未来のためのスマート・スケジューリング
正確で効果的なスケジューリングと意思決定の可視化
INFICONの FPS Factory Scheduler は、急速に変化するビジネス状況に対応する工場運営の正確な計画を提供します。
世界中の工場のプロセスエリアでの展開から情報を得て、少し前にFactory Schedulerアプリケーションの新バージョンをリリースしました。 これらの新しいリリースには、半導体工場で見られるダイナミックで複雑なシナリオに対して正確なスケジューリング決定を行う機能を拡張し、これらの決定の背後にある計算の可視性を向上させる機能が含まれています。
意思決定の可視性
Factory Schedulerがどのように意思決定を行っているかを知ることは、Factory Schedulerが正しい意思決定を行っているかを知るための鍵です。私たちは、どのプロセスツールをいつスケジューリングするかの決定に使用される基礎的な計算の可視性を大幅に改善しました。
たとえば、ロットがスケジューリングされるとき、その時点でスケジューリングオプションであったすべてのツールにスコアが割り当てられます。Factory Schedulerは、スケジューリング決定のより良い可視性を提供するために、これらのスコアがどのように計算されたかについての詳細な説明とともに、各利用可能なツールの相対的なスコアを表示するようになりました。
ディスクバッチプロセスのスループットモデリング
ディスクスループットは、全体的なバッチ処理時間をより正確に決定し、ツールの使用率や次のステップの到着スケジュールを改善します。
正確なスケジューリングのためには、工場内のすべての設備タイプにわたって、各工具とレシピの組み合わせのスループットを正しくモデル化することが重要である。各工程の所要時間を知ることは、単純で分離されたディスパッチリストから統合された工場スケジュールに移行するための重要な要素です。
追加されたディスク・スループットのサポートは、FPS Schedulerの5番目の主要なスループット・モデルです。ディスク・スループットは、インプランターやその他の装置で一般的な特徴である、フル生産ロットのサイズよりも小さいバッチで複数のウェハーを実行する装置のプロセス時間モデリングを改善します。
複雑なキュータイマー管理
キュー・タイマー（処理ステップ間の時間制限）は、半導体製造における品質管理に不可欠です。キュータイマーのサポートは、Factory Schedulerの初期から利用可能です。
既存のキュータイマー管理ロジックを強化し、オーバーラップ、バック・トゥ・バック、クロス・エリア・キュータイマーなど、より複雑なキュータイマー・シナリオの取り扱いを改善しました。 この変更により、全体的なキュータイマーの品質を損なうことなく、運用の有効性が向上しました。
未来のスケジューラー
Factory Schedulerの将来は、企業全体にわたる緊密な統合と、スケジューラが工場のビジネス目標をどの程度満たしているかに基づく、スケジューラの分析と最適化の改善です。
企業全体の統合
Factory SchedulerとFabGuard®やMetrology Sampling Optimizerのようなシステムとの間の工場レベルの統合から、Capacity Analyzerや Maintenance Optimizerとのビジネスレベルの統合まで、Factory Schedulerの将来はビジネスのための統合されたエコシステムの一部となります。 この統合により、工場内だけでなく、ビジネス全体の状況の変化への迅速な対応が可能になります。
分析と最適化の改善
Factory Schedulerの次期バージョンは、既存のKPI（Key Performance Indicator：重要業績評価指標）の上に構築・拡張され、Factory Schedulerがビジネス目標をどのように改善しているかをよりよく理解できるようになります。最初のステップは、Factory SchedulerのコンフィギュレーションがKPIにどのような影響を与えているかを可視化することです。後のバージョンでは、ビジネス目標に対するスケジューラの最適化に基づいて、システムが構成の変更を推奨し、最終的に実施することができるようになります。
