシャーマススペクトロメーターで、複数の圧力をリアルタイムでモニターすることで残留ガス分析に秀でています。この分析器は半導体製造に相応しく、ガス組成のデータを迅速かつ正確に提供し、製造環境の精密なコントロールを可能にします。その多用途性と正確性は、品質基準を維持し、プロセス中断を最小限に抑える上で極めて高い価値を提供します。

INFICONの産業用ガス分析ソリューションは、企業が信頼性の高いガス検知とモニタリングシステムを保持することを確証します。INFICONのツールがあれば、産業は自信を持って標準規格を満たし、安全性を向上させ、プロセス効率を上げることができ、最新の企業運営に不可欠な要素となります。

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