RFセンシング技術
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RFセンシング技術
Sion™
非侵襲的なクランプオンRFディテクタによりiPVD、PECVDおよびエッチングにおいて高速なアーク検出を実現
Sion™
- 既存のツールセットを容易に改装できる
- 非侵襲的なセンサー取り付け
- 高速データ収集 (250KHz)
- FabGuardでデータマネジメントを統合
RFセンシング技術
ADC100
ADC100システムは、DC電源に接続して、リアルタイムでプラズマのアーク放電を検出します。
ADC100
- FabGuardセンサー統合および分析システムを通して、ソフトウェアをツールに統合
- チャンネルごとに250 kHzでデータ収集
- ほとんどのDC発電装置にカスタムケーブルで接続
- 定義済みの分析ツールによりアークを迅速に検出