SMARTエッセンシャルズ

照明付きカラーディスプレイを装備し、多くのテストポイントやリークの可能性のある複雑な半導体システムのリーク検出を容易にします。これらのアプリケーションは、1 x 10^-9 mbar x l/s未満の限界リークレートによって特徴付けられます。このようなアプリケーションでは、バッテリー駆動のポータブルデバイスがリークテストをより柔軟でシンプル、かつ効率的にします。

「この結果、すべての測定範囲において、リーク検知にかかる時間を最大50％短縮することができます」と、製品マネージャーのマルクス・シュヴァンベラは効率の飛躍について説明する。「ライセンスを購入したユーザーは、様々なチャンバー容積において、より迅速で正確な測定結果を得ることができます。I-BOOSTの利点は、複雑な半導体システムにおいても特に有効です。

SMART-Spray、I·BOOST、SPRAY-CheckはULシリーズのすべての移動式INFICONヘリウムリークディテクターに適しており、I-BOOSTは最新世代のUL装置（UL3000 Fab/UL6000 Fabシリーズ）に限定されています。UL6000 Fabは、最新の半導体工場や非常に大きなチャンバー容積を持つコーティングシステムにおいて、より大量のテストを行うための市場で最もパワフルで最高の装置です。すべての測定範囲で最速の応答時間と最短の試験時間を提供します。コンパクトな設計で、狭い場所でも簡単に操作できます。UL3000 Fabシリーズは半導体工場でのリーク検査用に開発されました。「柔軟性、機動性、迅速な試運転、高感度が特徴です。ユーザーは正確なテスト結果を非常に迅速に受け取ることができ、最新の半導体工場では標準となっています。」と、製品マネージャーのマルクス・シュヴァンベラは強調する。また、UL3000 Fabは設置面積が小さく、狭いスペースでも簡単に操作できます。UL1000 Fabシリーズは、産業や半導体環境での経済的なヘリウム真空リークテスト、特にチャンバー容積が小さい場合の幅広いアプリケーションに対応します。主な利点この装置は非常にパワフルで頑丈、そして安価です。