FabGuard® FDC
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Product configurator
Gemini™ MxG5xx
FabGuard®はプロセス機器、高度なセンサー、IoTデバイス、ゲージ、そしてサブファブ/設備コンポーネントからのリアルタイムデータを使用する広範なエンジニアリングツールキットで、業界で利用可能な最も包括的な故障検出システムを提供します。
リアルタイムプロセス監視
INFICONのFabGuard FDCシステムはデータを接続し、収集し、意味のある情報に変換する比類のない能力を提供します。エンジニアはこの情報を使って、ツール能力とプロセス最適化への深い洞察を深めます。実績のあるFDC技術とともに働くことに加え、SmartFDC®を使った強力な教師なし機械学習によって、FabGuardは変化が起きたときに自動的に検出することができます。
メリット
- プロセス機器とセンサーデータのシームレスな統合
- エッジコンピューティング
- オンプレミスまたはクラウドベース
- リアルタイムおよびランバイラン分析
- センサー、ゲージ、IoT/ IIoT、プロセスツールへのワールドクラスの接続性
- 自動機械学習
スマートプロセス監視
FabGuardはスマートなプロセスモニタリングとコントロールシステムで、エンジニアが幅広いセンサー、ゲージ、設備、その他の装置からデータを収集し、業界で最も包括的なプロセスツールのビューを開発することを可能にします。
適切なタイミングで適切なデータを収集することは、包括的な故障検出を構築する上で非常に重要であり、プロセスの特徴付けを可能にします。FabGuardのダイナミックなデータ収集機能はツールの帯域幅を最大化し、収集されるデータの幅を広げます。
データ収集はプロセス、センサー、サポートコンポーネント、ツールのニーズに合わせてオンザフライで調整されます。
プロセス経験を工場へ
INFICONのフィールドサービスとソフトウェア開発チームは、実世界の工場の問題を解決することに専念している経験豊富なプロセスと装置のエンジニアです。
INFICONの専門知識は、すべてのウェハ直径、フラットパネルサイズ、デバイス形状、基板タイプ、そして自動化されていない工場から完全に自動化されている工場までカバーしています。
