RFセンシング技術
ADC100
ADC100システムは、DC電源に接続して、リアルタイムでプラズマのアーク放電を検出します。
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Product configurator
Gemini™ MxG5xx
Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
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ADC100システムは、DC電源に接続して、リアルタイムでプラズマのアーク放電を検出します。 これにより、ウェハプロセスを中断し、潜在的なハードウェアや製品の損傷をエンジニアに知らせる機能を提供します。
機能
- FabGuardセンサー統合および分析システムを通して、ソフトウェアをツールに統合
- チャンネルごとに250 kHzでデータ収集
- ほとんどのDC発電装置にカスタムケーブルで接続
- 定義済みの分析ツールによりアークを迅速に検出
- エンドポイント検出機能
- 全世界的なアプリケーションサポート
本製品は以下のマーケットで使用されています。
