RFセンシング技術
当社の最先端のRF感知技術は、ご使用環境におけるリアルタイムのプラズマ監視、ウェハーエッチング、プロセス制御のための非侵襲的なソリューションを提供します。正確なアーク検出とエンドポイント制御により、当社のセンサーは効率を高め、アーク事象から保護し、運用コストを削減します。高速データ収集用に設計されたこれらのセンサーは、半導体製造プロセスにおいて最適化された性能を保証します。
結果を得るには、フィルタをリセットしてください。
非侵襲的なクランプオンRFディテクタによりiPVD、PECVDおよびエッチングにおいて高速なアーク検出を実現
- 既存のツールセットを容易に改装できる
- 非侵襲的なセンサー取り付け
- 高速データ収集 (250KHz)
- FabGuardでデータマネジメントを統合
ADC100システムは、DC電源に接続して、リアルタイムでプラズマのアーク放電を検出します。
- FabGuardセンサー統合および分析システムを通して、ソフトウェアをツールに統合
- チャンネルごとに250 kHzでデータ収集
- ほとんどのDC発電装置にカスタムケーブルで接続
- 定義済みの分析ツールによりアークを迅速に検出
INFICONのRF技術によるプラズマ監視の正確さ
半導体製造における精密なプロセス制御を達成するには、適切なツールが必要です。INFICONのRFセンシング技術（Sion™とADC100を含む）は、リアルタイムプラズマモニタリングとウェハーエッチングのための強力なソリューションを提供します。Sion™は継続的なフィードバックを提供し、正確なエンドポイント検出を確実に行うことで、過剰エッチングと材料の無駄を防ぎます。同様に、ADC100は優れたアーク検出と保護を提供し、生産効率を維持しながら装置を保護します。
繊細なプラズマ条件を管理したり、一貫したエッチング品質を確保したりする際に、INFICONのRFセンサ技術はダウンタイムを最小限に抑え、効率を最大限に高めます。堅牢な設計により、Sion™とADC100は厳しい環境に耐えながら最高の性能を発揮し、リスクの高い生産に欠かせないツールとなっています。
INFICONのRFセンシングソリューションをプロセスに統合することで、ワークフローの信頼性が向上し、業務が合理化され、ダウンタイムが最小限に抑えられます。これらの高度なツールを使用することで、より速く、より正確な製造実績が得られ、競争力を強化することができます。