Enhanced Tool Performance
装置状態の真の洞察
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Gemini™ MxG5xx
実用的な理解
機器の状態を正確に追跡できることは、改善点を理解する上で非常に重要です。ほとんどの設備状態モデルは、メンテナンスイベントを使用して、最も基本的なレベルの状態を記録するだけです。当社の強化されたロジックは、手動メンテナンス・イベント、開始および終了プロセス・イベント、利用可能なWIP、およびスループットを組み合わせ、すべてのツールのすべてのチャンバーを、秒ごとにほぼ100の詳細な状態の1つに分解します。その結果、以前には不可能だった詳細な状態レポートが可能になりました。
当社の Enhanced Tool Performance（ETP）状態ロジックは、これまで使われてきた装置のE10を中心とするデータをWIP状態と組み合わせ、従来のレポートでは見えなかったファブオペレーションロスの包括的なビューを提供します。OEEメトリクスの上にあるツールの使用を改善する運用機会を特定します。既存のツール状態モデルから始め、装置状態、レシピ資格、WIP位置、その他多くの要因からのリアルタイム情報を組み合わせ、ツール状態がINFICON状態の1つに変わるタイミングを正確に計算します。その結果、即座に違いを生み出す領域に改善の努力を集中できるようにする、実行可能な強化モデルができあがります。
強化されたツールパフォーマンスは独立したアプリケーションではなく、データウェアハウスに組み込まれ、すべてのINFICONアプリケーションで利用可能な、他にはない価値のあるコンセプトです。
スマートな状態分析
状態が変化した場合、オペレータが機器を正しい状態にしなかったり、状態モデルにその状態が存在しない場合に、機器がどのような状態であるべきであったかを正しく判断するために、前方と後方を調べます。
これにより、WIPへの影響による効率の低下だけでなく、メンテナンス活動による効率の低下も確認することができます。WIPによる非効率なツールパフォーマンスとメンテナンスによるダウンタイムに対する可視性の向上により、これはファブマネージャーが組織全体の改善を推進するための強力なツールとなります。
