ガス分析
技術
質量分析
光学分光法
燃焼分析
ガスクロマトグラフ
プロセス
PVD
CVD
ALD
エッチ
リソグラフィー
圧力
< E-5 Torr
> E-4 Torr〜1E-2 Torr
1E-2Torr〜1Torr
> 1 Torr
検出限界
1-10 ppm
< 1 ppm
< 10 ppb
>10 ppm
市場
HVAC/R
産業用製造業
真空成膜
セキュリティ
エネルギー
半導体IDM＆ファウンドリ
半導体装置メーカー
ディスプレイ
製薬・メディカル
モビリティ＆オートモーティブ
研究・アカデミア
分析機器
バッテリー
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質量分析
トランスペクターAPXマルチプレッシャー
マルチプレッシャーALD/CVDとエッチングの高度なプロセスエキスパート
トランスペクターAPXマルチプレッシャー
- 過酷な化学環境下でも長寿命を実現するxPartsコーティング
- マルチプレッシャーサンプリングインレット
- 10ppb以下の検出限界
- 業界をリードするポンピング速度
質量分析計
トランスペクター® APX ALD 単圧
単一圧力ALD/CVDとエッチングの高度なプロセスエキスパート
トランスペクター® APX ALD 単圧
- 過酷な環境下でも長寿命を実現するxパーツコーティング
- 高温単圧インレット
- 10ppb以下の検出限界
- 業界をリードするポンピング速度
質量分析計
Transpector® CPX
高度なプロセスモニタリングのためのコンパクトなプロセスエキスパート
Transpector® CPX
- HexBlockマルチプレッシャーサンプリング注入口
- 検出限界200ppb以下
- 業界をリードするポンピング速度
- システム容積の30%減少
質量分析計
Transpector® XPR 3+
極限PVDプロセスモニタリング四重極型質量分析計
Transpector® XPR 3+
- 業界トップクラスの最高使用圧力
- オプションの過圧隔離弁インターロック
- 最大100amuまでスキャン可能
質量分析計
Transpector® MPH
高性能四重極型質量分析計
Transpector® MPH
- 9桁のダイナミックレンジ
- 業界トップクラスのデータ収集速度
- 交換可能なセンサーとエレクトロニクス
- 最大300amuまでスキャン可能
質量分析計
Transpector® MPS
多目的四重極型質量分析計
Transpector® MPS
- 9桁のダイナミックレンジ
- 交換可能なセンサーとエレクトロニクス
- オプションの連続ダイノード電子増倍管
- 最大200amuまでスキャン可能
質量分析計
Transpector® SPS
目標圧力範囲でのプロセスモニタリング
Transpector® SPS
- 対象となる高圧プロセス
- 単一圧力サンプリングインレット
- 1ppm以下の検出限界
- 統合された差動ポンプシステム
質量分析計
QMG 700
QMG 700 分析質量分析計は、検出の壁を打ち破り、プロセスを次のレベルのイノベーションに推進します。
QMG 700
- 質量範囲オプション 1-512 amu
- 9 decade以上のダイナミックレンジ
- 極めて高速の測定速度0.125 ms/amu
- MDPP < 10E-16 mbar
光学式ガス分析と全圧測定用のデュアルゲージ
Augent® OPG550
INFICONのAugent®光学プラズマゲージは、真空監視のためのコンパクトでインテリジェントなソリューションです。
Augent® OPG550
- 高速リーク検出によるチャンバーリークテスト
- 生産性と歩留まりの向上
- 長寿命、フィラメント焼けなし、エアインラッシュ保護
- 耐プロセス化学性
光学式ガス分析計
Quantus® HP100
最先端の半導体製造プロセスやその他のガス分析アプリケーションに、リアルタイムの漏れ検知、終点検知、プロセスモニタリングを提供します。
Quantus® HP100
- 動作範囲：1Torr～450Torr
- 優れた検出限界 < 1 ppm
- 長期信頼性：ポンプ不要
- 標準的なKF25接続による簡単な取り付け
光学式ガス分析計
Quantus® LP100
重要なプロセス環境において、リアルタイムのリーク検出と終点検出を実現
Quantus® LP100
- 10mTorrから1Torrの動作範囲
- 低 ppm レベルまでの優れた検出限界
- 長期的な信頼性：ポンプ不要
- 標準的なKF25接続による簡単な取り付け
燃焼分析計
FLUE-Mate®
燃焼効率の最適化
FLUE-Mate®
- 燃焼効率、O2、CO2、CO、排ガス温度の測定値を1画面に表示
- 見やすいバックライト付きディスプレイ
- 内蔵圧力計とホースキットでシステム圧力を監視
- FLUE-Mateモバイルアプリを使用した迅速な分析レポート用QRコード
ガスクロマトグラフ
Micro GC Fusion® ガス分析装置
ガス分析を簡便かつ高速に実現
Micro GC Fusion® ガス分析装置
- 分析時間の最短化
- 可用性を最大化
- ライセンスフリーのアクセス
- 容易な接続
ガスクロマトグラフ
Micro GC Fusion® 外部サンプルコンディショナー
高圧サンプル、特に凝縮性エアロゾルなどが含まれる場合、Fusion本体にダメージを与える可能性があります。外部サンプルコンディショナー(ESC)はサンプルの温度を50℃以上に維持しながら減圧する事が可能です。
Micro GC Fusion® 外部サンプルコンディショナー
- Micro GC Fusionへの簡単な接続
- フィルター交換を容易にするサイドドア
- サンプリングを容易にするクイックコネクトフィッティング
ガスクロマトグラフ
Micro GC Fusion® ユーザーインターフェース
Micro GC Fusionはウェブベースのユーザーインターフェイスを採用しており、従来のソフトウェアと比較していくつかの新しい利点を備えています。各機器にはライセンスフリーのソフトウェアが組み込まれているため、インストールは不要です。
Micro GC Fusion® ユーザーインターフェース
- オペレーティングシステムへの依存性無し
- ライセンスフリー
- すべての機器に内蔵
- インストール不要