Metrology Sampling Optimizer

包括的な計測サンプリングのない典型的な工場では、工場が計測サンプリングの過不足を知ることは不可能です。過剰なサンプリングは生産時間を浪費し、不十分なサンプリングはスクラップのリスクを高めます。

Metrology Sampling Optimizer（MSO）は、リアルタイムのデータと工場の状況を使用して、スクラップ・リスクを最小限に抑え、測定能力を最適化するために何を測定すべきかを決定します。MSOは、ロット・アット・リスクを30%削減することを実証しています。

実用的な制約とリアルタイムの情報を活用するユーザー定義のルールを利用して、MSOはいつ、何を測定するかを決定します。サンプリング計画はリアルタイムで更新され、施設全体のサンプリングを管理します。

従来のサンプリングシステムには限界があります。ルールを単独で適用するため、重要なツールイベントや変化する工場状況に適応することができません。その結果、一部の製品のサンプリングが過剰になり、他の製品のサンプリングが不足し、サイクルタイムと製品リスクが増加します。

MSOは、ルールがサンプリングのトリガーとなるたびに、関連するすべてのルールを評価することにより、サンプリングを最小限に抑えます。同じ材料をサンプリングすることでクリアされるすべての関連ルールは、期限がまだ来ていなくてもリセットされます。

例 
フォトリソグラフィとエッチングの2つのサンプリング・ルールが同じ製品測定に適用され、エッチング・ルールが期限切れになった場合、Metrology Sampling Optimizerは、同じロットが実行された特定のスキャナについて、適切なルール基準をすべて満たしているとして、写真のルールも満たされたとみなします。新しい測定が記録されるたびに、サンプリング・プランが満たされ、測定基準がリアルタイムで更新されます。

Metrology Sampling Optimizerは、仕掛かりスケジューリングの最適化を支援し、優れたエクスカージョン管理を提供する統合機能を提供します。スケジューリングシステムとの統合により、MSOは優先順位の高い、またはブロックされている材料をできるだけ早く測定サンプリングに通すことができます。

FabGuardのような故障検出システムやエクスカージョン管理システムとの統合は、エクスカージョンの影響を最小化するためにリスクのある材料を素早くサンプリングすることを可能にします。

• スケジューリングとディスパッチ。WiP管理者との調整により、計測の使用率と適用範囲を最大化します。
• 製造実行システム。どの部品に計測レシピがあり、計測ステップがあるかを特定します。
• 故障検出。FDCで検出されたエクスカーションを検証し、リスクのあるロットをサンプリングします。
• 高度な工程管理。サンプリング計画をAPCのニーズと整合させ、APCの歩留まりメリットを最大化します。
• 是正保全と予防保全。是正および予防メンテナンス作業に基づいてサンプリング計画を調整します。

Metrology Sampling Optimizerのダッシュボードは、メトロロジー・カバレッジの状態をリアルタイムで表示します。

ダッシュボードはシンプルでわかりやすく、エンジニアが計測と欠陥スキャンのカバレッジ、エクスカージョン検出までの平均時間、リスクのあるロットや基板の数を判断するのに役立ちます。MSOダッシュボードは、カバレッジ、サンプリングの現状、およびリアルタイムのモニタリングを可視化することで、エンジニアが工場でのサンプリング作業に集中できるよう支援します。MSOダッシュボードは、サンプリングとエクスカーション管理を管理するための迅速なアクションを可能にします。

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