プロセス制御
Subfab and Facilities
環境に優しい工場のためのスマート・サブファブ・コントロール
Product configurator
Gemini™ MxG5xx
Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
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サブファブおよび設備の故障検出と制御
当社のエッジベースコンピューティングFabGuard設備監視システムとHMIは、設備とサブファブコンポーネントをプロセス情報と統合します。プロセス機器から収集されたデータと一緒に作業することで、INFICONは複数のサブファブ/設備コンポーネントの管理とコントロールを可能にします。
メリット
- スマート制御/省エネ
- 条件ベースの消費への移行
- 規制遵守と報告
- FDCツールとプロセスの忠実度の向上
- スマートな予知保全スケジューリング
プロセスとサブファブ/設備の接続
FabGuardによってエンジニアは幅広いセンサー、ゲージ、設備、その他の装置からデータを収集し、業界で最も包括的なプロセスツールのビューを開発することができます。
- ポンプ 駆動電流、温度、圧力、パージ流量、振動、アラーム
- 排ガス： ガス消費量、動作値、アラーム
- 排気 差圧、温度、副生成物堆積
- ヒーター ヒーター電流/電圧、温度
- チラー 流量、温度
プロセス情報をサブファブおよび設備データと組み合わせることで、潜在的なプロセス影響の明確な視界を手に入れ、より良いコントロール方法を提供します。INFICONはFabGuardを使ってエクスカージョンを予測し、メンテナンス活動を管理し、コスト削減のチャンスを特定します。
コスト削減と環境保護
メーカーがアイドリング時間を最小化しようと努力する一方で、機器のアイドリング時間は、コスト削減とよりグリーンなオペレーションにつながる無駄を最小化する機会を提供します。
リアルタイムの工場スケジューリングと設備状態情報を利用することで、FabGuardはサブ工場と設備コンポーネントを制御し、電力と消耗品の使用を最小限に抑えます。これにはグリーン運転やアイドルモードの活用が含まれます。
