Mastering Vacuum Measurements: A Basic Guide to Cold Cathode Gauges

short article from INFICON about how to reliably measure permeability of films and membranes using instruments from INFICON

New sniffer lines for use in ATEX zone 2, a new handprobe for the HLD6000 with improved cross-sensitivity and the XL3000FlexRC for use with remote control

Helium prices have gone up again lately in several parts of the world. Hydrogen can be a suitable alternative for many leak testing applications when used appropriately. Read our five tips on what to consider when switching from helium to hydrogen leak testing. 

時は金なり-これはリークテストにも当てはまります。INFICONは現在、テストサイクルをスピードアップし、テストの信頼性を犠牲にすることなくリークテストシステムデザインのコストを削減する、LDS3000用の新しいソフトウェアを発表しました。

The battery market is striving for lower cost of production, higher yield and improved quality.  To produce high quality batteries that are safe as well as long lasting at high yields, strict quality control throughout the production process is mandatory. INFICON offers a wide product portfolio for a variety of production applications. 

Verwenden Sie ein Wasserbad zur Dichtheitsprüfung Ihrer Produkte, sind sich aber nicht sicher, welche Leckgrößen Sie finden? Der Bubbleizer von INFICON hilft Ihnen, den Durchfluss in zählbare Blasen zu berechnen und umgekehrt.

Chances and limitations

産業用、温度補償付き

過酷なプロセス用途、温度補償付き

EtherCAT、温度補償付き

カレントループ、温度補償

優れた信号安定性、温度制御

優れた信号安定性、温度制御

フットプリントが小さく、温度制御が可能

フットプリントが小さく、温度制御が可能

高速、温度制御

高速、温度制御

リファレンス、真の高精度

アブソリュートスイッチ - 正確で信頼性の高い圧力検知

差動スイッチ - 正確で信頼性の高い圧力検知

差動対周囲温度 - 真空システム用安全スイッチ

電気スイッチング接点調整機能付き絶対圧スイッチ

OEM用ミニチュアセンサ

OEM用ミニチュアセンサ、デュアルセンサ

ELT3000 PLUS電解液リークディテクターは、自動化された高速バッテリー生産ラインにおけるインラインテストの新しい基準を打ち立て、あらゆる形式の液体電解液充填バッテリーセルの非破壊バッテリーリークテストを保証します。

信頼できるスニファーリークテスト

確実性と最速のスループットを実現するHIGH FLOW技術

Sensistor Sentrac水素リークディテクタは産業用の最新ディテクタです。

ポータブル Extrima リークディテクタは、ゾーン 0（Division 1 に対応）等の危険な場所を含む極めて過酷な環境におけるリーク検出において使用可能な本質的安全機器です。

Sensistor XRS9012 水素リークディテクタは、通信ケーブルや給水管等のユーティリティー・サービスのリーク検出に最適な、高速かつ信頼性が高い堅牢なディテクタです。

スニファーリーク検出に新たな標準を設定

最高品質の需要に応えたリークテスト 

リーク検出のスピードと精度を定義

半導体アプリケーションのリークチェックのニーズに合わせて設計されています。

HAPSITE CDTは軍や民間人、危険物対応チームに多様性を提供し、麻薬や化学兵器剤（CWA）、第4世代剤（FGA）、爆発物、有毒工業化学物質の脅威を現場で特定および定量化して、重要な健康リスク評価をすばやく開発します。 

産業・半導体環境における経済的なヘリウム真空リークテストで定評あるスタンダード

化学物質検知システム - 唯一のVOCや現場のSVOCを特定するポータブル型GC/MS

モジュール式リークディテクター、コンパクトで最高レベルの性能

高信頼性、インテリジェント、高再現性のプラットフォームによるヘリウム・リークテストが生産を最適化

INFICON T-Guard2リーク検出センサは、高価なハード真空ヘリウムリーク検出と、ウォーターバスや圧力減衰の ような低感度リークテスト方法との間のギャップを縮めます。

ガス分析を簡便かつ高速に実現

Micro GC Fusionはウェブベースのユーザーインターフェイスを採用しており、従来のソフトウェアと比較していくつかの新しい利点を備えています。各機器にはライセンスフリーのソフトウェアが組み込まれているため、インストールは不要です。 

LDS3000 AQは、シンプルな蓄積チャンバ内でフォーミングガスまたはヘリウムを使用できる、初のリークディテクタです。

Sensistor Sentrac水素リークディテクタのアクセサリであるAP29ECOを利用すれば、水素トレーサーガスによる自動リークテストが可能です。

高圧サンプル、特に凝縮性エアロゾルなどが含まれる場合、Fusion本体にダメージを与える可能性があります。外部サンプルコンディショナー(ESC)はサンプルの温度を50℃以上に維持しながら減圧する事が可能です。

きれいな水は生命に不可欠です。ますます多くの化学物質が環境に入り込むにつれて、水質の低下と、それに対応する健康への影響も大きくなっています。

INFICON の振動子は正確さと信頼度を100%テストされています

需要の高い最大の安定性

非侵襲的なクランプオンRFディテクタによりiPVD、PECVDおよびエッチングにおいて高速なアーク検出を実現

ADC100システムは、DC電源に接続して、リアルタイムでプラズマのアーク放電を検出します。

INFICONのAugent^®光学プラズマゲージは、真空監視のためのコンパクトでインテリジェントなソリューションです。

ATM To Medium Vacuum Gauge - High volume standard applications

Most advanced digital Pirani technology, compact size and the variety of features.

新技術革新的なContura S400リークディテクタは、食品梱包機器と食品業界のメーカー全般に、MAP（調整雰囲気包装）や他のフレキシブル梱包の漏れ穴を見つける独自のソリューションを提供します。

INFICONピラニゲージ強化型300 (PGE300)は、上位バージョンのPGE500と同じく、現市場において最も進んだデジタル対流強化ピラニ技術を採用しています。

INFICONの較正済みテストリークは、ヘリウムスニファーリークディテクタProtec P3000(XL)が、リーク検出において最高品質の必要に応えられるように、テストと較正を可能にします。

INFICONの較正済みテストリークは、冷媒スニファー リークディテクタが、リーク検出において最高品質の必要に応えられるよう、テストと較正を可能にします。

真空アプリケーション用のガス貯蔵器付き較正テストリーク

ヘリウムリーク試験システムの製造業者は、そのシステムのセットアップと較正のため、それぞれが特定のリーク率に調整された、様々なサイズの較正リークを必要とします。

calibrated test leaks enable to test and to calibrate refrigerant sniffer leak detectors for the highest quality demands in leak detection

テスト対象物を正確に承諾/却下するためには、設定された基準に合わせて測定する必要があります。

INFICONピラニゲージ強化型500 (PGE500)は、現市場において最も進んだデジタル対流強化ピラニ技術を採用しています。

機能豊富なIC6は可能な限り最高の計測精度を提供します 

Cygnus 2薄膜蒸着コントローラーは、実証済みのINFICONの薄膜コントローラーの性能と、OLEDプロセスを最大限に活用できるように設計された、ユニークな機能を組み合わせることにより、ひときわ優れた価値を提供します。

シングルまたはマルチレイヤー用の高度で低価格のコントロール

高精度な速度・厚みモニタリングで利益を確保し、成長させる

高精度な速度・厚みモニタリングで利益を確保し、成長させる

SQM-160は、実績あるINFICONの水晶振動子センサ技術を使って、薄膜蒸着プロセスにおける蒸着速度と膜厚を計測します。

STM-2は、USB接続の簡単さと、高精度測定エンジンの正確性を、小型で低価格のパーケージに組み合わせています。

Easy Rateシングルセンサは、コストを最小限に抑えながら、生産性を最大化できます。これらのセンサは、センサ寿命を長く、メンテナンスを少なくすることにより可用性を最大化します。

INFICONの前面搭載型シングル振動子センサーは実証済みの信頼性と耐久性を提供しており、市場のあらゆるセンサーヘッドの中で最高の温度安定性を誇ります。

INFICONの前面搭載型デュアル振動子センサは、実証済みの信頼性と耐久性を提供しており、市場のあらゆるセンサヘッドの中で最高の温度安定性を誇ります。

Cool Drawerシングルセンサーは振動子が横からセンサー内に取り付けられており、前面搭載の振動子を取り付けるにはスペースが足りない場合に便利です。

Cool Drawerデュアルセンサは、真空チャンバ内に2つ目の振動子を置くことが望ましい、非常に重要なプロセスのためにデザインされています。

Easy Rateデュアルセンサにより、1つの振動子だけでは不十分なQCM用途に、シンプルで安価なソリューションを提供します。

INFICONのUHVベーク可能振動子センサーは実証済みの信頼性と耐久性を提供しており、市場のあらゆるセンサーヘッドの中で最高の温度安定性を誇ります。

ALDアプリケーションにおいて精度とアップタイムを最適化し、メンテナンスは最小限

INFICONのスパッタリングセンサはあらゆるスパッタリングプロセスで使用できるように特別に設計されています。

INFICONのCrystalSixセンサは、連続定格コントロールを要する長いプロセスに不可欠です。

要求の厳しい用途で水晶振動子の優れた性能を発揮

高精度なレートと膜厚のモニタリングで利益を保護し成長させる 
SemiQCM™ SRセンサはプリカーサモニタリングシステムの1つで、他のコンポーネントはIMM-200とFabGuard（バージョン19.12.00-aまたはそれ以上）です。 

高精度な速度・厚みモニターで利益を守り成長させる

INFICONのベアード-アルパートパッシブ真空ゲージヘッドBAG050、BAG051、BAG052およびBAG053は、INFICONの真空コントローラVGC083AおよびVGC083Bと組み合わせて使用できるように設計されています。

加工測定、コントロール、データログ用持続可能ソリューション

INFICON CDG製品ラインと接続し、4桁ディスプレイを実現

高性能四重極型質量分析計

Why you cannot find relevant leaks

How to use the correct flow

How to increase efficiency

Integration and data exchange with a higher-level control system via interfaces

多目的四重極型質量分析計

Basic knowledge explained easy and practice-oriented

How to determine and ensure the permissible leak tightness of your product

Intelligent solution for real-time vacuum gas monitoring

How to measure your factory performance

How to measure your factory performance

How to measure your factory performance

INFICONのピラニゲージ強化型（PGE）DeviceNetバージョンは、市場で入手可能な最新のデジタル対流強化型ピラニ技術を搭載しています。

INFICONピラニキャパシタンスダイアフラムゲージ（PCG55x）は、特許取得のINFICONセラミック製キャパシタンスダイアフラムセンサ技術とピラニゲージの利点をひとつに統合した製品です。

新しいINFICONのピラニ・ピエゾコンビネーションゲージ（PPG550）は、最も進んだMEMS（Microelctromechanical Systems）センサ技術に基づくものです。 

新しいINFICON Pirani Piezoコンビネーションゲージ（PPG570）は、入手可能な最も進んだMEMS（Microelctromechanical Systems）センサ技術に基づいており、これは当社のPPG550 "ATM to Medium Vacuum" ゲージでも使用されています。 

INFICONシングルベイヤードアルパート熱陰極電離ゲージBAG402は、5 × 10^-10～2.7×10^-2 mbar (3.75 × 10^-10～5 × 10^-2 Torr)の測定範囲をカバーしています。

極限PVDプロセスモニタリング四重極型質量分析計

INFICONシングルベアード-アルパート熱陰極電離真空計BAG302は、1.3 × 10^-9から6.7×10^-2 mbar (1 × 10^-9から5 × 10^-2 Torr)の広い測定範囲をカバーしています。

INFICONベイヤードアルパートピラニコンビネーションゲージ、BPG400は、1台のコンパクトなユニットで2台の真空計の機能を持ち、5×10^-10 mbarから大気圧(3.8×10^-10 Torrから大気圧まで)までを計測します。

目標圧力範囲でのプロセスモニタリング

NFICONベイヤードアルパートピラニコンビネーションゲージ、BPG402-Sは1台のコンパクトなユニットで2台の真空計の機能を持ち、5×10^-10から大気圧(3.8×10^-10 Torrから大気圧まで)までを計測します。

INFICONベイヤード・アルパートピラニキャパシタンスダイアフラムゲージ(トリプルゲージ™)BCG450は、コンパクトかつ経済的な1台のパッケージに3種類のテクノロジーを組み込み、プロセスと、5×10^-10～1500 mbar（3.75×10^-10～1125 Torrまで）の基準気圧を計測することができます。

重要なプロセス環境において、リアルタイムのリーク検出と終点検出を実現

INFICONの高圧熱陰極ピラニゲージ、HPG400は、高圧熱陰極とピラニセンサを1台のコンパクトで経済的なパッケージにまとめ、2×10^-6 mbar～大気圧(1.5×10^-6 Torr～大気圧)までの圧力を計測できます。

INFICON Gemini^® 逆マグネトロン真空計は、すべての真空計測用途向けの主力製品です（特許申請中）。

倒立型マグネトロン真空計MAG470は、あらゆる超高真空アプリケーションに対応します。測定範囲は5x10-11mbarから1x10-2mbarです。

INFICONの逆マグネトロンピラニゲージMPG400 とMPG401は、5 x 10^-9 mbarから大気圧(3.8 x 10^-9 Torrから大気圧)までを計測します。

HAPSITE® サービスモジュールは、すべてのHAPSITE化学物質検知システムモデルに対してサポート機能を提供します。

現場で水中VOCの意思決定データ

微量物質の定量VOC分析

到達しづらい場所または危険な環境で、拡張された範囲の化学物質を検出

現場で土壌と水、水中、汚水中、土中、固形廃棄物中の意思決定データを分析

振動子を自動的に切り替えて生産時間を最大効率化

優れた感度と交換可能なセンサーにより、高い汎用性を実現。

クラウドハンチングPPM表示、優れた感度、交換可能なセンサーで最高の汎用性を実現。

大きく読みやすいLCDディスプレイは、漏水箇所を正確に特定するだけでなく、PPMの読み取り値を使って漏水の大きさを定量化するのに役立ちます。

充電式で誤作動の少ないヒートダイオードセンサー。

簡単な操作とヒートダイオードセンサーで誤報が少ない。

誤報が少なく、感度に優れた赤外線センサーを採用。

簡単な操作と実績のある加熱式ダイオードセンサーで確実なリークチェックを実現。

水素を発生させるガスで、安全かつ簡単にリークチェックを行うことができます。

TEK-Checkは、環境状況に従い、5～9g/年（0.18～0.32オンス/年）の率でR134a冷媒を漏洩する コンパクト な参照リークソースです。

シンプルで信頼性が高く安全なソリューションで、ほとんどの冷媒ガスに対応し、広いエリアのスタンドアロン常時監視が可能です。

あらゆる冷媒ガスのスタンドアローン常時監視のためのシンプルで信頼性の高い安全なソリューション

耐久性に優れたワイヤレスパッケージで、冷媒の移動を確実に測定します。

高温環境下でも業界トップクラスの回収率を実現。

シンプルな操作性、優れた耐久性、優れた精度を実現しました。

優れた精度とフィルターで保護されたセンサーで、現場の生産性を向上させます。

2段式ロータリーベーン5CFMポンプにより、15ミクロンまでの究極の真空を実現。

様々な用途に対応する汎用性・柔軟性

可燃性冷媒や可燃性ガスの漏れを安全に検出します。

便利で簡単な操作で、一酸化炭素の危険を簡単に検出できます。

NFICONは、多様な水晶振動子モニタ（QCM）センサフィードスルーを提供しており、多くのQCMセンサとチャンバ構成に対応します。

INFICONは、多様な水晶振動子モニタ（QCM）センサフィードスルーを提供しており、Easy Rate Sensorに対応します。

Hydrogen has significant potential to help decarbonize our economy and to become the fuel of the future. INFICON has world-leading expertise to help make this vision a reality. 

Continuously Short Delivery Times and Enhanced Features 

Every second counts in the semiconductor industry and large-volume production lines. The new UL6000 Fab PLUS reduces downtimes and gives faster leak test results. 

Watch these short videos and see how easily it finds leaks, how to calibrate and how to assemble the sensor in less than one minute! 

LDS3000の新しいI-Zero機能により、高濃度ヘリウムバックグラウンドでのテストがより迅速に行えるようになりました。MACEASは現在、ヘリウム汚染がほとんど避けられないバイポーラプレート用のリークテストを構築していますが、I-Zeroはこの問題に十分に対応できるものでした

Easy with the new Sentrac Leak Detector

最先端の半導体製造プロセスやその他のガス分析アプリケーションに、リアルタイムの漏れ検知、終点検知、プロセスモニタリングを提供します。

ATMから超高真空熱陰極計へ

パッケージ製造における確実なリーク検知は、失敗のリスクを低減します。

フレドリック・エンクイストのインタビュー

複雑な課題を克服し、人々と環境を守るために

高精度の連続蒸着または同時蒸着コントロール

安定性の向上、厚み精度の向上、時間の節約

従来の用途にとらわれない多用途なリーク検知を実現

In this webinar we will discuss some common applications in the optical, OLED, and solar industry. We will unpack a list of unique key features exclusively offered by INFICON that are tailored to your application

次世代のバッテリーセル高速インラインリークテスト

単一圧力ALD/CVDとエッチングの高度なプロセスエキスパート

マルチプレッシャーALD/CVDとエッチングの高度なプロセスエキスパート

トレーサーガスによる漏水検知は、従来の石鹸スプレーによる検知に比べ、より小さな漏水をより早く発見することができます。

同じツールで冷媒（HFC）、可燃性冷媒（A2L、A3）、CO₂を検出可能

Our new Gas Analyzer. Product introduction, availability, successful implementations of pre-production systems

リークテストは、バッテリーセルだけでなく、従来の自動車や電気自動車の多くの自動車部品の品質管理に不可欠なものです。

シンプルな動きが大きなインパクトを生む

The Imperative of Accurate Leak Testing for Electric Vehicle Batteries and Fuel Cells

展示会参加

新しいI-Guide3D 350スキャナーで

How to automate your manual process easily

ATMから超高真空トリプルゲージ®まで

ATM～超高真空デュアルゲージ

中・超高真空シングルゲージ

ポータブルで使いやすい冷媒識別

The latest Precision Vacuum Measurement Solution.

Technical consideration of a test leak, test leak applications, Certifications

INFICONとCERNがコラボレーションを模索

燃焼効率の最適化

INFICONはイオンリファレンスゲージIRG080でR&D 100アワードを受賞

ナトリウムイオンバッテリーセルは、トレンドのトピックであり、ナトリウムイオン技術は、確立されたリチウムイオンのアプローチよりもいくつかの利点がある。

密閉された部品をテストする一般的な方法は、ヘリウムボンビングである。部品を高圧のヘリウム雰囲気中に一定期間保管し、真空リークディテクターでヘリウムが抜けていないか検査する。

ヘリウムの消費は運転コストに影響するため、多くのユーザーは真空リークテストでヘリウムを節約する方法を探している。

3Dスキャナーによる冷蔵庫の正確なロボット漏水検知

インテリジェント・パネル・マウントによる漏水検知の高度化

高価な冷媒を失うことなく経済的にリークを検出。

NASAやチューリッヒ工科大学などのパートナーとの未来技術に関する研究プロジェクトの概要。私たちは技術革新を進め、技術の限界を押し広げる努力をしています。

チューリッヒ工科大学のロボットシステム研究所と共同で、ARAMMIS（Autonomous Robots for Area Mapping, Monitoring, and In-situ Sensing）というプロジェクトに取り組んでいます。私たちの焦点は、先進的なガス検知ペイロードを車輪付き脚ロボットに統合することです。

VGC094は、真空プロセス測定、制御、データログのための卓越したソリューションです。

INFICONは生産サポートとESGコラボレーションの評価を受ける

半導体、エネルギー、セキュリティーなど多くの産業におけるガス検知と真空測定のエキスパートとして、私たちのチームは常に「次のイノベーション」を模索しています。

電離真空計の新しいスタンダード。

大きな性能と小さなサイズ

プロセス測定およびデータ記録用の高度なコントローラ。

New Feature for Faster Cycle Times and Cost Savings

マイクロGC Fusion

航空機燃料タンクの漏れを安全に探索する方法

SMART-Spray、I-BOOSTおよびSPRAY-Check

SL3000EXスニファー・ラインが認証取得

適切なリークテスト技術の重要性

2024年2月27日、INFICONは8ヶ月のプロジェクトスケジュールの後、中国の広州で新しいグローバル・アプリケーション・センターのオープンを祝いました。

ELT3000 PLUSの成功に基づき、当社はELT Vmaxリークディテクタを発表します。このリークディテクタは、バッテリーセルの工業的大量生産用のリーク検査システムに組み込むために設計された専用装置です。

EcoBoostの紹介

南大西洋探検：海底からの排出を追って

仕事の大小を問わず

スマートな故障検出と分類は、リアルタイムのデータ統合と分析を提供し、異常が発生する前にそれを予測します。

PGE050用シングルチャンネルコントローラ

多目的熱陰極電離パッシブゲージコントローラ

バッテリーセル大量生産のためのインライン・リークテスト

A Basic Guide to Capacitive Vacuum Gauges

I-Guide^3D 350スキャナー： 全自動リークテストシステムのための最高精度

安全なリーク検知のためのEX認証機器

イオンリファレンスゲージIRG080は、真空イオンゲージのカテゴリーに新たな基準を打ち立てました。

QCM use in the semiconductor industry for processes like ALD, E-beam, resistive source and sputtering.

Maximize Efficiency in full automated battery mass production

革新的な漏水検知ソリューションに関する総合トレーニングセッション。

電子式漏水検知器を導入するメリット

ファクトリーダッシュボードは、業界をリードする世界中の工場で使用されている主要なオペレーションレポーティングツールです。

FPSデジタルツインは、スマートファクトリーを開発するための最も重要なビルディングブロックです。すべてのリアルタイムオペレーションイベントを収集し、サイクルタイムとスループットデータを計算し、パワフルなアプリケーションを駆動します。

Factory Schedulerは、高度なヒューリスティック、線形計画法、最適化、およびインテリジェント検索アルゴリズムを利用して、製造ニーズに合わせて簡単に調整できる最適化されたスケジュールをリアルタイムで生成します。

工場現場のオペレーターや資材取扱者にわかりやすい指示を提供します。

デジタルツインの過去のオペレーションデータを活用することで、サイクルタイムロスに関するこれまで得られなかった洞察を得ることができます。

正確な工場データを使用して、指定されたスタートプロファイルの工具使用率の推定値を作成します。

現在および将来の仕事量に基づき、工場内のチームメンバーを最適に割り当てます。

自律走行による不具合ゼロへの挑戦をサポート - 世界初のスマート統合サンプリング管理システム

現在および過去の工場出荷状況に基づいて、将来の週ごとに工場出荷を予測します。

拡張ツールパフォーマンス（ETP）状態ロジックは、従来のE10ツール中心データとWIP状態を組み合わせ、従来のレポートでは見えなかったファブ稼動ロスの包括的なビューを提供します。

正確なリーク検出は、最適な状態を維持し、半導体産業の課題に対応するために重要な役割を果たします。

INFICONのスマートソリューションは半導体産業の未来を形作る上で極めて重要です。

Quartz crystal microbalance (QCM) technology has been used for decades to control deposition rate and thickness for the most complex processes seen in the ophthalmic, optical, display, and solar markets. INFICON has recently made a new advancement in QCM technology to address a problem seen across all of these industries related to QCM temperature effects. Thermal shock can cause QCM thickness errors which can decrease yield and increase manufacturing costs if temperature is not accounted for correctly.

Temperature impacts the frequency measurement and can create false mass readings. Thin film deposition controllers currently on the market have no good way of distinguishing frequency shifts related to mass from frequency shifts related to temperature, resulting in thickness errors and poor PID control. This can be detrimental to complex coating processes due to the low deposition rates and incredibly thin layers required. Thermal shocks can occur at any point in a deposition process and can cause unnecessary PID-loop corrections, triggering non-uniform deposition in respect to time. This means that the quality throughout the bulk of the material is inadequate. For very thin films, the thickness termination may not be at the real intended thickness because the process time window is small compared to the time allowed for a QCM to recover from a thermal shock event.

INFICON has patented a new temperature compensation technique for SC-cut crystals to remove the effects of temperature variation on the QCM without the need for additional hardware or custom and expensive sensors.

Please join us for the ‘Temperature Compensation for QCMs’ webinar, hosted by Sheldon Wayman, Product Engineer for INFICON Inc.

正確なリーク検知による冷媒ロスの防止 

ELT3000 PLUSおよびELT Vmaxリークディテクタを使用し、特許取得済みの直接電解液リークテスト技術を用いて、充填済みリチウムイオンおよびナトリウムイオン電池セルをテストする画期的な方法。

新基準ユーロ7が欧州議会で可決

LDS3000リークディテクターのEcoBoost機能により生産コストを削減。

INFICON EDCはその施設を拡大し、最高水準の品質保証を世界中の先進メーカーに提供します。

最先端のロボット技術で冷凍空調（RAC）システムのリークテストに革命を起こします。

冷凍空調におけるリークディテクションの未来を再定義

真空技術のリーダーである当社は、半導体製造の進歩に重要な役割を果たし、エレクトロニクス産業の未来を形作る比類のない精度を提供しています。

新世代ユーザー・ソフトウェア

VGC083用ミニホットイオンベイヤードアルパートパッシブゲージヘッド

VGC083およびVGC031用の対流強化パッシブ・ピラニ・ゲージ

ほぼすべての工場では、工場の状況を把握するため、ファブ・ステータス・ミーティングを毎日開いています。

ツールの状態とアイドル時間の分析による容量のボトルネックの特定

工具派遣の効率化 

次のレベルのリークディテクターULリークディテクターシリーズ用のSMARTアドオンで、簡単な操作と迅速な結果を。

ニューヨーク州北部を「半導体スーパーハイウェイ」に変貌させる4000万ドルの連邦資金、イノベーションと労働力開発を後押し

ロードアイランド大学とのコラボレーション 

IM540用熱陰極電離型パッシブゲージヘッド

イオン・リファレンス・ゲージ・コントローラーIRC081とそのユーザー・インターフェースは、標準化されたイオン・リファレンス・ゲージIRG080の操作および表示インターフェースです。

Smart essentials for intelligent leak detection

Sensistor®Sentrac®水素リークディテクタのI-Guide機能を理解する

Sensistor® Sentrac®とBM1000モジュール 

ジェイコブは、大手太陽電池メーカーの太陽光発電設備エンジニアです。ジェイコブは、装置の稼働時間と生産能力を向上させる方法を探していました。過酷なペロブスカイト材料がQCMの故障を引き起こすため、QCMを頻繁に交換する必要があり、ツールの稼働時間は限られていました。

FabTimeはチームが問題の根本原因を特定する時間を何時間も節約するため、より早く対応し、より多くの時間を改善に充てることができます。

EtherCATおよびPROFINETインターフェースの紹介 

サブファブの可視化、監視、制御 

費用対効果の高い圧力監視ソリューション。

ゲージヘッドMAG084は、真空計コントローラーVGC094で動作するように設計されたユニークな耐磁性倒立マグネトロン冷陰極ゲージです。

高度なセンシングシステムの統合 

水冷は長年にわたり自動車産業で広く使用されてきた。かつては、水冷は主に燃焼エンジンの過剰な熱を除去するために使用されていましたが、今日では、新しい電気自動車や燃料電池のドライブトレインでも水冷が一般的に使用されています.

自動車業界では、毎年何十億もの部品、サブアッセンブリー、組み立てられた車両のリークテストが行われている。リークテストごとに、リーク率テストの仕様を設定する必要があります。

エアコンが故障するとEVが止まる。クルマのエアコンの故障はイライラさせるし、高額な出費にもつながる

私たちは、A2Lのテストと認定を受けた、安心してお使いいただける工具のフルラインをご提供できることを誇りに思っています。

Introduction to the three factors tool utilization variability, and number of qualified tools per tool group and ways to influence them for cycle time improvement.

Well-chosen equipment reliability metrics can help communication between fabs and equipment suppliers and drive cycle time improvement

Why fabs should provide training for people who work in manufacturing on the fundamental drivers of cycle time

Addressing the details of a new metric for capturing the impact of front-of-the-line hot lots on regular lot cycle time

Addressing which performance improvement recommendations are more relevant for 300mm wafer fabs vs. 200mm fabs

Discussion of fab complexities like equipment downtime that are commonly reported as having a significant impact on cycle time

Concrete operational recommendations for wafer fabs to improve cycle time and productivity

This article introduces several metrics for predicting, based on current performance, the future cycle time of lots in the factory.

A discussion of queue time limits in fabs, why they are challenging to manage, and how to minimize their impact

How to estimate the potential cycle time improvement from different strategies to determine what will have the greatest benefit.

The impact of one-of-a-kind tools on fab cycle time, and ways to manage and improve cycle time in their presence

Improving fab cycle time by making operational changes have a high value. These improvements center on reducing variability to move to a more favorable operating curve.

And why fabs should consider G2G as a metric for tracking progress.

The reasons for this impact, its magnitude using our Operating Curve Spreadsheet tool & concrete suggestions for mitigating the problem.

正確なトレーサーガス取り扱いの重要性

PROFINETインターフェースの紹介

正確で効果的なスケジューリングと意思決定の可視化

自動校正用テストリークアダプター、CalMateに迫る 

CrystalSix and Crystal 12 are rotary Quartz Crystal Monitors utilized in OLED, Solar and Semiconductor applications, to name a few.  QCMs like these also sometimes require user troubleshooting and maintenance to ensure good connectivity as well as crystal positioning within the aperture. During this webinar you will learn about the CrystalSix and Crystal12 and best practices to troubleshoot and maintain them.

VGC094用ピラーニ・パッシブ・ゲージ・ヘッド

WIPの待機時間とWIPが待機していない待機時間を区別することで、装置レベルでのサイクル時間を決定する稼働率の部分を把握します。

漏水検知のエキスパートによる8つのヒントとコツ

RRRマシン用の信頼性の高い統合された冷媒識別

火山の噴火は最も印象的な自然現象のひとつで、風景を劇的に変え、人間と野生動物に脅威をもたらします。このような出来事の予測を改善するために、INFICONは2022年6月以来、イタリアの火山島ヴルカーノとストロンボリにある国際研究機関と協力しています。

前工程のウェハ処理におけるFDCソリューションの成功を受け、複数の半導体メーカーが後工程のウェハアセンブリプロセスにFDCを導入することを選択しました。

INFICONは、スマート製造空間におけるAIに焦点を当てたイニシアチブを一元化し、拡大するための新しいグローバルデータ科学チームの立ち上げを発表できることを誇りに思います。

適切に構成されたFDCシステムには、プロセス、装置、故障モードに関する深い知識と、システムの設定および保守に対する協力的な取り組みが必要です。システムが完全に設定されていても、設計時に考慮された故障条件に依存するため、その限りでしか有効ではありません。

AP29ECOによるデュアルプローブのサポート

半導体製造の初期においては、「スケジュール」とはロットリストやルートを検討するチームが、その日の仕掛かり作業をどのように進めるかを話し合うことを意味していました。

高度なプロセスモニタリングのためのコンパクトなプロセスエキスパート

トレーサーガスによるリーク検知

車両が自律的または半自律的に移動することが想定される場合、先進運転支援システム（ADAS）と呼ばれるさまざまなセンサーや電子部品を搭載する必要があります。

ユーザーの手元で直接リーク検出結果を確認 

今日の光学コーティングに必要な新しい特許技術を提供する、INFICON Zevision蒸着コントローラーの次世代の一部

Easy and efficient hydrogen sniffing leak testing

A new future proof Hot Ion Gauge generation from INFICON

漏水検知の専門家からの洞察 

当社は、国際電気株式会社より名誉ある「エクセレントパートナー賞」を受賞しました。

QMG 800 分析質量分析計 - 検出限界を超え、プロセスを革新の新たな高みへ

携帯電話筐体の雨漏りを正確に検知する方法

この記事では、なぜ半導体ウェハ工場にとって良好なサイクルタイムが重要なのか、なぜ良好なサイクルタイムを達成するのが難しいのか、そしてそれを改善するために工場管理者が高いレベルで何をすべきなのかについて述べる。 ファブのサイクルタイムを改善するためには、3つのアプローチが必要であると考える。

FabTimeニュースレターでは、会議のお知らせ、論文募集、製品ニュースなど、ウェハファブオペレーションコミュニティにとって興味深いお知らせを共有する機会を歓迎します。

このフォーラムはFabTimeサイクルタイムニュースレターに付随するものです。 今月は、生産性を最大化するために装置サプライヤーがファブをどのように支援できるか、エンジニアリングロットにどのようなツール状態を使用するか、そして12月号のThe Waddington Effectについて購読者ディスカッションを行います。