光学式ガス分析計 kljsfdl

Augent® OPG550

光学式プラズマ真空計

ACADEMY

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INFICONのAugent^®光学プラズマゲージは、真空監視のためのコンパクトでインテリジェントなソリューションです。

Augentは2つのセンサ技術を1つのコンパクトな装置にまとめ、1 x 10-7 から5 mbarまでのガスタイプの監視と、1 x 10-7 mbarから大気圧までの全圧を同時に計測することが可能です。Augentは、20mbar以上のプラズマをオフにするための内蔵ピラニセンサーで保護されています。高速光学測定原理により、原理的にあらゆる種類のガスを検出することができます。

利点

高速リーク検出によるチャンバーリークテスト
生産性と歩留まりの向上
長寿命、フィラメント焼けなし、エアインラッシュ保護
耐プロセス化学性
スマートアルゴリズムによる容易な統合
コンパクト設計と小さなフットプリント
信頼性と素早いスタートアップ

3D Model

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ステップバイステップのチュートリアルで、INFICON Augent^®光プラズマゲージのセンサを自分で簡単にクリーニングする方法をご覧ください。

Watch: How to clean the sensor?

仕様

Measurement range N₂	mbar Torr	1×10^-7 … 5 (7.6×10^-8 … 3.8)
Accuracy total pressure reading N₂

1 x 10^-7 ... 100 mbar	% of reading	30
100 ... 1000 mbar	% of reading	50

Repeatability total pressure reading N₂

1 x 10^-7 ... 100 mbar	% of reading	5

Temperature

Operation (ambient)	°C	+5 … +50
Storage	°C	-20 … +70
Bakeout at flange with electronic unit	°C	<80
Bakeout at flange w/o electronic unit	°C	<120

Supply voltage

At gauge	V (dc)	+14.5 … +30
Ripple	V (p-p)	<1
Power consumption	W	<5
Fuse to be connected	AT	1

Materials exposed to vacuum

General	General	Al₂O₃, Stainless seel 1.4435
Anode	Anode	Molybdenum
Ionization chamber	Ionization chamber	Titanium, stainless steel 1.4016
Ignition aid	Ignition aid	Stainless steel 1.4310

アクセサリー

スペアパーツ

品番	商品説明

303-333	Diagnostic cable for Diagnostic Port (RS232), 2 m
351-051	24 V (dc) power supply with analog out and RS232 line
351-052	Optical window cleaning kit (for gauges with PN 3OF1-xxx-xxxx)

品番	商品説明

351-594	Replacement sensor DN ISO 16 KF
351- 595	Replacement sensor DN 16 CF-R
351-597	Replacement sensor DN ISO 25 KF
351-598	Replacement sensor DN ISO 40 KF
351-599	Replacement sensor DN ISO 40 CF-F
351-596	Replacement sensor 8 VCR female
351-055	Spare ion chamber TI - OPG550
351-995	MxG40x/50x, OPG550 Spare parts ignition aid (10)