RFセンシング技術
Sion™
非侵襲的なクランプオンRFディテクタによりiPVD、PECVDおよびエッチングにおいて高速なアーク検出を実現
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ウェハ損失と歩留まりを改善
プラズマプロセスでアーク放電が発生すると、ターゲットやチャンバに損傷が生じ、基盤の損傷と粒子の発生につながります。固有のサイズが小さくなるとともに、マイクロエレクトロニクス装置はますますアークによる損傷の影響を受けやすくなります。アーク放電は、イオン化物理気相蒸着 (iPVD) 、プラズマ強化化学気相蒸着 (PECVD) 、エッチングなど、プラズマを利用するどのプロセスでも発生し得ます。INFICON Sionアークディテクターは、非常に重要な第一防衛ラインとなります。Sionはマイクロアークを迅速に検出して、重大な損傷や破損が生じる前に手段を講じることを可能にします。システムには、リアルタイム検出機能と、プラズママイクロアークイベントの分析機能が備わっています。
機能
- 既存のツールセットを容易に改装できる
- 非侵襲的なセンサー取り付け
- 高速データ収集 (250KHz)
- FabGuardでデータマネジメントを統合
本製品は以下のマーケットで使用されています。
