ジェイコブ、ペロブスカイト太陽電池プロセスのツール稼働時間を最大化
長いプロセス監視時間と高い生産性
ジェイコブは、大手太陽電池メーカーの太陽光発電設備エンジニアです。ジェイコブは、装置の稼働時間と生産能力を向上させる方法を探していました。過酷なペロブスカイト材料がQCMの故障を引き起こすため、QCMを頻繁に交換する必要があり、ツールの稼働時間は限られていました。このため、ジェイコブは過去にすべてのツールをCrystal 12®ロータリーセンサーでアップグレードしました。Crystal 12を使用することで、モニター寿命が切れるとシステムが自動的に新しい結晶に切り替わり、技術者は工具なしで結晶カルーセルを新しい結晶が装填済みのスペアと簡単に交換することができました。しかし、ジェイコブは生産能力を最大化するための他のユニークな方法を探しており、そしてINFICONのアプリケーション専門家に助けを求めることができることを知っていました。
私たちのチームはジェイコブと会い、すべてのプロセス要件と、現在このツールで使用されている測定器について話し合いました。チームが最初に気づいたのは、ジェイコブが金電極QCMを使っていることでした。金電極QCMは低応力金属には優れていますが、ペロブスカイトのような過酷な材料になると、モニター時間が4倍近く長い合金電極QCMに比べて、QCMを頻繁に交換しなければなりません。ジェイコブはこれをテストしたいと熱望していたので、INFICONはすぐに手に入る在庫から数種類のサンプルを彼に送りました。
また、チームはこのツールにアクティブ・オシレーター蒸着コントローラーが搭載されていることを知りました。当時は、ジェイコブは生産を始めたばかりで、そのコントローラーが製品の製造工程に適合していたのです。しかし、その後、ジェイコブの工場では製造が拡大し、太陽電池の需要が増加していたため、次の世代の太陽電池製品をサポートするために装置を更新する時期が来ていました。モードロック・コントローラーは、アクティブ発振器装置よりも10倍分解能が良く、ジェイコブのプロセスのQCMモニタリング時間を2倍にすることができます。ジェイコブは、生産性が向上するだけでなく、モードロック・コントローラーの高分解能によって、次世代の太陽電池のプロセス制御要件のサポートをより良いものにできることに興奮しました。
ジェイコブはCygnus 2蒸着コントローラーを注文し、INFICONが提供したトレーニングと設置サポートにも満足しました。アップグレードとQCM電極の変更をして以来、ジェイコブの会社は生産性と製品の品質を劇的に向上させています。
