光学式ガス分析と全圧測定用のデュアルゲージ
Augent® OPG550
光学式プラズマ真空計
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Product configurator
Gemini™ MxG5xx
Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
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INFICONのAugent®光学プラズマゲージは、真空監視のためのコンパクトでインテリジェントなソリューションです。
Augentは2つのセンサ技術を1つのコンパクトな装置にまとめ、1 x 10-7 から5 mbarまでのガスタイプの監視と、1 x 10-7 mbarから大気圧までの全圧を同時に計測することが可能です。Augentは、20mbar以上のプラズマをオフにするための内蔵ピラニセンサーで保護されています。高速光学測定原理により、原理的にあらゆる種類のガスを検出することができます。
利点
- 高速リーク検出によるチャンバーリークテスト
- 生産性と歩留まりの向上
- 長寿命、フィラメント焼けなし、エアインラッシュ保護
- 耐プロセス化学性
- スマートアルゴリズムによる容易な統合
- コンパクト設計と小さなフットプリント
- 信頼性と素早いスタートアップ
3D Model
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ステップバイステップのチュートリアルで、INFICON Augent®光プラズマゲージのセンサを自分で簡単にクリーニングする方法をご覧ください。
仕様
| 測定範囲 N2 | ミリバール トル | 1×10-7 … 5
|
| 精度 総圧力測定値 N2 | ||
| 1 x 10-7 ... 100 ミリバール | 読解率 | 30 |
| 100 ... 1000 ミリバール | 読解率 | 50 |
| 再現性 全圧力測定値 N2 | ||
| 1 x 10-7 ... 100 ミリバール | 読解率 | 5 |
| 温度 | ||
| 動作（周囲） | °C | +5 … +50 |
| 保管 | °C | -20 … +70 |
| 電子ユニット付きフランジでのベークアウト | °C | <80 |
| 電子ユニットなしフランジでのベークアウト | °C | <120 |
| 供給電圧 | ||
| ゲージで | V (dc) | +14.5 … +30 |
| リップル | V (p-p) | <1 |
| 消費電力 | W | <5 |
| 接続するヒューズ | AT | 1 |
| 真空にさらされた材料 | ||
| 一般 | 一般 | Al2O3、ステンレスシール |
| 陽極 | 陽極 | モリブデン |
| イオン化室 | イオン化室 | チタン、ステンレス鋼 |
| 点火補助 | 点火補助 | ステンレス鋼 |
アクセサリー
スペアパーツ
| 品番 | 商品説明 |
| 303-333 | 診断ポート（RS232）用診断ケーブル、2m |
| 351-051 | アナログ出力およびRS232ライン付き24V（DC）電源 |
| 351-052 | 光学式窓清掃キット（ゲージ用、PN 3OF1-xxx-xxxx） |
| 品番 | 商品説明 |
| 351-594 | 交換用センサー DN ISO 16 KF |
| 351- 595 | 交換用センサー DN 16 CF-R |
| 351-597 | 交換用センサー DN ISO 25 KF |
| 351-598 | 交換用センサー DN ISO 40 KF |
| 351-599 | 交換用センサー DN ISO 40 CF-F |
| 351-596 | 交換用センサー 8 VCR メス |
| 351-055 | 予備イオンチャンバー TI - OPG550 |
| 351-995 | MxG40x/50x、OPG550 点火補助部品（10） |
品番
ダウンロード
取扱説明書
3D Step Files
